NL1028835C2

NL1028835C2 - Werkwijze voor het elektroformeren van een noppenplaat en een kopiematrijs, elektroformeringsmatrijs daarvoor, alsmede kopiematrijs.

Info

Publication number: NL1028835C2
Application number: NL1028835A
Authority: NL
Inventors: Harm Gerrit Knol; Lars Cristian Herzbach
Original assignee: Stork Veco Bv; Heidelberger Druckmasch Ag
Priority date: 2005-04-21
Filing date: 2005-04-21
Publication date: 2006-10-24
Also published as: WO2006112696A3; EP1871925B1; WO2006112696A2; EP1871925A2

Description

Nederland © C OCTROOI20 (21) Aanvrage om octrooi: 1028835 (sT) Int.CI.: W W C2SD1/00 (2006.01) 0 Ingediend: 21.04.2005 (41) Ingeschreven: © Octrooihouder(s):

W 24.10.2006 I.E. 2007/01 Heidelberger Druckmaschinen AG

te Heidelberg, Bondsrepubliek Duitsland © Dagtekening: (DE).

24.10.2006 STORKVECOB.V. te Eerbeek.

Lars Cristian Herzbach te Weiterstadt (DE).

Ir. H.V. Mertens c.s. te 2280 GE Rijswijk.

© Werkwijze voor het elektroformeren van een plaat (20) met een werkzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen (22), welke werkwijze de stappen omvat van: het verschaffen van een vlakke geleidende elektroformeringsmatrijs (10) met van elkaar gescheiden isolerende gebieden (12); het elektrolytisch afzetten van een zeeflaag (18), die een netwerk van dammen (30) omvat, welke dammen (30) zeefopeningen (32) begrenzen, uit metaal op de elektroformeringsmatrijs (10), waarbij de dammen (30), gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel bezitten; het passiveren van het blootliggende oppervlak van de zeeflaag (18); het elektrolytisch afzetten van een aaneengesloten metaallaag (20) op het gepassiveerde oppervlak van de zeeflaag (18), zodanig dat ten minste de zeefopeningen (32) worden gevuld en het gepassiveerde oppervlak volledig wordt bedekt, het scheiden van de aaneengesloten metaallaag (20) met een werkzijde (52) voorzien van afzonderlijke verhogingen (22), welke verhogingen, gezien in doorsnede, ten minste een concaaf oppervlakdeel (26) bezitten, als genoemde plaat van de zeeflaag (18).

1 i_ o -

De inhoud van dit octrooi komt overeen met de oorspronkelijk ingediende beschrijving met conclusie(s) en O eventuele tekening(en).

—I Octrooicentrum Nederland is het Bureau voor de Industriële Eigendom, een agentschap van het ministerie van ^ Economische Zaken I 1

| I

Korte aanduiding: Werkwijze voor het elektroformeren van een noppenplaat en een kopiematrijs, elektroformeringsmatrijs daarvoor, alsmede kopiematrijs.

De onderhavige uitvinding heeft volgens een eerste aspect betrekking op een werkwijze voor het elektroformeren van een plaat met een werkzijde, die voorzien is van afzonderlijke verhogingen.

Een dergelijke plaat, die in deze beschrijving ook wel 5 noppenplaat wordt genoemd, kan onder meer worden toegepast als transportvlak voor het transporteren van substraten, zoals vellen papier, waarbij een gering contactoppervlak tussen het transportvlak en het substraat gewenst is. Een dergelijke noppenplaat kan ook als onderdeel van een mal voor het vormen van in het bijzonder 10 3-dimensionale voorwerpen worden toegepast.

Een plaat en een werkzijde, welke is voorzien van afzonderlijke verhogingen, is bekend. Een dergelijke plaat wordt in het algemeen door machinaal bewerken of vervormen van een oppervlak van een vlakke plaat vervaardigd teneinde de verhogingen te vormen. Een belangrijk 15 nadeel van de aldus vervaardigde noppenplaat is dat de verhogingen niet allemaal dezelfde hoogte ten opzichte van het door machinaal bewerken verkregen oppervlak van de plaat bezitten, hetgeen ongewenst is.

