MD175Z - Устройство для получения сверхпроводящих пленок - Google Patents

Устройство для получения сверхпроводящих пленок Download PDF

Info

Publication number
MD175Z
MD175Z MDS20090234A MDS20090234A MD175Z MD 175 Z MD175 Z MD 175Z MD S20090234 A MDS20090234 A MD S20090234A MD S20090234 A MDS20090234 A MD S20090234A MD 175 Z MD175 Z MD 175Z
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
obtaining
substrate
superconducting films
superconducting
electrode support
Prior art date
Application number
MDS20090234A
Other languages
English (en)
Romanian (ro)
Inventor
Анатол СИДОРЕНКО
Владимир ЗДРАВКОВ
Роман МОРАРЬ
Original Assignee
Институт Электронной Инженерии И Промышленных Технологий Академии Наук Молдовы
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Электронной Инженерии И Промышленных Технологий Академии Наук Молдовы filed Critical Институт Электронной Инженерии И Промышленных Технологий Академии Наук Молдовы
Priority to MDS20090234A priority Critical patent/MD175Z/ru
Publication of MD175Y publication Critical patent/MD175Y/ro
Publication of MD175Z publication Critical patent/MD175Z/ru

Links

Landscapes

  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к сверхпроводникам, а именно к устройствам для нанесения в вакууме тонких пленок высокого качества из сверхпроводящих материалов и может быть использовано в приборостроении.Устройство для получения сверхпроводящих пленок включает вакуумную камеру (1), снабженную вакуумными насосами (2), и в которой размещены магнетрон (3), держатель-катод (4) с мишенью (6), на котором смонтирован экран (5), и подложка (7). Держатель-катод (4) закреплен в механизме (8), обеспечивающем его вращательно-поступательное движение над подложкой (7).
MDS20090234A 2008-02-25 2008-02-25 Устройство для получения сверхпроводящих пленок MD175Z (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20090234A MD175Z (ru) 2008-02-25 2008-02-25 Устройство для получения сверхпроводящих пленок

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20090234A MD175Z (ru) 2008-02-25 2008-02-25 Устройство для получения сверхпроводящих пленок

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD175Y MD175Y (ro) 2010-03-31
MD175Z true MD175Z (ru) 2010-10-31

Family

ID=43568947

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDS20090234A MD175Z (ru) 2008-02-25 2008-02-25 Устройство для получения сверхпроводящих пленок

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD175Z (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2503096C1 (ru) * 2012-09-20 2013-12-27 Владимир Михайлович Борисов Устройство и способ для нанесения сверхпроводящих слоев

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001059815A2 (en) * 2000-02-09 2001-08-16 Semitool, Inc. Method and apparatus for processing a microelectronic workpiece at an elevated temperature
MD2289G2 (ru) * 2003-03-14 2004-08-31 Ион ТИГИНЯНУ Способ изготовления планарного оптического прибора с волноводом
MD2804G2 (ru) * 2004-10-19 2006-02-28 Ион ТИГИНЯНУ Способ получения нанокомпозита
MD3029C2 (ru) * 2004-09-06 2006-11-30 ШИШЯНУ Серджиу Способ получения датчиков (варианты)
MD3088G2 (ru) * 2005-08-10 2007-03-31 Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы Способ получения металлических нанотрубок
MD3372C2 (ru) * 2006-03-31 2008-02-29 ШИШЯНУ Серджиу Способ получения фотоэлементов (варианты)
MD4010F2 (en) * 2007-12-12 2010-01-29 Universitatea Tehnica A Moldovei Method for obtaining thin films of oxide semiconductors of In2O3
MD3894G2 (ru) * 2008-02-22 2010-01-31 Государственный Университет Молд0 Газовый датчик на основе стеклообразных халькогенидных полупроводников
  • 2008

