CH542772A - Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage - Google Patents

Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage

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CH542772A
CH542772A CH1382271A CH1382271A CH542772A CH 542772 A CH542772 A CH 542772A CH 1382271 A CH1382271 A CH 1382271A CH 1382271 A CH1382271 A CH 1382271A CH 542772 A CH542772 A CH 542772A
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coated
vacuum system
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transporting
substrates
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CH1382271A
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Wagner Rudolf
Schertler Roman
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Balzers Patent Beteilig Ag
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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