KR970070255A - 단결정의 인발장치 - Google Patents

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슐만 빈프리트
카이저 헬무트
팀 프란츠
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페. 좀머캄프, 에. 튜테
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Abstract

본 발명은 도가니가 베이스 스탠드(1,32) 위에 지지되어 있는 도가니 지지볼트(11,34)상의 진공챔버(5,33)속에 배치되어 있고 가열요소의 복사열에 의해 가열될 수 있으며, 용융물의 상부에 인발요소(4,35)가 제공되어 있고 이 요소를 사용하여 베이스 스탠드(1,32)에 대하여 측면으로 회전할 수 있는 슬루이스 챔버(22,36) 속으로 상부로부터 용융물의 표면의 결정을 인발할 수 있으며 결정과 인발요소(4,35) 사이에 제공되어 있는 탈커플링 장치가 있고 인발요소(4,35)에 의해 결정이 분리되는, 진공하에 또는 보호기체의 감압하에 도가니에 존재하는 용융물로부터 단결정을 인발하는 장치에 있어서, 베이스 스탠드(1,32)가 지지대(37,37′, 37″,37″′)에 의해 유지되어 있는 플랫폼(8,38)으로 형성되고, 진공챔버(5,33)가 부착된 직사각형의 플랫폼(8,38) 위에서 이들 네 모서리중 각각 세 모서리에 추가의 다리(39,39′,39″)가 지지되며 모두 동일한 길이의 이들 3개의 수직 연장된 다리(39,39′,39″)가 이들의 상부 말단에서 직각 삼각형을 형성하여 수평 연장된 프레임(3,40)을 유지하고 당해 프레임(3,40)에 의해 프랫폼(8,38)으로 돌출된 플레이트가 플랫폼 평면에 의해 외접하며, 다리(39,39′,39″)중 적어도 하나에 글로우즈 또는 회전아암(21,29,41)이 위치하고 여기에 슬루이스 챔버(22,36)가 고정되어 있으며 당해 챔버는 다리(39,39′,39″)와 평행하게 진공챔버(5,33)의 뚜껑(42) 까지 연장되어 있는 장치에 관한 것이다.

Description

단결정의 인발장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 다리가 넷인 베이스 스탠드와 다리가 셋인 상부 스탠드를 갖는 본 발명에 따른 장치의 투시도이다.

Claims (5)

  1. 도가니가 베이스 스탠드(1,32) 위에 지지되어 있는 도가니 지지볼트(11,34)상의 진공챔버(5,33)속에 배치되어 있고 가열요소의 복사열에 의해 가열될 수 있으며, 용융물의 상부에 인발요소(4,35)가 제공되어 있고 이 요소를 사용하여 베이스 스탠드(1,32)에 대하여 측면으로 회전할 수 있는 슬루이스 챔버(22,36)속으로 상부로부터 용융물의 표면의 결정을 인발할 수 있으며 결정과 인발요소(4,35)사이에 제공되어 있는 탈커플링 장치가 있고 인발요소(4,35)에 의해 결정이 분리되는, 진공하에 또는 보호기체의 감압하에 도가니에 존재하는 용융물로부터 단결정을 인발하는 장치에 있어서, 베이스 스탠드(1,32)가 지지대(37,37′, 37″,37″′)에 의해 유지되어 있는 플랫폼(8,38)으로 형성되고, 진공챔버(5,33)가 부착된 직사각형의 플랫폼(8,38) 위에서 이들 네 모서리중 각각 세 모서리에 추가의 다리(39,39′,39″)가 지지되며 모두 동일한 길이의 이들 3개의 수직 연장된 다리(39,39′,39″)가 이들의 상부 말단에서 직각 삼각형을 형성하여 수평 연장된 프레임(3,40)을 유지하고 당해 프레임(3,40)에 의해 프랫폼(8,38)으로 돌출된 플레이트가 플랫폼 평면에 의해 외접하며, 다리(39,39′,39″)중 적어도 하나에 글로우즈 또는 회전아암(21,29,41)이 위치하고 여기에 슬루이스 챔버(22,36)가 고정되어 있으며 당해 챔버는 다리(39,39′,39″)와 평행하게 진공챔버(5,33)의 뚜껑(42)까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 베이스 스탠드(32)의 3개의 지지대(37,37″,37″′)가 플랫폼 (38) 위로 연장되어 상부 스탠드(43)의 3개의 다리(39,39′,39″)가 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 다리중의 적어도 하나(39)의 수직의 회전 스토어(44)를 형성하며 여기에 수평으로 연장된 아암(41)이 고정되어 슬루이스 챔버(36)를 아암의 측면으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 플랫폼(38) 또는 가로 연결대(8)에 승강/하강 장치(9)가 지지되어 있어 진공챔버(5)를 둘러싸고 있는 환형 자석(10)이 수직으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 탱크 또는 진공챔버(5,33)가 플랫폼(38) 또는 가로 연결대(8)위에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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