Derhalve bestaat er behoefte aan een plaat en een werkzijde 20 voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke een uniforme hoogte bezitten ten opzichte van het resterend oppervlak van de werkzijde van de plaat, alsmede aan een werkwijze voor de vervaardiging daarvan.

De onderhavige uitvinding beoogt in de eerste plaats in die 25 behoefte te voorzien.

De werkwijze voor het elektroformeren van een plaat werkzijde welke is voorzien van afzonderlijke verhogingen, omvat volgens de uitvinding daartoe de stappen van: het verschaffen van een vlakke geleidende elektroformerings-30 matrijs met van elkaar gescheiden isolerende gebieden; het elektrolytisch afzetten van een zeeflaag die een netwerk van dammen omvat, welke dammen zeefopeningen begrenzen, uit metaal op 1028833 - 2 - de elektroformeringsmatrijs, waarbij de dammen, gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel bezitten; het passiveren van het blootliggende oppervlak van de zeeflaag; het elektrolytisch afzetten van een aaneengesloten metaallaag 5 op het gepassiveerde oppervlak van de zeeflaag, zodanig dat ten minste de zeefopeningen van de zeeflaag worden gevuld en het gepassiveerde oppervlak volledig wordt bedekt; en het scheiden van de aaneengesloten metaallaag met een werkzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke verhogingen, gezien in 10 doorsnede, ten minste een concaaf oppervlakdeel bezitten, als noppenplaat van de zeeflaag.

Bij de werkwijze volgens dit aspect van de uitvinding komen de i eerste twee stappen overeen met een gebruikelijke elektroformerings-werkwijze voor het vervaardigen van vlak zeefmateriaal. Daartoe wordt 15 een elektroformeringsmatrijs gebruikt, die is voorzien van isolerende gebieden. Een dergelijke elektroformeringsmatrijs met isolerende gebieden kan bijvoorbeeld worden vervaardigd door isolerende gebieden op een vlakke geleidende elektroformeringsmatrijs aan te brengen, zodat de isolerende gebieden kleine verhogingen ten opzichte van het 20 geleidende oppervlak van de matrijs vormen. Dergelijke isolerende gebieden worden vaak gevormd door het aanbrengen van een fotogevoelig lakmateriaal op de vlakke matrijs, gevolgd door het door een film heen belichten daarvan, welke film is voorzien van een doorgaans regelmatig patroon van de te vormen isolerende gebieden. Na de 25 belichting worden de niet-belichte fotolakdelen verwijderd, zodat isolerende gebieden van fotolakmateriaal op de elektroformeringsmatrijs achterblijven. Dergelijke isolerende gebieden worden ook wel lakeilanden genoemd. Een andere mogelijkheid is isolerende gebieden in uitsparingen (bijvoorbeeld geëtst) in het oppervlak van de 30 elektroformeringsmatrijs aan te brengen, zodat deze een plat oppervlak zonder verhogingen heeft. Vervolgens wordt de elektroformeringsmatrijs in een galvanisch bad van een elektroformeerbaar metaal of metaallegering geplaatst, en als kathode geschakeld. Metaal uit het galvanisch bad wordt aldus op de 35 geleidende delen van de elektroformeringsmatrijs afgezet. Deze afzetting of zeeflaag wordt zolang voortgezet totdat de aldus afgezette zeeflaag de gewenste dikte heeft bereikt. Aldus wordt een zeeflaag uit metaal verkregen, die dammen omvat, welke zeefopeningen begrenzen. Als gevolg daarvan bezitten de dammen in doorsnede gezien 40 ten minste een convex oppervlakdeel, dat de zeefopeningen begrenst.

