KR970701347A - 습도 센서(humidity sensor) - Google Patents

Abstract

1개의 감온 저항체로 습도 측정을 가능하게 한 것으로서, 측정 분위기의 온도 변화에 따른 특성 변화가 작고 비용을 줄일 수 있는 열전도식의 습도 센서를 제공하기 위해서, 감온 저항체(1)와 3개의 고정 저항체(R₁,R₂,R₃)로 휘스톤 브리지 회로를 구성하는 한편, 감온 저항체(1)의 열방산이 습도에 의해 변화하는 것을 이용하여 습도를 측정한다. 주울열로 자기 발열하는 발열체(2)에 의해 감온 저항체(1)를 가열하여 상기 감온 저항체(1)의 온도를 300℃이상의 일정 온도로 제어하는 한편, 휘스톤 브리지 회로의 출력 전압치를 감온 저항체(1)의 분위기 온도에 의한 상기 출력 전압치의 변화분을 기초로하여 보정한다.

Description

습도 센서(HUMIDITY SENSOR)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 종래의 습도 센서의 일 예를 분해사시도.

제3도는 종래의 습도 센서의 주요 부분을 도시한 사시도.

제4도는 본 발명에 따른 습도 센서의 일 예를 도시한 회로도.

Claims (12)

1. 감온 저항체의 열방산이 습도에 의해 변화하는 것을 이용하여 습도를 측정하는 습도 센서에 있어서, 상기 감온 저항체를 가열하기 위해서 설치된 주울열에 의해 자기 발열하는 발열체를 가지며, 상기 감온 저항체를 가열하여 상기 감온 저항체의 온도를 일정한 온도인 제1온도로 제어한 가열 제어 수단과, 상기 제1온도에 있어서의 상기 감온 저항체의 전압 하강에 대한 출력 전압을 출력하는 전자 회로와, 상기 전자 회로의 출력 전압치를 상기 감온 저항체의 분위기 온도에 따른 상기 전자 회로의 출력 전압치의 변화분을 기초로하여 보정하는 보정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
2. 제1항에 있어서, 상기 전자 회로는 상기 감온 저항체를 포함한 휘스톤 브리지 회로를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
3. 제1항에 있어서, 상기 감온 저항체와 상기 발열체는 박막으로 구성됨과 동시에 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
4. 제1항에 있어서, 상기 감온 저항체와 상기 발열체는 박막으로 구성된 동일한 소자로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
5. 제1항에 있어서, 상기 제1온도는 300℃ 이상인 것을 특징으로 하는 습도 센서.
6. 제1항에 있어서, 상기 가열 제어 수단은 상기 발열체에 일정 시간내에 2종의 펄스 전압을 인가함으로써 상기 감온 저항체의 온도를 상기 제1온도와 상기 제1온도보다 낮은 제2온도로 전환하는 전환 수단을 구비하며, 상기 전자 회로는 상기 감온 저항체의 온더를 상기 제2온도로 했을 때의 상기 감온 저항체의 전압 하강에 대한 출력 전압을 출력하고, 상기 보정 수단은 상기 전자회로의 출력 특성을 기초로하여, 상기 감온 저항체의 온도를 상기 제1온도로 했을 때의 상기 전자 회로의 출력 전압치를 측정 분위기의 온도 영향이 제거되도록 보정하는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
7. 제6항에 있어서, 상기 감온 저항체와 상기 발열체는 박막으로 구성됨과 동시에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 습도 센서.
8. 제6항에 있어서, 상기 감온 저항체와 상기 발열체는 박막으로 된 동일 소자로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
9. 제6항에 있어서, 상기 전자 회로는 상기 전환 수단에 의해 상기 감온 저항체로의 상기 2종의 펄스 전압에의한 인가 전압을 변화시키는 2종의 저항부를 구비하는 것을 특징으로 하는 습도 센서.
10. 제6항에 있어서, 상기 보정 수단은 측정 분위기의 온도 정보를 부여하는 온도 검출기와, 상기 측정 분위기의 온도 정보를 기초로하여 상기 출력 전압치를 보정하는 보정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 습도센서.
11. 제6항에 있어서, 상기 가열 제어 수단은 상기 감온 저항체를 가열하여 상기 제1온도와 상기 제2온도로 하기 위한 상기 2종의 펄스 전압을 출력하는 전원 장치를 구비하고 있는 것을 특증으로 하는 습도 센서.
12. 제6항에 있어서, 상기 제2온도는 100∼150℃의 범위내에 일정 온도인 것을 특징으로 하는 습도 센서.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.