MD4339C1 - Structură fotovoltaică cu o joncţiune - Google Patents

Structură fotovoltaică cu o joncţiune Download PDF

Info

Publication number
MD4339C1
MD4339C1 MDA20130070A MD20130070A MD4339C1 MD 4339 C1 MD4339 C1 MD 4339C1 MD A20130070 A MDA20130070 A MD A20130070A MD 20130070 A MD20130070 A MD 20130070A MD 4339 C1 MD4339 C1 MD 4339C1
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
sic
layer
silicon carbide
photovoltaic
type conduction
Prior art date
Application number
MDA20130070A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Other versions
MD4339B1 (ro
Inventor
Василий ЗАХВАЛИНСКИЙ
Евгений ПИЛЮК
Дормидонт ШЕРБАН
Алексей СИМАШКЕВИЧ
Леонид БРУК
Original Assignee
Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
NIU "BelGU"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы, NIU "BelGU" filed Critical Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Publication of MD4339B1 publication Critical patent/MD4339B1/ro
Publication of MD4339C1 publication Critical patent/MD4339C1/ro

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

Invenţia se referă la structurile fotovoltaice cu semiconductori, care se folosesc în electronică, tehnologii spaţiale şi militare, în industria minieră, de prelucrare a petrolului şi chimică, în ecologie etc., pentru conversiunea radiaţiei solare în energie electrică, utilizată pentru alimentarea dispozitivelor electronice şi a dispozitivelor şi mecanismelor de acţionare electrică.Structura fotovoltaică cu o joncţiune conţine un strat de carbură de siliciu cu conductibilitatea de tipul n, un substrat din siliciu monocristalin cu orientarea (100) şi conductibilitatea de tipul p,electrozii metalici de sus şi de jos. Structura reprezintă un component cu două straturi al heterojoncţiunii p-n a-SiC/c-Si, în care stratul de carbură de siliciu amorf cu conductibilitatea de tipul n cu grosimea filmului de 6...20 nm este depus prin dispersie magnetronică nereactivă în argon dintr-o ţintă solidă de SiC pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu cu conductibilitatea de tipul p. Electrodul de sus este fabricat din argint sau cupru în formă de regletă de contact şi este amplasat nemijlocit pe stratul a-SiC. Electrodul de jos din argint sau cupru este amplasat pe partea opusă a substratului din siliciu monocristalin.