1028833 - 3 -

In de context van deze beschrijving betekent in doorsnede een doorsnede in de dikterichting van de plaat, die overeenkomt met de hoogterichting van de verhogingen, respectievelijk verdiepingen.

Bij het vervaardigen van een normale zeef kan vervolgens deze 5 zeeflaag als basisskelet van de elektroformeringsmatrijs worden verwijderd, welk basisskelet men vervolgens verder laat opgroeien, dan wel kan men deze zeeflaag op de elektroformeringsmatrijs door laten groeien tot de gewenste dikte en daarna van de matrijs verwijderen. In tegenstelling daarmee wordt bij de werkwijze volgens 10 de uitvinding de zeeflaag niet verwijderd van de elektroformeringsmatrijs, doch wordt een passiveringslaag op het blootliggende oppervlak van de zeeflaag voorzien. Voorbeelden van geschikte passiveringsmiddelen omvatten kaliumdichromaat, kaliumpermanganaat, chroom of goud.

15 Nadat deze passiveringsstap is uitgevoerd wordt de elektroformeringsmatrijs met daarop de gepassiveerde zeeflaag opnieuw in een galvanisch bad geplaatst, welk bad een elektroformeerbaar metaal of metaallegering bevat. Dit metaal of deze legering kan al dan niet identiek zijn aan het metaal of de metaallegering waaruit de 20 eerste zeeflaag is opgebouwd. Daardoor wordt een volgende metaallaag op het gepassiveerde oppervlak van de zeeflaag afgezet, waarbij de omstandigheden zoals tijdsduur zo worden gekozen dat een aaneengesloten metaallaag wordt afgezet die ten minste de zeefopeningen geheel vullen, het gepassiveerde oppervlak volledig 25 wordt bedekt, bij voorkeur totdat een vlak blootliggend oppervlak, ook wel groeifront genoemd, is bereikt. In een eindstap wordt de gevormde aaneengesloten metaallaag als beoogde noppenplaat van de eerste zeeflaag afgescheiden. Door het toepassen van de hierboven uiteengezette elektroformeringswerkwijze vormen de metaaldelen van de 30 aaneengesloten metaallaag die de zeefopeningen hebben opgevuld, de verhogingen van de noppenplaat, die enerzijds een uniforme hoogte en anderzijds een karakteristiek oppervlak bezitten. Dit karakteristieke oppervlak omvat namelijk in doorsnede gezien een concaaf oppervlakdeel. Primair afhankelijk van de vorm en afmetingen van de 35 isolerende gebieden kan dat een continu oppervlak zijn, zonder scherpe overgangen in een of meer hoeken. De verhogingen van de noppenplaat vormen een directe afdruk van de verdiepingen of zeefopeningen in de zeeflaag. De aldus verkregen noppenplaat bezit een werkzijde met verhogingen, waarvan de toppen op dezelfde hoogte 1028835 - 4 - liggen. De gebieden van de noppenplaat tussen de verhogingen zijn vlak.

Gebruikelijk zullen de isolerende gebieden bij de eerste werkwijzestap als eilanden met gelijke afmetingen en vaak volgens een 5 vast patroon, zoals hexagonaal, orthogonaal e.d., zijn gerangschikt. De uiteindelijke verhogingen in de noppenplaat zijn dan volgens hetzelfde patroon gerangschikt.

Een convex oppervlakdeel van een dam van de zeeflaag omvat meer bij voorkeur een cirkeldeel met constante straal als gevolg van een 10 ideale opgroei van de eerste zeeflaag.

Na het verwijderen van de tweede aaneengesloten metaallaag kunnen de vierde en vijfde stap van de hierboven beschreven werkwijze volgens de uitvinding worden herhaald om een volgende noppenplaat te vervaardigen. De elektroformeringsmatrijs met de zeeflaag, waarvan 15 het oppervlak is gepassiveerd, is echter fragiel, zodat de kans op beschadiging daarvan niet onaanzienlijk is.

