KR100188711B1 - 후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 - Google Patents
후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100188711B1 KR100188711B1 KR1019960037671A KR19960037671A KR100188711B1 KR 100188711 B1 KR100188711 B1 KR 100188711B1 KR 1019960037671 A KR1019960037671 A KR 1019960037671A KR 19960037671 A KR19960037671 A KR 19960037671A KR 100188711 B1 KR100188711 B1 KR 100188711B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thick film
- platinum
- substrate
- gas sensing
- catalyst
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/16—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by burning or catalytic oxidation of surrounding material to be tested, e.g. of gas
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
후막형 접촉연소식 가스 감지 소자에 대하여 개시한다. 본 발명은 기판과, 상기 기판의 전면 및 배면에 각각 복수개의 패드를 갖고 병렬형 저항원 역할을 하는 후막 가열부와, 상기 후막 가열부를 덮는 보호막과, 상기 보호막 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 제공한다. 본 발명은 후막 가열부를 스크린프린팅법을 이용하여 형성하고 병렬형 저항원으로 구성함으로써 소자의 크기를 줄이고 소비전력을 줄일 수 있다.
Description
본 발명은 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 양산에 적합하고 후막가열부를 병렬형 저항체로 형성시켜 소비전력이 적게 소요되는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 들어 가스 감지 소자는 의료형, 산업용 및 가정용 뿐만 아니라 대기오염 방지, 연소제어용 및 불완전 연소와 가스 누출 방지용 등으로 그 응용범위가 매우 광범위해지고 있다. 특히, 접촉연소식 가스 감지 소자는 가연성 가스에 대한 선택성, 직선적인 출력특성, 온도 및 습도 등의 주위 분위기의 변화에 대한 안정성, 및 재현성이 타검지방식에 비해 우수한 장점을 갖고 있어 사용빈도가 높은 LNG, LPG 및 도시 가스 등의 가연성 가스 감지용으로 크게 각광을 받고 있다.
한편, 상기 접촉연소식 가스 감지 소자는 크게 벌크형 접촉 연소식 가스 감지 소자와 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자로 대별할 수 있으며, 주로 벌크형 가스 감지 소자가 주종을 이루고 있다. 여기서, 상기 벌크형 접촉연소식 가스 감지 소자와 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 설명한다.
도 1은 종래의 벌크형 접촉연소식 가스 감지 소자를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 1에서, 벌크형 접촉연소식 가스 감지 소자는 백금선 코일(필라멘트: 1)과 상기 백금선 코일(1)을 둘러싸는 알루미나질의 담체(비드:3)와 상기 담체(3)에 담지되는 귀금속 촉매층(5)으로 구성된다.
그런데, 상기 종래의 벌크형 접촉연소식 가스 감지 소자는 백금선(코일)의 제조기술, 담체에 촉매제를 고루 분산시키는 기술 등이 복잡하고 수작업으로 제조하기 때문에, 고신뢰성, 저가격화 및 고수율에 얻는데 문제가 있다.
도 2는 종래의 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2에서, 후막형 가스 감지소자는 알루미나질의 세라믹 기판(7)과, 상기 세라믹 기판(7)의 한면에 백금으로 구성되어 일정 간격으로 형성되어 있는 후막 가열부(9)와, 상기 후막 가열부(9)의 위 또는 반대면에 형성되고, 귀금속 촉매가 담지되는 후막층(11)으로 구성되어 있다.
그런데, 상기 종래의 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자는 그 크기가 크고 한쪽면만을 후막 가열부로 사용하여 소비전력이 크다는 문제점이 있다.
또한, 단위면적당 피검가스와 상기 가스 감지 소자와의 접촉면적이 작아 가스 감도가 낮아지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는 대량생산에 적합하고 소비전력이 감소된 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 상기 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 제조하는 데 적합한 제조 방법을 제공하는 데 있다.
