JP2017096866A - 三次元計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2の表面に対し斜め上方から所定の縞パターンを投影する照明装置4と、プリント基板2上の縞パターンの投影された部分を撮像するカメラ5と、基板検査装置1内における各種制御や画像処理、演算処理を実施する制御装置6とを備えている。そして、プリント基板2に投影された縞パターンを移動させると共に、該移動する縞パターンを複数回に分けて撮像し、該撮像された一連の画像データの各画素の輝度値を画素毎に加算して、その平均値を算出する。
【選択図】 図1
Description
但し、f:ゲイン、e:オフセット、φ:縞パターンの位相。
この位相φを用いて、三角測量の原理に基づき被計測物上の各座標(X,Y)における高さ(Z)を求めることができる。
前記縞パターンの投影された前記被計測物を撮像可能な撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、光強度分布の異なる複数の画像データを取得可能な画像取得手段と、
前記画像取得手段により取得された複数の画像データを基に位相シフト法により前記被計測物の三次元計測を実行可能な画像処理手段とを備え、
前記画像取得手段は、
前記複数の画像データのうちの1つの画像データを取得する上で、
前記格子を移動する移動処理を実行すると共に、
前記格子の移動期間中と少なくとも一部が重なる所定期間において連続して撮像(露光)を行う撮像処理を実行する、
又は、
前記格子の移動期間中と少なくとも一部が重なる所定期間において複数回に分けて撮像(露光)を行う撮像処理を実行し、該撮像結果(撮像された複数の画像データの各画素の輝度値)を画素毎に加算若しくは平均する処理を実行することを特徴とする三次元計測装置。
(f)上記実施形態では、格子板4bの移動処理の開始タイミングM1と、カメラ5による撮像処理の開始タイミングN1とが同時となるように設定されると共に、格子板4bの移動処理の終了タイミングM2と、カメラ5による撮像処理の終了タイミングN2とが同時となるように設定されている。
手段1−1.所定の光を発する光源と、該光源からの光を所定の縞パターンに変換する格子と、該格子を移動可能な駆動手段とを有し、前記縞パターンを被計測物(例えばプリント基板)に対し投影可能な投影手段と、
前記縞パターンの投影された前記被計測物を撮像可能な撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、光強度分布の異なる複数の画像データを取得可能な画像取得手段と、
前記画像取得手段により取得された複数の画像データを基に位相シフト法により前記被計測物の三次元計測を実行可能な画像処理手段とを備え、
前記画像取得手段は、
前記複数の画像データのうちの1つの画像データを取得する上で、
前記格子を移動する移動処理を実行すると共に、
前記格子の移動期間中と少なくとも一部が重なる所定期間において複数回に分けて撮像(露光)を行う撮像処理を実行し、該撮像結果(撮像された複数の画像データの各画素の輝度値)を画素毎に加算若しくは平均する処理を実行することを特徴とする三次元計測装置。
手段1−2.所定の光を発する光源と、該光源からの光を所定の縞パターンに変換する格子と、該格子を移動可能な駆動手段とを有し、前記縞パターンを被計測物に対し投影可能な投影手段と、
前記縞パターンの投影された前記被計測物を撮像可能な撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、光強度分布の異なる複数の画像データを取得可能な画像取得手段と、
前記画像取得手段により取得された複数の画像データを基に位相シフト法により前記被計測物の三次元計測を実行可能な画像処理手段とを備え、
前記画像取得手段は、
前記複数の画像データのうちの1つの画像データを取得する上で、
前記格子を移動する移動処理を実行すると共に、
前記格子の移動期間中の所定期間において連続して撮像(露光)を行う撮像処理を実行する、
又は、
前記格子の移動期間中の所定期間において複数回に分けて撮像(露光)を行う撮像処理を実行し、該撮像結果(撮像された複数の画像データの各画素の輝度値)を画素毎に加算若しくは平均する処理を実行するものであり、
前記所定期間は、前記格子が位相30°相当分以上、位相130°相当分以下移動する期間であることを特徴とする三次元計測装置。
Claims (5)
- 所定の光を発する光源と、該光源からの光を所定の縞パターンに変換する格子と、該格子を移動可能な駆動手段とを有し、前記縞パターンを被計測物に対し投影可能な投影手段と、
前記縞パターンの投影された前記被計測物を撮像可能な撮像手段と、
前記投影手段及び前記撮像手段を制御し、光強度分布の異なる複数の画像データを取得可能な画像取得手段と、
前記画像取得手段により取得された複数の画像データを基に位相シフト法により前記被計測物の三次元計測を実行可能な画像処理手段とを備え、
前記画像取得手段は、
前記複数の画像データのうちの1つの画像データを取得する上で、
前記格子を移動する移動処理を実行すると共に、
前記格子の移動期間中と少なくとも一部が重なる所定期間において連続して撮像を行う撮像処理を実行する、
又は、
前記格子の移動期間中と少なくとも一部が重なる所定期間において複数回に分けて撮像を行う撮像処理を実行し、該撮像結果を画素毎に加算若しくは平均する処理を実行することを特徴とする三次元計測装置。 - 前記格子の移動処理の開始と同時又は移動処理中に前記撮像処理を開始し、該格子の移動処理の停止と同時又は移動処理中に前記撮像処理を終了することを特徴とする請求項1に記載の三次元計測装置。
- 前記所定の縞パターンは、非正弦波状の光強度分布を有する縞パターンであることを特徴とする請求項1又は2に記載の三次元計測装置。
- 前記格子は、光を透過する透光部と、光を遮る遮光部とが交互に並ぶ配置構成となっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の三次元計測装置。
- 前記被計測物は、クリーム半田が印刷されたプリント基板であること、又は、半田バンプが形成されたウエハ基板であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の三次元計測装置。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007113958A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Yamatake Corp | 3次元計測装置、3次元計測方法、及び3次元計測プログラム |
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Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007113958A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Yamatake Corp | 3次元計測装置、3次元計測方法、及び3次元計測プログラム |
JP2013167464A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Ckd Corp | 三次元計測装置 |
JP2015087244A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法 |
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