Teneinde dit nadeel te vermijden voorziet de uitvinding volgens een tweede aspect in het vervaardigen van een kopiematrijs voor de vervaardiging van een noppenplaat. Die kopiematrijs omvat een plaat 20 met een bovenzijde die is voorzien van afzonderlijke verdiepingen, welke verdiepingen gezien in doorsnede ten minste een convex oppervlakdeel omvatten. Deze verdiepingen komen overeen met de beoogde verhogingen in de noppenplaat. Doorgaans is de onderzijde van de kopiematrijs vlak. De werkwijze volgens dit aspect van de 25 uitvinding omvat daartoe de stappen van het elektrolytisch afzetten van een metaallaag op een elektrisch geleidende plaat met geleidende afzonderlijke verhogingen, welke verhogingen in doorsnede gezien ten minste een concaaf oppervlak deel omvatten, waarna de afgezette metaallaag als kopiematrijs van genoemde plaat wordt afgescheiden.

30 Bij voorkeur is genoemde elektrisch geleidende plaat het product van de werkwijze volgens het eerste aspect van de uitvinding. Ook de kopiematrijs heeft bij voorkeur verdiepingen, waarvan de de verdiepingen begrenzende wanddelen een convex oppervlakdeel als deel van een cirkel met een constante straal omvatten.

35 Met deze kopiematrijs kunnen dan opnieuw noppenplaten worden vervaardigd. Daartoe worden bij een werkwijze voor het elektroformeren van een dergelijke noppenplaat volgens een derde aspect van de uitvinding de volgende stappen uitgevoerd: het passiveren van het oppervlak van de kopiematrijs verkregen volgens 40 het tweede aspect van de uitvinding, gevolgd door het elektrolytisch 1028835 - 5 - afzetten van een verdere metaallaag op het gepassiveerde oppervlak van de kopiematrijs, zodanig dat ten minste de verdiepingen worden gevuld en het gepassiveerde oppervlak volledig is bedekt, en het scheiden van de verdere metaallaag als genoemde noppenplaat van de 5 kopiematrijs. Aldus kan op eenvoudige wijze de oorspronkelijke matrijs worden bewaard als "master", terwijl de werkelijke productie van noppenplaten met een kopiematrijs daarvan plaatsvindt.

Zoals hierboven reeds is toegelicht, kan het metaal, waaruit de zeeflaag, de aaneengesloten metaallaag en de verdere metaallaag 10 worden verkregen elk elektroformeerbaar metaal of metaallegering zijn, in het bijzonder koper, en bij voorkeur nikkel. Geschikte galvanische baden omvatten nikkelhoudende of koperhoudende baden.

Door het regelen van de badsamenstelling kan de noppenplaat met een glad oppervlak, dan wel ruwer oppervlak worden vervaardigd.

15 Bijvoorbeeld kan met een niet-gedoteerd nikkelbad, dat wil zeggen zonder glansmiddel, een ruwer product worden verkregen ten opzichte van een product dat uit een met glansmiddel gedoteerd nikkelbad is vervaardigd.

De uitvinding ziet volgens een verder aspect op een 20 elektroformeringsmatrijs voor het vervaardigen van een kopiematrijs, welke een elektrisch geleidende plaat met een bovenzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen omvat, welke verhogingen, gezien in doorsnede, ten minste een concaaf oppervlakdeel bezitten, en bij voorkeur een vlakke onderzijde.

25 Volgens nog een ander aspect heeft de uitvinding betrekking op

een kopiematrijs voor het vervaardigen van een plaat met een werkzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke kopiematrijs een elektrisch geleidende plaat met een bovenzijde voorzien van verdiepingen omvat, welke verdiepingen, gezien in doorsnede, ten 30 minste een convex oppervlakdeel omvatten. De kopiematrijs kan derhalve als elektroformeringsmatrijs voor het vervaardigen van genoemde noppenplaten worden gebruikt. Een andere toepassing betreft het spuitgieten of persen van producten uit kunststof, waarbij de noppenplaat als deel van de mal wordt gebruikt. I

35 Een belangrijk verschil ten opzichte van zeefmaterialen is dat de noppenplaten volgens de uitvinding geen zeefopeningen bezitten, maar een aaneengesloten oppervlak hebben.