도 1은 종래의 벌크형 접촉연소식 가스 감지 소자를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2는 종래의 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 의한 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 단면도이다.
도 4는 상기 도 3에 도시한 후막가열부를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명에 의한 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법을 공정순서대로 도시한 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 후막형 접촉연소식 가스 감지소자의 감도 측정을 위하여 사용된 휘스톤 브릿지 회로를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄 농도에 대한 감도를 촉매 분말 샘플에 대하여 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄, 프로판 및 부탄 농도에 대한 감도를 그래프이다.
도 9은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄농도에 대한 감도를 입력전압에 따라 도시한 그래프이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 기판과, 상기 기판의 전면 및 배면에 각각 복수개의 패드를 갖고 병렬형 저항원 역할을 하는 후막 가열부와, 상기 후막 가열부를 덮는 보호막과, 상기 보호막 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 제공한다.
상기 기판은 알루미나 재질로 구성한다. 상기 후막 가열부가 상기 기판의 중심을 원점으로하여 원점 대칭이 되게 구성한다.
상기 촉매층은 산화알루미늄(Al2O3), 백금(Pt) 및 팔라디움(Pd)의 혼합물로 구성된 층이며, 상기 후막가열부는 백금 후막으로 구성한다. 상기 혼합물을 구성하는 상기 산화알루미늄, 백금 및 팔라디움의 조성범위는 각각 10Wt%에서 80Wt%, 10Wt%에서 41.7Wt% 및 10Wt%에서 41.7Wt%이다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판의 전면 및 배면에 각각 복수의 패드를 갖는 후막 가열부를 형성하는 단계와, 상기 후막 가열부를 덮는 보호막을 형성하는 단계와, 상기 보호막 상에 촉매층을 형성하는 단계와, 상기 후막 가열부의 전면 및 배면에 형성된 패드를 각각 와이어 본딩에 의해 상기 후막 가열부가 병렬형 저항원이 되도록 패키징하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법을 제공한다.
상기 후막 가열부는 스크린 프린팅법을 이용하여 형성하며, 상기 후막가열부는 백금 후막으로 형성한다.
상기 후막가열부를 형성하는 단계는 상기 기판의 전면에 백금 후막을 형성한 후 건조하는 단계와, 상기 기판의 배면에 백금 후막을 형성한 후 건조하는 단계와, 상기 기판의 전면 및 배면에 형성된 백금후막을 소결하는 단계로 이루어진다. 상기 백금 후막의 소결은 8501050℃에서 수행한다.
상기 촉매층을 형성하는 단계는 촉매 페이스트를 제조하는 단계와, 상기 촉매 페이스트를 스크린 프린팅법으로 상기 보호막 상에 인쇄하는 단계와, 상기 인쇄된 촉매 페이스트를 건조하는 단계와, 상기 건조된 촉매 페이스트를 열처리하는 단계로 이루어진다.
상기 촉매 페이스트는 α-Al2O3 모물질과 백금(Pt)과 팔라디움(Pd)이 구성된 촉매 분말을 에칠셀로우즈 바인더와 부틸카비탈아세테이트 용제로 이루어진 비이클과 카올린에 혼합하여 제조할 수 있다. 상기 인쇄된 촉매 페이스트의 열처리는 500800℃에서 수행한다.
본 발명에 따른 후막형 접촉 연소식 가스 감지 소자는 후막 가열부를 스크린프린팅법을 이용하여 형성하고 병렬형 저항원으로 구성함으로써 소자의 크기를 줄이고 소비전력을 줄일 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명에 의한 접촉연소식 후막형 가스 감지 소자의 구조를 도 3 및 도 4를 이용하여 설명한다.
도 3은 본 발명에 의한 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 단면도이다.도 3에서, 본 발명의 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자는 기판(21), 예컨대 0.25mm 두께의 알루미나 기판의 전면 및 배면에 소정간격으로 형성되고, 복수의 패드(23a)를 갖고 백금 후막으로 구성된 후막 가열부(25)와, 상기 후막가열부(25) 및 기판(21) 상에 형성된 보호막(27)과, 상기 보호막(27) 상에 형성된 촉매층(29)으로 구성된다.
