KR970052760A - 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트(Endpoint) 검출 장치 - Google Patents

플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트(Endpoint) 검출 장치 Download PDF

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KR970052760A
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Abstract

본 발명은 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치에 관한 것으로서, 반응실 벽에 구비된 감지창과, 상기 감지창을 통하여 공정 중에 생성된 빛의 파장을 반응실 외부의 측정 수단으로 전달하는 광학 케이블과, 상기 반응실의 외측면에 부착되어 감지창과 광학 케이블을 고정하는 브라켓을 구비하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치에 있어서, 상기 감지창은 반응실 외부로 돌출되도록 고정 설치 시키되, 상기 브라켓은 반응실 내의 블라즈마와의 사이에서 형성되는 전기장의 세기를 줄일 수 있도록 감지창과 브라켓 간에 소정의 공간을 확보하여 부착 설치되는 것을 특징으로하여 엔드 포인트의 검출의 신뢰성을 확보하게 됨으로써 플라즈마의 안정성 유지 등, 나아가 공정 불량을 미연에 방지하고 제품의 품질 및 생산성의 향상을 도모하는 효과가 크다.

Description

플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 제1실시예에 따른 에칭 설비에 채용되는 엔드포인트 검출 장치를 개략 도시한 종단면도.
제2도는 종래의 제2실시예에 따른 에칭 설비에 채용되는 엔드 포인트 검출 장치를 개략 도시한 종단면도.
제3도는 제2도의 횡단면도로서, 플라즈마의 이상 현상을 나타낸 도면.
제4도는 본 발명에 따른 에칭 설비에 채용되는 엔드 포인트 검출 장치를 개략 도시한 종단면도.
제5도는 제4도의 B부 확대 단면도.
제6도는 제4 의 횡단면도로서, 플라즈마의 정상적인 작용 상태를 나타낸 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.
10 : 반응실 12 : 반응실 벽
20 : 감지창 30 : 광학 케이블
40 : 브라켓 50 : 측정 수단

Claims (7)

  1. 반응실 벽에 구비된 감지창과, 상기 감지창을 통하여 공정 중에 생성된 빛의 파장을 반응실 외부의 측정 수단으로 전달하는 광학 케이블과, 상기 반응실의 외측면에 부착되어 감지창과 광학 케이블을 고정하는 브라켓을 구비하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔트 포인트 검출 장치에 있어서, 상기 감지창은 반응실 외부로 돌출되도록 고정 설치시키되, 상기 브라켓은 반응실 내의 플라즈마와의 사이에서 형성되는 전기장의 세기를 줄일 수 있도록 감지창과 브라켓 간에 소정의 공간을 확보하여 부착 설치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 브라켓은 반응실 내의 플라즈마와의 사이에서 형성되는 전기장의 세기를 줄일 수 있도록 전기적 저항이 높은 재질을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 브라켓은 그 전기적 저항이 0.01Ω 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 브라켓은 전기적 저항이 낮은 재질을 사용할 때에는 반응실 내의 플라즈마와의 사이에서 형성되는 전기장의 세기를 줄일 수 있도록 감지창과의 거리가 가능한 한 멀리 떨어지게 설치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 브라켓은 감지창과의 거리가 적어도 5㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 감지창은 반응실 내의 플라즈마와 브라켓 사이에서 형성되는 전기장의 세기를 줄일 수 있도록 그 두께를 가능한 한 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 감지창은 적어도 10㎜이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950049160A 1995-12-13 1995-12-13 플라즈마 에칭 설비에서의 엔드 포인트 검출 장치 KR0159224B1 (ko)

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