Description

Invenţia se referă la structurile fotovoltaice cu semiconductori, care se folosesc în electronică, tehnologii spaţiale şi militare, în industria minieră, de prelucrare a petrolului şi chimică, în ecologie etc., pentru conversiunea radiaţiei solare în energie electrică, utilizată pentru alimentarea dispozitivelor electronice şi a dispozitivelor şi mecanismelor de acţionare electrică.
Heterostructurile cu semiconductori nu au alternativă în funcţia de sursă de energie electrică pentru vasele spaţiale, sunt un izvor ecologic pur de obţinere a energiei electrice.
În majoritatea cazurilor siliciul este materialul principal, folosit pentru fabricarea celulelor solare: 98,2% din instalaţiile fotovoltaice în funcţiune, dintre care 38% - în baza siliciului cristalin, 52% - policristalin şi 5% - amorf. Printre alte materiale, cea mai mare parte, aproximativ 1,6%, revine structurilor în baza cadmiu - telur, iar restul - structurilor în baza compuşilor din elementele grupelor III-IV, In, Ga, As, Sb, P, celule în baza polimerilor, celule fotoelectrochimice lichide etc.
Cele mai eficiente celule solare sunt heterostructurile multistrat, aşa-numitele structuri tandem. Construcţia lor este bazată pe cuplarea consecutivă a unui rând de elemente active - celule solare sau elemente fotovoltaice elementare, care asigură conversiunea efectivă a radiaţiei solare în electricitate. De regulă, fiecare element al acestei structuri tandem este menit să absoarbă o regiune determinată a spectrului radiaţiei solare.
Selecţia materialelor semiconductoare cu banda interzisă, ce se micşorează consecutiv, asigură conversiunea efectivă a radiaţiei solare într-un dispozitiv cu semiconductori, în care are loc fotoefectul interior - generarea perechilor electron - gol la absorbţia fotonului.
Carbura de siliciu SiC îşi găseşte aplicaţie în multe domenii ale ştiinţei şi tehnicii. În cazul diferitelor modificaţii ale SiC lărgimea benzii interzise variază între 2,4 şi 3,34 eV. Valorile mari ale benzii interzise permit crearea în baza acestui material a dispozitivelor semiconductoare, ce pot funcţiona până la 600°С. Structura cristalină a carburii de siliciu depinde în mare măsură de condiţiile tehnologice de obţinere şi de aceea utilizarea materialelor amorfe duce la scăderea costului procesului de fabricare a celulelor fotovoltaice.
Sunt cunoscute celule solare cu structura complicată p-i-n, care includ un strat amorf hidrogenizat de carbură de siliciu a-SiC:H cu conductibilitatea de tipul p, depus pe electrodul frontal semitransparent în formă de o plachetă de sticlă, acoperită cu un strat SnO2, pe care ulterior este depus un strat microcristalin hidrogenizat de carbură de siliciu µc-Si:H cu conductibilitatea de tipul n, iar în calitate de strat de tipul i - un strat de siliciu amorf a-Si [1].
Dezavantajul structurilor de acest tip cu multe joncţiuni este costul lor ridicat. Utilizarea în calitate de sursă a energiei electrice a structurilor fotovoltaice cu o singură joncţiune în baza carburii de siliciu amorf duce la micşorarea costului lor.
Este cunoscută celula solară cu o singură joncţiune, care conţine în calitate de strat exterior un strat amorf hidrogenizat de carbură de siliciu a-SiC de tipul p. Ca electrod exterior şi în acest caz este folosit oxidul transparent conductiv SnO2. În această celulă heterojoncţiunea în structura p-i-n, obţinută în baza straturilor amorfe hidrogenizate de carbură de siliciu şi siliciu a-SiC:H/a-Si:H demonstrează eficienţa de conversiune a energiei solare, egală cu 7,55% [2].
Pentru depunerea straturilor hidrogenizate de a-SiC:H, a fost utilizată o variantă a tehnologiei CVD (Chemical vapor deposition - depunere chimică din vapori), şi anume, depunere chimică din vapori cu filament fierbinte HWCVD / HFCVD (Hot wire chemical vapor deposition / hot filament CVD), cunoscută de asemenea sub numele de CVD catalitică Cat-CVD (Catalitic chemical vapor deposition) [3].
Este cunoscută şi structura cu o singură joncţiune în baza straturilor microcristaline hidrogenizate 3C-SiC:H, obţinută prin metoda depunerii chimice cu filament fierbinte (HWCVD). Grosimea stratului 3C-SiC:H de tip n, depus pe suportul p-Si, este de 200 nm cu rezistivitatea de 1…10 Ω·cm. Eficienţa acestei structuri este de 14,2% [4].
Dezavantajul dispozitivului este complexitatea tehnologiei şi grosimea destul de mare a stratului de carbură de siliciu.
Este cunoscută şi structura, în care stratul microcristalin µc-SiC de tip n cu grosimea de 70 nm este obţinut pe suportul de p-Si policristalin, cu utilizarea plasmei, excitate de rezonanţa electronică ciclotronică în combinare cu depunerea chimică din starea de vapori. În calitate de electrod frontal a fost utilizat aliajul de oxizi de indiu şi staniu. Eficienţa structurii este de 15,4% [5].
Dezavantajul dispozitivului este complexitatea tehnologiei şi grosimea stratului microcristalin de carbură de siliciu.
Cea mai apropiată soluţie este structura fotovoltaică, care prezintă celula β n-SiC/p-Si, cu electrodul frontal în formă de grilă metalică şi electrodul metalic din spate. Stratul microcristalin de carbură de siliciu de tipul n din această celulă se depune prin metoda CVD pe suprafaţa (100) a plachetei cristaline de p-Si. Eficienţa acestei structuri este de 7,7% [6].
Dezavantajul acestei structuri este tehnologia complicată de fabricare, care nu permite depunerea stratului de carbură de siliciu cu grosime mai mică de 70…100 nm, nu garantează posibilitatea de obţinere a straturilor amorfe de SiC şi nu este destul de pură din punct de vedere ecologic.
Problema pe care o rezolvă invenţia constă în crearea unei structuri fotovoltaice cu o singură joncţiune, adică a unei celule solare în baza heterostructurii, compuse din p-Si cristalin, acoperit de un strat amorf de carbură de siliciu cu conductibilitatea de tipul n.