특히, 본 발명의 후막 가열부(25)는 전면 및 배면에 형성된 복수의 패드(23a)에 와이어본딩하여 각각 + 및 - 전원을 연결함으로써 병렬형 저항체 역할을 하게 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자는 저전력에서 충분한 동작온도를 얻을 수 있다.
도 4는 상기 도 3에 도시한 후막가열부를 도시한 평면도이다.
도4에서, 본 발명의 후막 가열부(25)는 도 4에 도시한 바와 같이 소정간격으로 이격된 가는 선으로 디자인하였다. 또한, 상기 후막가열부(25)는 기판의 전면 및 배면에서 균일하게 열을 발산할 수 있도록 기판 중심을 원점으로 원점대칭이 되도록 디자인하였다. 상기 후막가열부(25)의 가는 선의 선폭은 150㎛, 선간은 100㎛로 디자인함으로써 열처리시 후막가열부의 수축을 충분히 고려하였으며, 패드(23a)의 가로 및 세로 크기는 와이어 본딩을 위하여 각각 500㎛로 디자인하였다.
이하, 본 발명에 의한 후막형 접촉연소식 가스 감지소자의 제조방법을 설명한다.
도 5는 본 발명에 의한 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법을 공정순서대로 도시한 흐름도이다.
구체적으로, 3 인치 X 3 인치의 면적과 250㎛ 두께의 알루미나 판(alumina plate)을 레이저로 홀가공하여 0.25mm 두께의 알루미나 기판(alumina substrate)을 준비한다(201). 계속하여, 상기 알루미나 기판을 개개의 소자가 될 수개의 영역(셀)으로 구획하고 후공정에서 분리를 용이하게 하는 셀 분리 공정을 실시한다. 이어서, 상기 알루미나 판의 홀가공시 생성된 입자와 표면 유기물을 제거하기 위해 세정을 수행한다. 상기 소정영역으로 구획된 셀에 가스 감지소자가 제조되기 때문에 상기 알루미나 기판에는 복수개의 가스 감지 소자가 형성된다.
다음에, 알루미나 기판의 전면에 백금 페이스트를 이용한 스크린 프린팅법으로 도 4에 도시한 바와 같이 선간 및 선폭이 각각 100㎛ 및 150㎛이고 500㎛ X 500㎛2의 면적의 패드를 갖는 백금 후막을 형성한 후 120℃에서 건조하였다. 이어서, 알루미나 기판의 배면에 상기 전면에 백금 후막을 형성하는 방법과 동일한 방법으로 백금 후막을 형성한 후 120℃에서 건조한다. 이때, 상기 백금 페이스트의 표면저항은 80mΩ인 것을 사용하였다. 이렇게 기판의 전면 및 배면에 형성된 백금 후막을 8501050℃, 바람직하게는 950℃에서 소결하여 패드를 갖는 후막 가열부를 형성하였다(203).
계속하여, 상기 패드를 제외한 후막 가열부 상에 후에 형성되는 촉매층과의 밀착력의 향상을 위해 보호막, 예컨대 산화막을 형성한 후, 850℃에서 소성하였다(205).
다음에, 상기 보호막 상에 형성될 촉매층을 위한 촉매 페이스트를 준비한다. 상기 촉매 페이스트는 함침법에 의해 α-Al2O3모물질과 백금(Pt)과 팔라디움(Pd)이 구성된 촉매분말을 10cps의 에칠셀로우즈 바인더와 부틸카비탈아세테이트 용제로 이루어진 비이클과 카올린에 혼합하여 제조한다. 이때, 촉매분말의 조성은 안정성과 감도를 고려하여 하기 표 1에 도시한 바와 같이 7가지로 제조하였으며, 에칠셀룰로오즈 바인더와 부틸카비탈아세테이트는 중량비를 1.5대 8.5로 하였으며, 촉매 페이스트의 구성비는 촉매분말:비이클:카올린은 1.1:1.75:0.15로 하였다(207).
