KR970062783A - 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자 및 그 제조방법에 대해 기재되어 있다. 이는, 유리기판 위에 형성된 게이트전극; 게이트전극을 덮도록 형성된 게이트절연막; 게이트절연막 위에 형성된 반도체막; 반도체막 위에 소정의 패턴으로 형성된 식각저지막; 식각저지막 위에 반도체막과 연결되도록 형성된 오믹층 패턴; 오믹층 패턴 위에 형성된 소오스전극/드레인전극, 및 상기 소오스전극/드레인전극과 동일선상의 게이트절연막 위에 형성된 게이트패드; 게이트전극 및 게이트패드의 일부분은 노출됨과 동시에 소오스전극/드레인 전극은 덮여지도록 형성된 보호막 패턴; 및 노출된 게이트전극과 게이트패드가 연결되도록 형성된 반사판을 구비하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자에 있어서, 반사판 하부에, 보호막 패턴과 동일한 패턴으로 형성된 차광막 패턴을 더 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 콘트라스트 비를 증가시킬 수 있으며, 5차의 사진식각공정을 기본 골격으로 한 제조방법으로 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자의 제작이 가능하며, 공정시간의 단축화와 생산비의 절감등을 성취할 수 있다.

Description

반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 및 제3도는 본 발명에 의한 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시소자의 단면도들이다.

Claims (4)

  1. 유리기판 위에 형성된 게이트전극; 상기 게이트전극을 덮도록 형성된 게이트절연막; 상기 게이트절연막 위에 형성된 반도체막; 상기 반도체막 위에 소정의 패턴으로 형성된 식각저지막; 상기 식각저지막 위에 상기 반도체막과 연결되도록 형성된 오믹층패턴; 상기 오믹층 패턴 위에 형성된 소오스전극/드레인전극 및 상기 소오스전극/드레인전극과 동일선상의 상기 게이트절연막 위에 형성된 게이트패드; 상기 게이트전극 및 게이트패드의 일부분은 노출됨과 동시에 상기 소오스전극/드레인 전극은 덮여지도록 형성된 보호막 패턴; 및 상기 노출된 게이트전극과 게이트패드가 연결되도록 형성된 반사판을 구비하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자에 있어서, 상기 반사판 하부에, 상기 보호막 패턴과 동일한 패턴으로 형성된 차광막 패턴을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 차광막 패턴은 아트라퀴니원, 질소화합물, 프탈옥시아닌등을 포함한 블랙 폴리이미드 계통의 유기물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자.
  3. 유리기판 상에 제1금속막을 형성한 후 1차의 사진식각공정을 통하여 게이트전극을 형성하는 단계; 상기 게이트전극이 형성된 결과물 전면에 게이트절연막 및 반도체막을 차례로 형성하는 단계; 상기 반도체막 위에 제1절연막을 형성한 후 2차의 사진식각공정을 통하여 식각저지막을 형성하는 단계; 상기 식각저지막이 형성된 결과물 전면에 오믹층 및 제2금속막을 차례로 형성한 후 상기 식각저지막의 일부분이 노출되도록 3차의 사진식각공정을 실시함으로써 소오스전극, 드레인전극 및 게이트패드를 형성하는 단계; 상기 3차의 사진식각공정 후 결과물 전면에 보호막을 형성한 후, 4차의 사진식각공정을 통하여 상기 게이트전극과 게이트패드의 일부분이 노출되도록 하는 단계; 및 상기 4차의 사진식각공정 후 결과물 전면에 제3금속막을 형성한 후, 5차의 사진식각공정을 통하여 상기 노출된 게이트전극과 게이트패드를 연결시켜 줌과 동시에 화소전극으로 사용되는 반사판을 형성하는 단계를 구비하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자의 제조방법에 있어서, 상기 4차의 사진식각공정은, 상기 보호막위에 차광막을 더 형성한 후 실시하는 것을 특징으로 하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 차광막 패턴은 안트라퀴니원, 질소화합물, 프탈옥시아닌등을 포함한 블랙 폴리이미드 계통의 유기물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반사형 박막 트랜지스터-액정 표시 소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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