KR970067556A - 웨이퍼 정렬 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

Abstract

공간 확보 문제를 해결하고 웨이퍼의 정렬을 기밀상태에서 회전에 의하여 이루어지도록 개선시킨 웨이퍼 정렬 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

본 발명은, 척에 안착되는 웨이퍼를 기준으로 서로 대응되는 부분에 각각 발광소자와 촬상소자가 배치구성되고, 로봇으로 웨이퍼를 촬상된 신호로써 플랫존 기준으로 제어부가 웨이퍼를 정렬하도록 구성되어서, 척으로 웨이퍼를 시계방향으로 회전시켜서 필요한 수의 척 중심에 대한 임의 각별 웨이퍼 단부 좌표를 구한 후 웨이퍼의 편심을 구하는 제1과정, 척으로 웨이퍼를 반시계방향으로 회전시켜서 웨이퍼 단부까지의 길이변화 상태로써 웨이퍼 플랫존 좌표를 구하는 제2과정 및 웨이퍼의 편심과 플랫존의 좌표로써 웨이퍼의 중심을 구하고, 웨이퍼의 중심을 로봇의 로딩을 위한 중심과 일치시키도록 척을 회전시켜서 웨이퍼를 특정 위치로 정렬하는 제3과정을 수행하도록 이루어진다.

따라서,웨이퍼의 엄밀한 정렬이 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 장치의 공간적인 문제 및 파티클 문제가 해소될 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 정렬 장치 및 그 제어방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬 제어 방법의 실시예를 위한 시계방향 웨이퍼 회전에서 편심을 구하기 위한 도면이다.

Claims (9)

1. 웨이퍼를 척 상으로 안착한 후 플랫존 기준으로 정렬하고 로딩하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기 척이 설치되고, 웨이퍼를 기준으로 서로 대응되는 부분에 각각 발광수단과 수광수단이 설치되며, 상기 척, 발광수단및 수광수단을 포함한 내부가 기밀을 유지하도록 구성된 정렬부; 상기 정렬부의 하부에 상기 척을 회전시키고 회전 정도를 감지하도록 장착되는 구동수단; 상기 발광수단을 제어하고, 상기 수광수단으로부터 출력되는 신호로써 웨이퍼의 단부 위치를 검출하며, 상기 구동수단이 상기 척을 원하는 방향 및 각으로 회전시키도록 제어하고, 웨이퍼 로딩을 위한 로봇 제어신호를 출력하는 제어수단; 및 상기 제어수단의 로봇 제어신호에 따라 정렬위치로 구동되어 웨이퍼를 정렬이송하는 로봇로딩수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은; 상기 정렬부의 척 하부에 부착되어 척을 회전시키는 모터; 상기 모터의 회전을 감지하여 코딩신호를 출력하는 엔코더; 및 상기 엔코더로부터 출력되는 신호를 상기 제어수단으로 출력하고, 상기 제어수단으로부터 출력되는 신호로써 모터의 회전을 제어하는 모터구동제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 정렬장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 로봇 제어수단은, 상기 웨이퍼를 척 상부에 안착시키고, 정렬된 웨이퍼를 로딩하는 로봇; 및 상기 제어수단의 로봇 제어신호에 의하여 상기 로봇의 구동시키는 신호를 출력하는 로봇구동제어수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 정렬장치.
4. 척에 안착되는 웨이퍼를 기준으로 서로 대응되는 부분에 각각 발광소자와 촬상소자가 배치구성되고, 로봇으로 웨이퍼를 척 상으로 안착시켜 로딩하며, 촬상된 신호로써 플랫존 기준으로 제어부가 웨이퍼를 정렬하도록 구성된 웨이퍼 정렬 제어 장치로, 척의 회전으로 웨이퍼를 제1방향으로 회전시켜서 상기 촬상소자가 상기 발광 소자의 광을 센싱함으로써 필요한 수의 척 중심에 대한 임의 각별 웨이퍼 단부 좌표를 구한 후 웨이퍼의 편심을 구하는 제1과정; 척의 회전으로 웨이퍼를 제2방향으로 회전시켜서 상기 촬상소자가 상기 발광소자의 광을 센싱함으로써 웨이퍼 단부까지의 길이 변화 상태로써 웨이퍼 플랫존 좌표를 구하는 제2과정; 및 상기 웨이퍼의 편심과 플랫존의 좌표로써 웨이퍼의 중심을 구하고, 상기 웨이퍼의 중심을 상기 로봇의 로딩을 위한 중심과 일치시키도록 척을 회전시켜서 웨이퍼를 특정위치로 정렬하는 제3과정을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 제어방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1방향은 시계방향임을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 제어방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 제2방향은 반시계방향임을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 제어방법.
7. 제4항에 있어서, 상기 제1방향 및 제2방향은 서로 다른 방향으로서 시계방향 및 반시계방향임을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 제어방법.
8. 제4항에 있어서, 상기 제1과정은; 척 중심에 대한 임의 세 각에 대한 웨이퍼 변부좌표를 구하는 단계; 상기 웨이퍼 변부 좌표로써 서로 인접한 두 점을 지나는 제1 및 제2선분의 중심을 수직으로 지나는 제1 및 제2직선을 구하는 단계; 및 척 상에 편심 안착된 웨이퍼의 중점으로서 상기 제1 및 제2직선의 교점을 구하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 정렬 제어방법.
9. 제4항에 있어서, 상기 제2과정은; 웨이퍼의 변부 길이 변화를 편심을 중심으로 하는 원의 방정식을 유도하여 근의 공식으로 구하는 단계; 및 상기 원의 방정식에 따른 제1궤적과 실제 촬상소자로부터 촬상된 이미지에 따른 제2궤적을 비교하여 상기 제1 및 제2궤적의 차가 발생하는 좌표 및 차가 없어지는 좌표를 구하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 정렬 제어방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.