표 1
| Pt | Pd | α - Al2O3 | γ-Al2O3 | Sn | |
| 촉매1 (C1) | 10.0 wt% | 10.0 Wt% | 80.0 Wt% | 0 Wt% | 0 Wt% |
| 촉매2 (C2) | 18.7 Wt% | 18.7 Wt% | 43.9 Wt% | 0 Wt% | 18.7 Wt% |
| 촉매3 (C3) | 27.8 Wt% | 27.8 Wt% | 44.4 Wt% | 0 Wt% | 0 Wt% |
| 촉매4 (C4) | 27.8 Wt% | 27.8 Wt% | 44.4 Wt% | 0 Wt% | 5.6 Wt% |
| 촉매5 (C5) | 41.7 Wt% | 41.7 Wt% | 16.6 Wt% | 0 Wt% | 0 Wt% |
| 촉매6 (C6) | 41.7 Wt% | 41.7 Wt% | 15.77 Wt% | 0.83 Wt% | 0 Wt% |
| 촉매7 (C7) | 20.0 Wt% | 20.0 Wt% | 10.0 Wt% | 0 Wt% | 50 Wt% |
다음에, 7가지의 촉매분말로 제조된 촉매 페이스트를 스크린프린팅 법으로 상기 보호막이 형성된 기판의 전면중 패드들을 제외한 모든 부분에 약0.1mm 두께로 인쇄하였다. 이어서, 상기 촉매층이 형성된 기판을 건조시킨뒤, 7가지의 촉매분말로 제조된 촉매 페이스트를 스크린 프린팅법으로 기판의 배면중 패드들을 제외한 모든 부분에 약0.1mm 두께로 인쇄한 후 150℃의 온도, 공기중의 상압에서 건조한다(209).
다음에, 상기 촉매페이스트가 인쇄된 기판을 500∼800℃의 온도, 바람직하게는 700℃에서 열처리하여 최종적인 촉매층을 형성한다(211). 이어서, 상기 촉매층이 형성된 알루미나 기판을 각 셀로 분리 및 절단한 후 후막 가열부를 병렬형 저항체로 구성하기 위하여 기판의 전면의 두 패드와 배면의 두 패드를 각각 백금이나 금 와이어로 본딩하여 병렬형 저항원이 되도록 패키징함으로써 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자가 완성된다(213).
이렇게 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자를 휘스톤 브릿지를 이용하여 감도를 측정하였다.
도 6은 본 발명의 후막형 접촉연소식 가스 감지소자의 감도 측정을 위하여 사용된 휘스톤 브릿지 회로를 도시한 도면이다.
구체적으로, D는 가스 감지 소자를 나타내고 C는 보상소자를 나타내고, R1, R2, 및 Rv는 각각 저항 및 가변저항을 나타낸다. 또한, Vout 및 Vin은 입력 및 출력 전압을 나타낸다. 가스 감지 소자(D)의 저항 Rd와 외부 밀폐 또는 피검가스에 불감한 구조를 갖는 보상소자(C)의 저항 Rc 주위에 가스가 없는 상태일때 RdR2 = RcR1 이 되도록 가변 저항(Rv)을 조정한후 가연성 가스를 주입하면 피검가스 접촉시 연소로 인한 감지 소자의 저항은 Rd에서 Rd+ΔR로 증가하게 되고 이는 불평형 상태전압(out of balance voltage)으로 나타나게 된다. 따라서, 피검가스의 연소에 의한 저항 변화를 감지하여 나타난 불평형 상태전압으로 감도를 설명할 수 있다.
도 7은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄 농도에 대한 감도를 촉매 분말 샘플에 대하여 나타낸 그래프이다.