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001059815A2 (en) * 2000-02-09 2001-08-16 Semitool, Inc. Method and apparatus for processing a microelectronic workpiece at an elevated temperature
MD2289G2 (ru) * 2003-03-14 2004-08-31 Ион ТИГИНЯНУ Способ изготовления планарного оптического прибора с волноводом
MD3029C2 (ru) * 2004-09-06 2006-11-30 ШИШЯНУ Серджиу Способ получения датчиков (варианты)
MD2804G2 (ru) * 2004-10-19 2006-02-28 Ион ТИГИНЯНУ Способ получения нанокомпозита
MD3088G2 (ru) * 2005-08-10 2007-03-31 Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы Способ получения металлических нанотрубок
MD3372C2 (ru) * 2006-03-31 2008-02-29 ШИШЯНУ Серджиу Способ получения фотоэлементов (варианты)
MD4010F2 (en) * 2007-12-12 2010-01-29 Universitatea Tehnica A Moldovei Method for obtaining thin films of oxide semiconductors of In2O3
MD3894G2 (ru) * 2008-02-22 2010-01-31 Государственный Университет Молд0 Газовый датчик на основе стеклообразных халькогенидных полупроводников

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Hermn M.A., Sitter H. Molecular beam epitaxy – fundamentals and current status. ISBN 3-540-19075-9, Springer-Verlag-Berlin-Heidelberg-New York-London-Paris-Tokyo 1989, p. 1-382 *
Дедю В.И., Лыков А.Н., Махашвили Л.И. Малогабаритное устройство для магнетронного напыления. Физический Институт им. П.Н. Лебедева, Препринт № 92, Москва, 1987 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2503096C1 (ru) * 2012-09-20 2013-12-27 Владимир Михайлович Борисов Устройство и способ для нанесения сверхпроводящих слоев

Also Published As

Publication number Publication date
MD175Y (ro) 2010-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201205818A (en) Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor
WO2006026621A3 (en) Molybdenum tubular sputtering targets with uniform grain size and texture
WO2007124879A3 (de) Vorrichtung und verfahren zur homogenen pvd-beschichtung
DE602004020227D1 (de) Rotierende rohrförmige sputtertargetanorndung
TW200620421A (en) Apparatus for fabricating display device
WO2011028349A3 (en) Remote hydrogen plasma source of silicon containing film deposition
EP1746181A3 (en) Improved magnetron sputtering system for large-area substrates
NZ597840A (en) Apparatus for producing x-rays for use in imaging
Chu et al. AZO/Au/AZO tri-layer thin films for the very low resistivity transparent electrode applications
TW200708195A (en) Organic el element, organic el display device, and process for producing organic el element
Hoon et al. Direct current magnetron sputter-deposited ZnO thin films
TW200745355A (en) Evaporation apparatus evaporation method, method of manufacturing electro-optical device, and film-forming apparatus
CN104089570A (zh) 一种压阻传感元件及其制备方法
MD175Z (ru) Устройство для получения сверхпроводящих пленок
TW200702469A (en) Improved magnetron sputtering system for large-area substrates having removable anodes
TW200634927A (en) Method of manufacturing semiconductor device
MD20080058A (ru) Устройство для получения сверхпроводящих слоев
MY152203A (en) Methods of forming a window layer in a cadmium telluride based thin film photovoltaic device
EP1990443A3 (en) Method and apparatus for DC plasma assisted chemical vapor deposition in the absence of a positive column, and diamond thin film fabricated thereby
Lee et al. Influence of annealing atmosphere on the structure, resistivity and transmittance of InZnO thin films
TW200632117A (en) Method of mounting substrate in film deposition apparatus and method of depositing film
Lee et al. Crystallinity, etchability, electrical and mechanical properties of Ga doped amorphous indium tin oxide thin films deposited by direct current magnetron sputtering
Fakhri et al. Enhanced stability against bias-stress of metal-oxide thin film transistors deposited at elevated temperatures
TW200639928A (en) Thin-film forming apparatus
WO2005010953A3 (en) Boride thin films on silicon

Legal Events

Date Code Title Description
KA4Y Short-term patent lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)