De producten zijn geëlektroformeerd uit een elektroformeerbaar metaal of metaallegering. De afzonderlijke verhogingen, 40 respectievelijk de afzonderlijke verdiepingen bezitten een nagenoeg 1028835 - 6 - uniforme hoogte respectievelijk diepte, met een tolerantie in de orde van grootte van een micrometer. De verhogingen, dan wel verdiepingen kunnen volgens een regelmatig patroon zijn gerangschikt, hoewel ook een onregelmatig (stochastisch patroon) kan worden gebruikt.

5 Bij een voorkeursuitvoeringsvorm bezitten de isolerende gebieden een cirkelvormige dwarsdoorsnede. Daardoor wordt bereikt dat de verhogingen een nagenoeg ideale cirkelvormige dwarsdoorsnede op elke hoogte bezitten. Andere dwarsdoorsneden zoals rechthoekig, driehoekig, hexagonaal, ellipsvormig zijn eveneens denkbaar.

10 De uitvinding wordt hierna toegelicht aan de hand van de bijgevoegde tekeningen, waarin figuur 1 een voorbeeld van een elektroformeringsmatrijs met een regelmatig patroon van isolerende gebieden uit fotolak toont; figuur 2 een isolerend fotolakeiland in detail toont; 15 figuur 3 een uitvoeringsvorm van een noppenplaat verkregen met de elektroformeringsmatrijs volgens figuur 1 toont; figuur 4 een detail van een verhoging van de in figuur 3 weergegeven noppenplaat toont; figuren 5-10 een aantal stappen van een werkwijze volgens de 20 uitvinding tonen voor het vervaardigen van een noppenplaat; en figuren 11-13 een aantal stappen van een werkwijze volgens de uitvinding tonen voor het vervaardigen van een kopiematrijs.

Figuur 1 toont een vlakke elektroformeringsmatrijs 10, waarop isolerende fotolakeilanden 12 zijn aangebracht met een cirkelvormige 25 dwarsdoorsnede. De fotolakeilanden 12 zijn volgens een orthogonaal raster gerangschikt. De doorsnede van de fotolakeilanden ligt bijvoorbeeld in het gebied van 75 tot 100 micrometer bijvoorbeeld 85 micrometer. De hoogte daarvan ligt in het gebied van enkele micrometers tot een tiental micrometers bijvoorbeeld 5 micrometer, 30 terwijl de afstand tussen twee aangrenzende fotolakeilanden van een basisvorm van het orthogonale raster in de orde van grootte van 150 tot enkele honderden micrometers bijvoorbeeld 200 micrometer ligt.

Figuur 2 toont een detail van een dergelijk fotolakeiland 12 met een diameter dr en hoogte hr.

35 Figuur 3 laat een bovenaanzicht zien van de noppenplaat 20, zoals die met behulp van de in figuren 1 en 2 weergegeven elektroformeringsmatrijs 10 kan worden vervaardigd zoals hierna verder zal worden toegelicht. De verhogingen 22, in figuur 3 aangeduid met stippen, zijn volgens een patroon gerangschikt dat i 1028835 —---Ί - 7 - overeenkomt met het orthogonale raster van de isolerende gebieden 12 van de toegepaste elektroformeringsmatrijs 10.

Figuur 4 laat een verhoging 22 in detail zien. De verhoging 22 bezit een cirkelvormige basis 24 en in doorsnede gezien een concaaf 5 buitenoppervlak 26. Dit concave buitenoppervlak 26 beschrijft een deel van een cirkel met constante straal rp. De diameter dt van de vlakke top 28 van de verhoging 22 bedraagt bijvoorbeeld 15 micrometer, bij een diameter van de basis van 85 micrometer en een hoogte van 35 micrometer. Met andere woorden opgroeistraal rp is 10 eveneens 35 micrometer.