구체적으로, 도 7은 촉매를 700℃에서 열처리한 후 측정한 그래프로써 X축은 메탄 가스 농도를 나타내며, Y축은 감도를 나타낸다. 도 7에 보듯이, Pt와 Pd가 다량 함유하고 있는 α-Al2O3가 모물질인 C5 촉매가 인쇄된 가스 감지 소자가 가장 우수한 특성을 나타내었으며, C4 촉매가 인쇄된 가스 감지 소자가 나쁜 특성을 나타내었다. 그리고, Pt와 Pd가 소량 첨가된 C1 촉매가 인쇄된 가스 감지 소자는 감도가 거의 관찰되지 않아 도 7에 도시 되지 않았다.
도 8은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄, 프로판 및 부탄 농도에 대한 감도를 그래프이다.
구체적으로, 도 8은 C5 촉매를 700℃에서 열처리한 후 측정한 그래프로써 X축은 메탄, 프로판 및 부탄 가스 농도를 나타내며, Y축은 감도를 나타낸다. 도 8에 보듯이, 탄소기가 증가함에 따라 감도도 증가하는 현상을 나타내었으며, 메탄, 프로판 및 부탄은 각각 10000 PPM에서 10.1mV, 46.0mV 및 58.0mV로서 탄소기비인 1:3:4에 다소 벗어나는 비율을 보였는데, 이는 프로판과 부탄의 착화온도가 산소에서 490℃와 460℃, 공기에서 510℃와 490℃로 메찬의 공기중에서의 착화온도 645℃에 비해 낮기 때문으로 생각된다.
도 9은 본 발명에 의하여 제조된 후막형 접촉연소식 가스 감지소자를 이용하여 메탄농도에 대한 감도를 입력전압에 따라 도시한 그래프이다.
구체적으로, 도 9는 C5 촉매를 700℃에서 열처리한 후 측정한 그래프로써 X축은 메탄 가스 농도를 나타내며, Y축은 감도를 나타낸다. 도 9에 보듯이 인가전력이 증가함에 따라 감도가 증가하였으며 이런 현상은 인가전압이 4 왓트일 때 까지 지속된다. 감도 특성이 인가전력 증가에 비해 직선선으로 증가보다는 다소 크게 증가하는 경향을 보였다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예들을 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 국한되지 아니하고, 당업자가 가진 통상적인 지식의 범위내에서 그 변형이나 개량이 가능하다.
따라서, 본 발명에 따른 후막형 접촉 연소식 가스 감지 소자는 대량생산이 가능하고, 후막 가열부를 스크린프린팅법을 이용하여 형성하고, 병렬형 저항원으로 구성함으로써 소자의 크기를 줄이고 소비전력을 줄일 수 있다.
Claims (14)
- 기판;상기 기판의 전면 및 배면에 각각 복수개의 패드를 갖고 병렬형 저항원 역할을 하는 후막 가열부;상기 후막 가열부를 덮는 보호막; 및상기 보호막 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 알루미나 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 후막 가열부가 상기 기판의 중심을 원점으로하여 원점 대칭이 되게 구성하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 촉매층은 산화알루미늄(Al2O3), 백금(Pt) 및 팔라디움(Pd)의 혼합물로 구성된 층인 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 제4항에 있어서, 상기 혼합물을 구성하는 상기 산화알루미늄, 백금 및 팔라디움의 조성범위는 각각 10Wt%에서 80Wt%, 10Wt%에서 41.7Wt% 및 10Wt%에서 41.7Wt%인 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 후막가열부는 백금 후막으로 구성하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자.
