KR970077134A - 반도체 결정성장장비의 가스공급장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 결정성장장비의 가스공급장치에 관한 것으로, 종래에는 공정 튜브(TUBE)의 전면에 설치되어 있는 프론트 플랜지(FRONT FLANGE)와 후면에 설치되어 있는 리어 플랜지(REAR FLANGE)를 통하여 튜브의 내부로 외부의 산소(OXIDE)가 유입되어 웨이퍼에 산화막이 형성되는 아이피시(INTER OPLY CONNECT) 불량이 발생되는 문제점이 있었던 바, 본 발명의 반도체 결정성장장비의 가스공급장치는 프론트 플랜지와 리어 플랜지에 N2가스를 공급하기 위한 제1질소공급라인과 제2질소공급라인을 각각 설치하여 프론트 플랜지와 리어 플랜지를 통하여 튜브의 내부로 산소가 유입되는 것을 차단함으로서, 산소의 유입으로 웨이퍼에 산화막이 발생하는 아이피시 불량을 방지하는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명 반도체 결정성장 장비의 가스공급장치를 보인 배관도.
Claims (1)
- 공정 튜브의 전면에 설치되어 있는 프론트 플랜지에 연결설치되어 프론트 플랜지를 통하여 튜브의 내부로 유입되는 산소를 차단하기 위한 제1질소공급라인과, 튜브의 후면에 설치되어 있는 리어 플랜지에 연결설치되어 리어 플랜지를 통하여 튜브의 내부로 유입되는 산소를 차단하기 위한 제2질소공급라인을 포함하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 결정성장장비의 가스공급장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015234A KR970077134A (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 반도체 결정성장장비의 가스공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015234A KR970077134A (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 반도체 결정성장장비의 가스공급장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077134A true KR970077134A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960015234A KR970077134A (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 반도체 결정성장장비의 가스공급장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077134A (ko) |
-
1996
- 1996-05-09 KR KR1019960015234A patent/KR970077134A/ko not_active Application Discontinuation
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