Figuren 5-10 tonen de stappen voor het vervaardigen van een dergelijke noppenplaat door middel van een voorkeurswerkwijze volgens de uitvinding.

Figuur 5 toont in bovenaanzicht een gedeelte van een 15 uitvoeringsvorm van een elektroformeringsmatrijs 10. De elektroformeringsmatrijs 10 omvat een vlakke plaat 14 uit elektrisch geleidend materiaal, waarop cirkelvormige gebieden 12 uit isolerend materiaal zoals fotolak zijn voorzien. D.w.z. bij deze uitvoeringsvorm vormen de gebieden 12 verhogingen met geringe hoogte 20 op de plaat 14.

Figuur 6 toont de elektroformeringsmatrijs 10 van fig. 5 in doorsnede.

De elektroformeringsmatrijs 10 wordt als kathode in een galvanisch bad van bijvoorbeeld nikkel geschakeld. Bij het doorleiden 25 van elektrische stroom wordt op de blootliggende geleidende banen 16 van de elektroformeringsmatrijs 10 eerst tussen de isolerende gebieden 12 metaal afgezet, en vervolgens vindt ook gedeeltelijke overgroei over de isolerende gebieden 12 plaats.

Figuur 7 toont de elektroformeringsmatrijs 10 met lakeilanden 30 12 en de aldus daarop afgezette zeeflaag 18. De zeeflaag 18 bestaat uit een netwerk van dammen 30, die zeefopeningen 32 begrenzen. De dammen 30 zijn gedeeltelijk over de isolerende gebieden 12 heen gegroeid.

Nadat het blootliggende oppervlak van de zeeflaag 18 is 35 gepassiveerd wordt opnieuw metaal zoals nikkel bovenop de zeeflaag 18 afgezet, waarbij de elektroformeringsmatrijs 10 met zeeflaag 18 in een galvanisch bad wordt geplaatst en als kathode worde geschakeld.

Aldus wordt een aaneengesloten metaallaag als noppenplaat 20 op de zeeflaag 18 gevormd, die de zeefopeningen 32 vult en het gehele 40 oppervlak bedekt. Deze afzetting wordt zolang voortgezet tot de 1028835 - 8 - gewenste dikte (sterkte) is bereikt, en meestal een vlak opgroeifront is gevormd. Zie fig. 8.

Figuur 9 toont deze aaneengesloten metaallaag in doorsnede als noppenplaat 20 met een vlakke onderzijde 50 en werkzijde 52 na het 5 scheiden daarvan van de zeeflaag 18, terwijl figuur 10 een bovenaanzicht van dit product toont. De verhogingen 22 bezitten de in fig. 4 in detail getoonde vorm met een concaaf oppervlak 26.

Figuur 11-13 tonen stappen om met het product van figuur 9 een kopiematrijs te vervaardigen. Na passivering van de noppenplaat 20, 10 bijvoorbeeld met chroom, wordt in een galvanisch bad metaal afgezet zodat de uitsparingen 38 tussen de verhogingen 22 in het product 20 volledig zijn gevuld en ook de verhogingen 22 zelf zijn bedekt. Na scheiding, zie figuur 13, is een elektrisch geleidende kopiematrijs 40 verkregen, waarvan de vorm van het afzettingsoppervlak 42 met 15 verdiepingen 44 overeenkomt met het afzetttingsoppervlak van het samenstel van elektroformeringsmatrijs, fotolakeilanden en zeeflaag, zoals weergegeven in figuur 7, Deze kopiematrijs 40 kan op dezelfde wijze worden gebruikt als dit beschreven samenstel om noppenplaten te vervaardigen.