- 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 전면 및 배면에 각각 복수의 패드를 갖는 후막 가열부를 형성하는 단계;상기 후막 가열부를 덮는 보호막을 형성하는 단계;상기 보호막 상에 촉매층을 형성하는 단계; 및상기 후막 가열부의 전면 및 배면에 형성된 패드를 각각 와이어 본딩에 의해 상기 후막 가열부가 병렬형 저항원이 되도록 패키징하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 후막 가열부는 스크린 프린팅법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 후막가열부는 백금 후막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 후막가열부를 형성하는 단계는 상기 기판의 전면에 백금 후막을 형성한 후 건조하는 단계와, 상기 기판의 배면에 백금 후막을 형성한 후 건조하는 단계와, 상기 기판의 전면 및 배면에 형성된 백금후막을 소결하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제10항에 있어서, 상기 백금 후막의 소결은 8501050℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 촉매층을 형성하는 단계는 촉매 페이스트를 제조하는 단계와, 상기 촉매 페이스트를 스크린 프린팅법으로 상기 보호막 상에 인쇄하는 단계와, 상기 인쇄된 촉매 페이스트를 건조하는 단계와, 상기 건조된 촉매 페이스트를 열처리하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제12항에 있어서, 상기 촉매 페이스트는 α-Al2O3 모물질과 백금(Pt)과 팔라디움(Pd)이 구성된 촉매 분말을 에칠셀로우즈 바인더와 부틸카비탈아세테이트 용제로 이루어진 비이클과 카올린에 혼합하여 제조하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
- 제12항에 있어서, 상기 인쇄된 촉매 페이스트의 열처리는 500800℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 후막형 접촉 연소식 가스 감지 소자의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960037671A KR100188711B1 (ko) | 1996-08-31 | 1996-08-31 | 후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960037671A KR100188711B1 (ko) | 1996-08-31 | 1996-08-31 | 후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980017850A KR19980017850A (ko) | 1998-06-05 |
| KR100188711B1 true KR100188711B1 (ko) | 1999-06-01 |
Family
ID=19472386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960037671A KR100188711B1 (ko) | 1996-08-31 | 1996-08-31 | 후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100188711B1 (ko) |
-
1996
- 1996-08-31 KR KR1019960037671A patent/KR100188711B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980017850A (ko) | 1998-06-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1262767B1 (en) | Humidity sensor | |
| US4457161A (en) | Gas detection device and method for detecting gas | |
| US4703555A (en) | Method of making a catalytic-burning sensor | |
| US6883371B2 (en) | Humidity sensor | |
| CN111413375B (zh) | 一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器 | |
| JP4880931B2 (ja) | プラットフォームチップを備えるセンサの使用方法 | |
| US5476003A (en) | Measuring sensor for determining gas compositions | |
| KR100188711B1 (ko) | 후막형접촉연소식가스감지소자및그제조방법 | |
| JPH03149791A (ja) | セラミックヒータ | |
| JPH03249555A (ja) | 多成分ガスセンサ | |
| JP2941395B2 (ja) | 複合型ガス検知素子 | |
| CA2226056A1 (en) | A gas sensor having a compounded catalytic structure | |
| US5279855A (en) | Manufacture of inert, catalytic or gas-sensitive ceramic layers for gas sensors | |
| JPS61117444A (ja) | ガス検知素子 | |
| JP2984095B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
| EP0697593A1 (en) | Low power catalytic combustible gas detector | |
| JP2714006B2 (ja) | ガスセンサ | |
| KR100780076B1 (ko) | 반도체형 가스센서용 감지막 형성방법 및 반도체형가스센서 어레이 | |
| JP2002005865A (ja) | ガス検知チップとその製造方法 | |
| KR0157006B1 (ko) | 후막형 가스 감지 소자 및 그 제조방법 | |
| KR19980066597A (ko) | 암모니아 가스센서 및 그의 제조방법과 암모니아 가스 감지방법 | |
| KR960010688B1 (ko) | 반도체식 아세토니트릴 감지센서 및 그 제조방법 | |
| JPH0480648A (ja) | ガスセンサ | |
| JPH053973Y2 (ko) | ||
| KR950014873A (ko) | 가스센서 및 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20091224 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |