MX2017008749A - Aparato de medicion tridimensional. - Google Patents

Abstract

Un objeto es proporcionar un aparato de medición tridimensional que asegure una medición más precisa en un periodo de tiempo más corto en una medición tridimensional utilizando un método de cambio de fase. Un aparato de inspección de tarjetas 1 incluye un dispositivo de iluminación 4 configurado para irradiar una tarjeta de circuitos impresos 2 con un patrón de luz ondulatorio, una cámara 5 configurada para tomar una imagen de una porción irradiada con el patrón de luz sobre la tarjeta de circuitos impresos 2, y un dispositivo de control 6 configurado para realizar una medición tridimensional con base en los datos de imagen tomados. El dispositivo de control 6 calcula un primer valor de medición de altura, con base en los datos de imagen tomados por irradiación con un primer patrón de luz que tiene un primer periodo en una primera posición, y obtiene valores de una ganancia y un descentrado a partir de los datos de imagen. El dispositivo de control 6 también calcula un segundo valor de medición de altura usando los valores de la ganancia y el descentrado, con base en los datos de imagen tomados por la irradiación con un segundo patrón de luz que tiene un segundo periodo en una segunda posición que es desplazada de manera oblicua por el paso de medio píxel. El dispositivo de control 6 obtiene entonces datos de altura especificados del primer valor de medición y del segundo valor de medición, como datos de altura verdaderos.