JP6478713B2 - 計測装置および計測方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態にかかる被検面の3次元などの形状を計測する計測装置を示す。計測装置は、従来の計測装置と同様に、スリット形状を有する第1波長の第1光で被検面(被検物)6を照明する第1照明部2と被検面6を撮像する撮像部3とを有している。第1照明部2は、第1波長の光を出射する光源と、光源から出射された光から、パターン形状の光強度分布を有する第1光(パターン光)を生成する生成部4や、レンズなどの投影光学系を含む。撮像部3は、不図示のCCDやCMOS、レンズなどの撮影光学系を含む。これら第1光の第1照明部2および撮像部3は、制御部101により制御される。
次に、第2実施形態を説明する。第2実施形態は、3次元形状の算出、第1画像の補正に関する装置構成および方法は第1実施形態で用いたものと同じである。しかし、第2実施形態では、反射率情報は前もって反射率情報記憶部200に入力されていない。その代わりに、第2実施形態では、反射率情報を取得するための装置構成を備えている。図10に示す第2実施形態に係る計測装置は、第1実施形態で述べた装置構成に追加して、波長λ1の光で被検面6の広い照明領域を照明する別の照明部(第3照明部)9を具備しており、第3照明部9は、第1光5と同一波長λ1の第3光10を照射する。なお、第3照明部9の形態の例としては輪帯照明などが挙げられる。
次に、第3実施形態を説明する。第3実施形態は、第2実施形態と同様に被検面6の反射率情報を取得するための装置構成、プロセスを有するが、その取得方法に関して第2実施形態と異なる。図11に示す第3実施形態に係る計測装置は、第1実施形態で述べた装置構成における生成部4を光路上の位置と光路外の位置とに切り替える切り替え機構11を有する。切替え機構11の例としては液晶シャッタなどが考えられる。
Claims (16)
- 被検面の形状を計測する計測装置であって、
パターン形状の光強度分布を有する第1波長の第1光で前記被検面を照明する第1照明部と、
前記第1波長とは異なる第2波長の第2光で、前記第1光による照明領域より広い前記被検面の領域を照明する第2照明部と、
前記被検面を撮像する撮像部と、
前記撮像部から出力された前記被検面の画像を処理することにより前記被検面の形状の情報を取得する処理部と、を備え、
前記処理部は、前記第1照明部および前記第2照明部により前記被検面を照明させながら前記撮像部によって撮像された前記被検面の前記第1波長の第1画像と前記第2波長の第2画像とを取得し、前記第1波長の光および前記第2波長の光に対する前記被検面の2つの反射率分布の比と前記第2画像とを用いて前記第1画像を補正し、前記補正された第1画像を用いて前記被検面の形状の情報を取得することを特徴とする計測装置。 - 前記撮像部は、波長分離フィルタを含み、前記第1照明部および前記第2照明部により照明された前記被検面を撮像することによって前記第1画像と前記第2画像とを分離して取得することを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記処理部は、前記第1画像の中で補正すべき補正領域を前記第2画像に基づいて特定し、前記2つの反射率分布の比を用いて前記第2画像を前記第1波長の画像に変換し、該変換された画像を用いて前記第1画像の前記補正領域を補正することを特徴とする請求項1または2に記載の計測装置。
- 前記2つの反射率分布の情報を格納した記憶部を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記記憶部に格納された前記2つの反射率分布の情報は、前記計測装置とは異なる装置によって予め取得された情報であることを特徴とする請求項4に記載の計測装置。
- 前記第1波長の光で前記第2光の照明領域を照明する第3照明部をさらに備え、
前記処理部は、前記第2照明部により前記被検面を照明させながら前記撮像部に前記被検面を撮像させることにより前記第2画像を取得し、前記第3照明部により前記被検面を照明させながら前記撮像部に前記被検面を撮像させることにより前記被検面の前記第1画像とは異なる第3画像を取得し、該取得された第2画像および第3画像から前記2つの反射率分布の情報をそれぞれ予め取得することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の計測装置。 - 前記第1照明部は、前記第1波長の光を出射する光源と、前記光源から出射された光から前記パターン形状を有する前記第1光を生成する生成部と、前記生成部を光路上の位置と光路外の位置とに切り替える切り替え機構とを含み、
前記処理部は、前記第2照明部により前記被検面を照明させながら前記撮像部に前記被検面を撮像させることにより前記第2画像を取得し、前記生成部が光路外に位置する前記第1照明部により前記被検面を照明させながら前記撮像部に前記被検面を撮像させることにより前記被検面の前記第1画像とは異なる第3画像を取得し、該取得された第2画像および第3画像から前記2つの反射率分布の情報をそれぞれ予め取得することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の計測装置。 - 前記処理部は、特異な反射率を有する領域の情報と前記第2画像とを比較することによって前記補正領域を特定することを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記情報は、前記特異な反射率を有する領域の形状の情報を含むことを特徴とする請求項8に記載の計測装置。
- 前記情報は、前記特異な反射率を有する領域の大きさの情報を含むことを特徴とする請求項8に記載の計測装置。
- 前記特異な反射率を有する領域は、印字領域を含むことを特徴とする請求項8ないし10のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記処理部は、前記被検面の位置および姿勢の概略情報に基づいて前記補正領域を特定することを特徴とする請求項3に記載の計測装置。
- 前記処理部は、前記第2画像に基づいて前記被検面の2次元形状の情報を取得することを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1項に記載の計測装置。
- 被検面の形状を計測する計測方法であって、
パターン形状の光強度分布を有する第1波長の第1光で前記被検面を照明しながら前記第1波長とは異なる第2波長の第2光で前記第1光による照明領域より広い領域を照明して前記被検面を撮像することにより、前記被検面の前記第1波長の第1画像と前記第2波長の第2画像とを取得する工程と、
前記第1波長の光および前記第2波長の光に対する前記被検面の2つの反射率分布の比と前記第2画像とを用いて前記第1画像を補正する補正工程と、
前記補正された第1画像を用いて前記被検面の形状の情報を取得する工程と、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 前記補正工程は、前記第1画像の中で補正すべき補正領域を前記第2画像に基づいて特定する工程と、前記2つの反射率分布の比を用いて前記第2画像を前記第1波長の画像に変換する工程と、該変換された画像を用いて前記第1画像の前記補正領域を補正する工程とを含むことを特徴とする請求項14に記載の計測方法。
- 前記第2画像に基づいて前記被検面の2次元形状の情報を取得する工程をさらに含むことを特徴とする請求項14または15に記載の計測方法。
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