1 0 288 35

Claims

1. Werkwijze voor het elektroformeren van een plaat werkzijde en een bovenzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke werkwijze de stappen omvat van: het verschaffen van een vlakke geleidende 5 elektroformeringsmatrijs (10) met van elkaar gescheiden isolerende gebieden (12); het elektrolytisch afzetten van een zeeflaag (18), die een netwerk van dammen (30) omvat, welke dammen (30) zeefopeningen (32) begrenzen, uit metaal op de elektroformeringsmatrijs (10), waarbij de 10 dammen (30), gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel bezitten; het passiveren van het blootliggende oppervlak van de zeeflaag (18) ; het elektrolytisch afzetten van een aaneengesloten metaallaag 15 (20) op het gepassiveerde oppervlak van de zeeflaag (18), zodanig dat ten minste de zeefopeningen (32) worden gevuld en het gepassiveerde oppervlak volledig wordt bedekt, het scheiden van de aaneengesloten metaallaag (20) met een werkzijde (52) voorzien van afzonderlijke verhogingen (22), welke 20 verhogingen, gezien in doorsnede, ten minste een concaaf oppervlakdeel (26) bezitten, als genoemde plaat van de zeeflaag (18).

2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij een convex oppervlakdeel een cirkeldeel met constante straal omvat. 25

3. Werkwijze voor het elektroformeren van een kopiematrijs welke matrijs een plaat met een bovenzijde voorzien van afzonderlijke verdiepingen omvat, welke verdiepingen, gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel omvatten, welke werkwijze de stappen 30 omvat van het elektrolytisch afzetten van een metaallaag (40) op een elektrisch geleidende plaat (20) met afzonderlijke verhogingen (22), welke verhogingen (22) gezien in doorsnede ten minste een concaaf oppervlakdeel (26) bezitten; het scheiden van de afgezette metaallaag (40) met een 35 bovenzijde voorzien van afzonderlijke verdiepingen (44), welke verdiepingen (44), gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel omvatten, als kopiematrijs vanaf genoemde plaat (20). 1028635 - 10 -

4. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij de elektrisch geleidende plaat met verhogingen het product (20) van de werkwijze volgens conclusie 1 is.

5. Werkwijze volgens conclusie 3 of 4, waarbij een concaaf oppervlakdeel een cirkeldeel met constante straal omvat.

6. Werkwijze voor het elektroformeren van een plaat met een werkzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke werkwijze de 10 stappen omvat van: het passiveren van het oppervlak van de kopiematrijs (40) verkregen volgens een van de conclusies 3-5, het elektrolytisch afzetten van een verdere metaallaag (20) op het gepassiveerde oppervlak van de kopiematrijs (40), zodanig dat ten 15 minste de verdiepingen worden gevuld en het gepassiveerde oppervlak volledig wordt bedekt, het scheiden van de verdere metaallaag (20) met een werkzijde (52) voorzien van afzonderlijke verhogingen (22), welke verhogingen (22), gezien in doorsnede, ten minste een concaaf oppervlakdeel (26) 20 bezitten als genoemde plaat vanaf de kopiematrijs.

7. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het elektrolytisch afzetten plaatsvindt in een badvloeistof die nikkel en glansmiddel omvat. 25

8. Elektroformeringsmatrijs voor het vervaardigen van een kopiematrijs, omvattende een elektrisch geleidende plaat (20) met een ; bovenzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen (22), welke verhogingen (22), gezien in doorsnede, ten minste een concaaf 30 oppervlakdeel (26) bezitten.

9. Kopiematrijs voor het vervaardigen van een plaat met een werkzijde voorzien van afzonderlijke verhogingen, welke matrijs een elektrisch geleidende plaat (40) met een bovenzijde voorzien van 35 verdiepingen (44) omvat, welke verdiepingen (44), gezien in doorsnede, ten minste een convex oppervlakdeel omvatten. 1 028835