Structura fotovoltaică cu o joncţiune, conform invenţiei, înlătură dezavantajele menţionate mai sus prin aceea că conţine un strat de carbură de siliciu cu conductibilitatea de tipul n, un substrat din siliciu monocristalin cu orientarea (100) şi conductibilitatea de tipul p, electrozii metalici de sus şi de jos. Structura reprezintă un component cu două straturi al heterojoncţiunii p-n a-SiC/c-Si, în care stratul de carbură de siliciu amorf cu conductibilitatea de tipul n cu grosimea filmului de 6...20 nm este depus prin dispersie magnetronică nereactivă în argon dintr-o ţintă solidă de SiC pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu cu conductibilitatea de tipul p. Electrodul de sus este fabricat din argint sau cupru în formă de regletă de contact şi este amplasat nemijlocit pe stratul a-SiC, iar electrodul de jos din argint sau cupru este amplasat pe partea opusă a substratului din siliciu monocristalin.
Rezultatul tehnic constă în eficienţa structurii fotovoltaice nu mai joasă decât a celei mai apropiate soluţii în cazul grosimii stratului amorf de carbură de siliciu de tipul n în intervalul de 6…20 nm, de asemenea, costul mai scăzut al structurii fotovoltaice şi tehnologia de fabricare mai ecologică.
Invenţia se explică prin desenele din fig. 1-4, care reprezintă:
- fig. 1, vederea laterală a secţiunii structurii fotovoltaice;
- fig. 2, vederea de sus a structurii fotovoltaice cu o singură joncţiune;
- fig. 3, imagine obţinută la microscopul electronic cu transmisie JEM 2100, care confirmă structura amorfă a stratului SiC;
- fig. 4, caracteristica volt-amper a structurii fotovoltaice cu o singură joncţiune în baza heterostructurii carbură de siliciu amorf - p-Si (a-SiC/c-Si).
Structura fotovoltaică prezintă o celulă solară din semiconductori cu o singură joncţiune p-n, anume a-SiC/c-Si, care include electrodul de sus 1, fabricat din argint sau cupru în formă de regletă de contact, stratul 2 din carbură de siliciu amorf cu conductibilitatea de tipul n cu grosimea în intervalul 6…20 nm, depus prin dispersie magnetronică nereactivă dintr-o ţintă solidă de SiC pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu cu conductibilitatea de tipul p cu orientarea (100) şi electrodul de jos 4 din argint sau cupru, depus nemijlocit pe suprafaţa opusă a substratului din Si monocristalin.
Exemplu de realizare
Electrodul de sus 1, fabricat din argint sau cupru în formă de regletă de contact, este depus pe stratul 2 din carbură de siliciu amorf. Stratul 2 din carbură de siliciu amorf cu conductibilitatea de tipul n cu grosimea în intervalul de 6…20 nm, este depus prin dispersie magnetronică nereactivă în argon dintr-o ţintă solidă, obţinută prin sinteza prealabilă a SiC, pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu 3 de marca КДБ2 cu conductibilitatea de tipul p cu orientarea (100), grosimea 300 µm, rezistivitatea 2 Ω·cm. Pe suprafaţa opusă, de jos a substratului 3 din siliciu monocristalin de marca КДБ2 este depus electrodul de jos 4 din argint sau cupru.
În structura propusă stratul de carbură de siliciu amorf SiC cu conductibilitatea de tipul n joacă rolul stratului exterior de absorbţie a luminii, de aceea nu este necesară depunerea straturilor suplimentare de concentrare a radiaţiei solare.
Înainte de depunerea stratului din carbură de siliciu amorf pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu 3 de marca КДБ2, cu scopul de a elimina stratul natural de oxid de siliciu, suprafaţa din partea unde este depusă SiC poate fi polizată, ce are un impact pozitiv asupra calităţii stratului depus.
Pe de altă parte, utilizarea suprafeţei nepolizate a substratului poate majora absorbţia energiei solare şi, prin urmare, eficienţa structurii fotovoltaice.
Pentru ameliorarea contactului cu metalul, partea opusă a substratului 3, pe care este depus electrodul de jos 4, de asemenea poate fi polizată, dar impactul pozitiv este neînsemnat, de aceea se poate depune electrodul 4 şi pe suprafaţa nepolizată a substratului 3.
Starea amorfă a stratului de carbură de siliciu este confirmată prin rezultatele difracţiei fascicolului de electroni în microscopul electronic de transmisie JEM 2100. Cercurile de difracţie din fig. 3а demonstrează absenţa orientării predominante în stratul amorf SiC, crescut pe substrat de Si (100), în fig. 3b se vede clar structura insulară a stratului amorf SiC.
Structura fotovoltaică propusă în baza heterojoncţiunii a-SiC/c-Si, carbură de siliciu amorf - siliciu de tipul p, cu utilizarea suprafeţei polizate, nedezvoltate a substratului din siliciu monocristalin, fără folosirea concentratorilor de radiaţie solară, demonstrează eficienţa de 7,83%, care este confirmată de caracteristica volt-amper din fig. 4.
Prin urmare, problema determinată de a obţine rezultatul tehnic propus, a fost soluţionată.
1. Yoshihisa Tawada, Hideo Yamagishi, Mass-production of large size a-Si modules and future plan, Solar Energy Materials & Solar Cells 66, 2001, p. 95-105
2. Y. Hamakawa, Recent progress of the amorphous silicon solar cells and their technology, Journal de Physique, Suppl №10, V. 42, 1981, p. C4-1131
3. Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев B.C., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В В., Охрименко О.Б., Поляков В. В., Светличный A.M., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение. Харьков, «ИСМА», 2010, c.532
4. Banerjee C., Haga K., Miyajima S., Yamada A., Konagai M., Fabrication of µc-3C-SiC/c-Si Heterojunction Solar Cell by Hot Wire CVD System, Photovoltaic Energy Conversion, Conference Record of the 2006 IEEE 4th World Conference, on 7-12 May 2006, V.2, p.1334 - 1337
5. Y. Matsumoto, G. Hirata, H. Takakura, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, A new type of high efficiency with a low cost solar cell having the structure of a µc SiC/polycrystalline silicon heterojunction J. Appl. Phys. 67, 6538, 1990
6. A. Solangi, M. I. Chaudhry, Amorphous and Crystalline Silicon Carbide IV, Springer, Proceedings in Physics, Volume 71, 1992, p. 362-367

