MX366402B - Dispositivo de medicion tridimensional. - Google Patents

Dispositivo de medicion tridimensional.

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MX366402B
MX366402B MX2018001490A MX2018001490A MX366402B MX 366402 B MX366402 B MX 366402B MX 2018001490 A MX2018001490 A MX 2018001490A MX 2018001490 A MX2018001490 A MX 2018001490A MX 366402 B MX366402 B MX 366402B
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MX
Mexico
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stripe pattern
pixel
dimensional measurement
printed substrate
substrate
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MX2018001490A
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English (en)
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MX2018001490A (es
Inventor
Ohyama Tsuyoshi
Sakaida Norihiko
Umemura Nobuyuki
Okuda Manabu
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Ckd Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518—Projection by scanning of the object
    • G01B11/2527—Projection by scanning of the object with phase change by in-plane movement of the patern

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

Se proporciona un dispositivo de medición tridimensional que permite aumentar drásticamente la precisión de medición al llevar a cabo una medición tridimensional usando el método de desplazamiento de fase. Un dispositivo de inspección de sustrato 1 está provisto con lo siguiente: un dispositivo de iluminación 4 que proyecta un patrón de franjas predeterminado desde la dirección superior oblicua sobre la superficie de un sustrato impreso 2; una cámara 5 que captura imágenes de la porción encima del sustrato impreso 2 donde se proyecta el patrón de franjas; y un dispositivo de control 6 que lleva a cabo varios tipos de control, procesamiento de imágenes y procesamiento aritmético dentro del dispositivo de inspección de sustrato 1. Además, el patrón de franjas proyectado sobre el sustrato impreso 2 es movido, el patrón de franjas en movimiento es modelado en imágenes varias veces, valores más brillantes de cada pixel en una serie de elementos de datos de imagen capturados se suman juntos, para cada pixel, y se calcula un valor promedio para cada pixel.
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