KR970051637A - 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소필드 에미터의 제조장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다이아몬드 필드 에미션 디스플레이에 에미터로 사용되는 다이아몬드 산소상 박막 하부에 저항층을 형성하는 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 상기 저항층으로 수소를 함유한 다이아몬드상 탄소 박막을 형성하고 연속적으로 다이아몬드상 탄소 박막을 형성하여 에미터로 사용함으로써 제조공정을 단순화시키고 필드 에미션 디스플레이의 성능을 향상시킬 수 있는 저항층을 갖는 다이아몬드상 탄소 박막의 제조장치 및 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따라 제조된 넌-게이트 다이아몬드성 탄소 필드 에미션 디스플레이를 나타낸 단면도,
제3도는 본 발명에 넌-게이트 다이아몬드성 탄소 필드 에미터를 제조하기 위한 레이저 어블레이션을 나타낸 도면.
Claims (3)
- 레이저를 발생시키는 레이저 발생장치와, 상기 레이저 발생장치에서 발생한 레이저를 포커싱시키는 포커싱 렌즈와, 상기 포커싱된 레어저 빔이 통과하는 광학창과 내부를 진공상태로 유지하기 위한 배구기가 측벽에 형성되는 어블레이션 챔버와, 상기 챔버 내부에 설치되고 상기 포커싱된 레이저 빔에 의해 플룸이 형성되는 타게트이 장착되며 회전운동을 하는 타케트 홀더와, 상기 챔버 상부에 타케트 홀더에 대응되게 설치되고 상기 플룸에 의해 다이아몬드성 탄소박막이 형성되는 기판이 장착되며 회전운동을 하는 기판홀더와, 상기 다이아몬드성 탄소 박막이 형성되는 초기에 수소를 공급하기 위해 챔버측면에 설치된 수소공급관 및 수소흐름제어기를 포함하는 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소 박막의 제조방법.
- 어블레이션 챔버 내부의 타케트 홀더와 기판홀더에 타케트와 기판을 장착하고 내부를 진공 상태로 만드는 단계와, 상기 진공 상태의 챔버 내부로 레이저 발생장치로부터 레이저 빔을 발생시켜 포커싱된 레이저빔을 타케트에 조사하는 단계와, 상기 레이저 빔을 조사하는 동시에 상기 챔버 내부에 수소를 공급하는 단계와,상기 레이저 빔에 의해 타케트에서 형성되는 플룸이 수소아 반응하여 수고를 함유한 다이아몬드성 탄소 박막을기판에 형성시키는 단계와, 상기 수고를 함휴한 다이아몬드성 탄소 박막이 원하는 두께로 형성되면 상기 수소공급을 차단하고, 배구기를 이용하여 상기 챔버 내부를 진공상태로 만드는 단계와, 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 플룸을 상기 수소를 함유한 다이아몬드성 탄소 박막 상부에 형성시켜 다이아몬드성 탄소 박막을 형성하는 단계를 포함하는 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소 박막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 저항층은 수소의 함유량을 조절하여 저항치를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소 박막의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950061808A KR100244893B1 (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소 필드 에미터의 제조장치 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970051637A true KR970051637A (ko) | 1997-07-29 |
| KR100244893B1 KR100244893B1 (ko) | 2000-02-15 |
Family
ID=19446018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950061808A KR100244893B1 (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 저항층을 갖는 다이아몬드성 탄소 필드 에미터의 제조장치 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100244893B1 (ko) |
-
1995
- 1995-12-28 KR KR1019950061808A patent/KR100244893B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100244893B1 (ko) | 2000-02-15 |
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