Claims (1)

  1. Structură fotovoltaică cu o joncţiune, care conţine un strat de carbură de siliciu cu conductibilitatea de tipul n, un substrat din siliciu monocristalin cu orientarea (100) şi conductibilitatea de tipul p, electrozii metalici de sus şi de jos, caracterizată prin aceea că reprezintă un component cu două straturi al heterojoncţiunii p-n a-SiC/c-Si, în care stratul de carbură de siliciu amorf cu conductibilitatea de tipul n cu grosimea filmului de 6...20 nm este depus prin dispersie magnetronică nereactivă în argon dintr-o ţintă solidă de SiC pe suprafaţa prealabil pregătită a substratului monocristalin de siliciu cu conductibilitatea de tipul p, electrodul de sus este fabricat din argint sau cupru în formă de regletă de contact şi este amplasat nemijlocit pe stratul a-SiC, iar electrodul de jos din argint sau cupru este amplasat pe partea opusă a substratului din siliciu monocristalin.
MDA20130070A 2013-03-22 2013-10-03 Structură fotovoltaică cu o joncţiune MD4339C1 (ro)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013113078/28A RU2532857C1 (ru) 2013-03-22 2013-03-22 Фотовольтаическая структура

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD4339B1 MD4339B1 (ro) 2015-03-31
MD4339C1 true MD4339C1 (ro) 2016-01-31

Family

ID=51656430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDA20130070A MD4339C1 (ro) 2013-03-22 2013-10-03 Structură fotovoltaică cu o joncţiune

Country Status (2)

Country Link
MD (1) MD4339C1 (ro)
RU (1) RU2532857C1 (ro)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2577174C1 (ru) * 2014-12-18 2016-03-10 Общество с ограниченной ответственностью "Энергоэкотех" Покрытие для фотовольтаической ячейки и способ его изготовления
CN110993743A (zh) * 2019-12-25 2020-04-10 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 一种异质结光伏器件的制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002289886A (ja) * 2001-03-27 2002-10-04 Hikari Kobayashi 半導体膜の処理方法,光起電力素子の製造方法及び光起電力素子
MD3112G2 (ro) * 2005-06-16 2007-02-28 Государственный Университет Молд0 Celulă solară cu straturi subţiri
MD3737G2 (ro) * 2007-03-26 2009-05-31 Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы Celulă solară bilaterală şi procedeu de fabricare a acesteia
KR20120003116A (ko) * 2010-07-02 2012-01-10 강민석 탄화규소 광전지 소자의 표면 나노 구조 조직화 방법 및 그를 이용한 다이오드 구조
US20130255775A1 (en) * 2012-04-02 2013-10-03 Nusola, Inc. Wide band gap photovoltaic device and process of manufacture

