KR970033614A - 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트 - Google Patents
반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장비중 공정장비내에 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위하여 사용되는 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트에 관한 것이다.
종래의 디스크 보트는 웨이퍼 플래이트의 핀이 흑연으로 제작되어 있어 플래이트에 웨이퍼를 로드 및 언로드의 반복적인 충격에 의하여 균열이나 파손되는 현상이 발생되고, 플래이트의 상단부가 공정장비의 튜브와 접촉하여 파티클의 발생과 파손되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 웨이퍼의 상단을 돌출되지 않도록 형성하고, 핀을 세라믹 소재로 제작하며, 상부에 홀드부위를 약 45° 양방향에 설치하여 웨이퍼 보트의 로드와 언로드시 보트의 파손으로 인한 오염을 방지하므로서 제품의 품질과 작업능률을 향상시키도록 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 다른 웨이퍼 플래이트의 구조도,
제2도는 종래의 웨이퍼의 디스크 보트의 전체적인 구조도,
제3도는 제2도의 웨이퍼 플래이트의 구조도,
제4a도 및 4b도는 종래 보트의 챔버내 로딩사태도.
Claims (4)
- 반도체소자의 제조공정중 공정챔버내부로 복수매의 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하는 웨이퍼가 안착되는 핀을 구비한 복수개의 웨이퍼 플래이트를 포함하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상기 웨이퍼 플래이트에 고정되는 핀을 내마모율이 적은 세라믹으로 형성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트.
- 반도체소자의 제조공정중 웨이퍼를 공정챔버내부로 로딩 또는 언로딩하는 양면에 웨이퍼가 삽입되는 웨이퍼 삽입홈이 형성된 복수개의 웨이퍼 플래이트를 포함하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상기 삽입홈의 방향을 플래이트의 상부에서 45도 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트.
- 제2항에 있어서, 상기 삽입홈을 상기 플래이트에 좌우 대칭으로 2개 형성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트.
- 반도체소자의 제조공정중 웨이퍼를 공정장비내로 로딩 또는 언로딩하는 웨이퍼가 장착되는 핀과 이 핀에 웨이퍼를 장착하기 위한 삽입홈이 형성된 복수개의 웨이퍼 플래이트를 포함하는 웨이퍼 보트에 있어서, 상기 웨이퍼 플래이트에 고정되는 핀을 내마모율이 적은 세라믹으로 형성하고, 상기 삽입홈의 방향을 플래이트의 상부에서 45도 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트.※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950051070A KR100203051B1 (ko) | 1995-12-16 | 1995-12-16 | 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950051070A KR100203051B1 (ko) | 1995-12-16 | 1995-12-16 | 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970033614A true KR970033614A (ko) | 1997-07-22 |
| KR100203051B1 KR100203051B1 (ko) | 1999-06-15 |
Family
ID=19440824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950051070A KR100203051B1 (ko) | 1995-12-16 | 1995-12-16 | 반도체 웨이퍼 로딩용 디스크 보트 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100203051B1 (ko) |
-
1995
- 1995-12-16 KR KR1019950051070A patent/KR100203051B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100203051B1 (ko) | 1999-06-15 |
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