KR970066563A - 후막형 가스 센서 어레이 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
기판에 복수개의 후막형 가스 센서를 효과적으로 설치할 수 있는 후막형 가스 센서 어레이에 관하여 개시한다. 본 발명은, 기판과, 상기 기판의 상면 및 배면 상에 형성된 복수의 후막 가열부들 및 패드 전극들과, 상기 후막 가열부들을 덮도록 형성된 복수의 보호막들과, 상기 보호막들 상에 형성된 복수의 센서 전극들과, 상기 센서 전극들을 덮도록 형성된 복수의 감지 물질층들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이를 제공한다. 본 발명의 후막형 가스 센서 어레이는 복수개의 센서를 효과적으로 설치할 수 있고, 복수개의 피검가스를 선택적으로 검출할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 후막형 가스 센서 어레이를 설명하기 위한 평면도이다, 제3도는 상기 제2도에 도시한 후막형 가스센서 어레이의 단면도이다, 제4도는 본 발명에 의한 후막형 가스 센서 어레이의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
Claims (7)
- 기판; 기판의 상면 및 배면 상에 형성된 복수의 후막 가열부들 및 패드 전극들; 상기 후막 가열부들을 덮도록 형성된 복수의 보호막들; 상기 보호막들 상에 형성된 복수의 센서 전극들; 및 상기 센서 전극들을 덮도록 형성된 복수의 감지 물질층들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 알루미나로 구성되는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 후막 가열부들은 백금막 또는 루데늄산화막(RuO2)으로 구성하는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 센서 전극들은 백금(Pt)막 또는 Ag와 Pd의 혼합막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 감지 물질층들은 SnO2, TiO2, Fe2O3및 WO3중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 주물질로 하고, 상기 주물질에 백금족 귀금속 촉매가 소량 첨가하여 구성하는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이.
- 기판의 상면 및 배면 상에 복수의 후막 가열부들 및 패드 전극들을 형성하는 단계; 상기 후막 가열부들을 덮도록 복수의 보호막들을 형성하는 단계; 상기 보호막들 상에 복수의 센서 전극들을 형성하는 단계; 및 상기 센서 전극들을 덮도록 복수의 감지 물질층들을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이의 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기 후막 가열부들, 패드 전극들 및 센서 전극들은 백금막을 스크린프린팅법으로 형성 하는 것을 특징으로 하는 후막형 가스 센서 어레이의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009559A KR970066563A (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 후막형 가스 센서 어레이 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009559A KR970066563A (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 후막형 가스 센서 어레이 및 그 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970066563A true KR970066563A (ko) | 1997-10-13 |
Family
ID=66222527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960009559A KR970066563A (ko) | 1996-03-30 | 1996-03-30 | 후막형 가스 센서 어레이 및 그 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970066563A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190020942A (ko) * | 2017-08-22 | 2019-03-05 | 한국광기술원 | 양방향 가스센서 패키지 및 그의 조립방법 |
-
1996
- 1996-03-30 KR KR1019960009559A patent/KR970066563A/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190020942A (ko) * | 2017-08-22 | 2019-03-05 | 한국광기술원 | 양방향 가스센서 패키지 및 그의 조립방법 |
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