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BR9711418B1 (pt) * 1996-09-26 2010-06-29 folha fotovoltaica, e, processo para a fabricação de uma folha fotovoltaica.
JP3776098B2 (ja) * 2003-09-29 2006-05-17 圭弘 浜川 光発電装置
CN101820006B (zh) * 2009-07-20 2013-10-02 湖南共创光伏科技有限公司 高转化率硅基单结多叠层pin薄膜太阳能电池及其制造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002289886A (ja) * 2001-03-27 2002-10-04 Hikari Kobayashi 半導体膜の処理方法,光起電力素子の製造方法及び光起電力素子
MD3112G2 (ro) * 2005-06-16 2007-02-28 Государственный Университет Молд0 Celulă solară cu straturi subţiri
MD3737G2 (ro) * 2007-03-26 2009-05-31 Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы Celulă solară bilaterală şi procedeu de fabricare a acesteia
KR20120003116A (ko) * 2010-07-02 2012-01-10 강민석 탄화규소 광전지 소자의 표면 나노 구조 조직화 방법 및 그를 이용한 다이오드 구조
US20130255775A1 (en) * 2012-04-02 2013-10-03 Nusola, Inc. Wide band gap photovoltaic device and process of manufacture

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A. Solangi, M. I. Chaudhry, Amorphous and Crystalline Silicon Carbide IV, Springer, Proceedings in Physics, Volume 71, 1992, p. 362-367 *
Banerjee C., Haga K., Miyajima S., Yamada A., Konagai M., Fabrication of μc-3C-SiC/c-Si Heterojunction Solar Cell by Hot Wire CVD System, Photovoltaic Energy Conversion, Conference Record of the 2006 IEEE 4th World Conference, on 7-12 May 2006, V.2, p.1334 - 1337 *
Y. Hamakawa, Recent progress of the amorphous silicon solar cells and their technology, Journal de Physique, Suppl №10, V. 42, 1981, p. C4-1131 *
Y. Matsumoto, G. Hirata, H. Takakura, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, A new type of high efficiency with a low cost solar cell having the structure of a μc SiC/polycrystalline silicon heterojunction J. Appl. Phys. 67, 6538, 1990 *
Yoshihisa Tawada, Hideo Yamagishi, Mass-production of large size a-Si modules and future plan, Solar Energy Materials & Solar Cells 66, 2001, p. 95-105 *
Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев B.C., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В В., Охрименко О.Б., Поляков В. В., Светличный A.M., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение. Харьков, «ИСМА», 2010, c.532 *

Also Published As

Publication number Publication date
RU2532857C1 (ru) 2014-11-10
RU2013113078A (ru) 2014-09-27
MD4339B1 (ro) 2015-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101197639B1 (ko) 그래핀 구조, 그 제조 방법 및 그래핀 구조를 이용한 투명 전극
Wang et al. Efficient heterojunction solar cells on p-type crystal silicon wafers
JP2009503848A (ja) 組成傾斜光起電力デバイス及び製造方法並びに関連製品
CN102064216A (zh) 一种新型晶体硅太阳电池及其制作方法
WO2012134807A2 (en) Graphene-based multi-junctions flexible solar cell
CN103000742A (zh) 一种带隙渐变硅量子点多层膜的太阳电池及制备方法
Bertolli Solar cell materials
KR20080091655A (ko) 박막형 광기전력 변환소자 및 그 제조방법
CN101820007A (zh) 高转化率硅晶及薄膜复合型多结pin太阳能电池及其制造方法
US10256362B2 (en) Flexible silicon infrared emitter
CN103563091B (zh) 具有改善的隧道结的串列太阳能电池
RU2590284C1 (ru) Солнечный элемент
CN106409961B (zh) 一种n-Si/CdSSe叠层太阳电池及其制备方法
CN101894871B (zh) 高转化率硅晶及薄膜复合型单结pin太阳能电池及其制造方法
WO2012057604A1 (en) Nanostructure-based photovoltaic cell
CN102157594B (zh) 一种超晶格量子阱太阳电池及其制备方法
MD4339C1 (ro) Structură fotovoltaică cu o joncţiune
RU2632266C2 (ru) Гетероструктурный фотоэлектрический преобразователь на основе кристаллического кремния
Angadi et al. A review on different types of materials employed in solar photovoltaic panel
KR20110044442A (ko) 박막 태양전지용 투명전극 및 그의 제조방법
KR101079027B1 (ko) 광기전력 장치의 제조 방법
CN111276550A (zh) 具有石墨烯透明电极的柔性太阳能电池及其制作方法
CN204424275U (zh) 具有量子阱结构的碲化镉薄膜太阳能电池
JP2014049652A (ja) 光起電力装置
JP5872877B2 (ja) 薄膜太陽電池モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
FG4A Patent for invention issued
KA4A Patent for invention lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)
MM4A Patent for invention definitely lapsed due to non-payment of fees