KR20000015117A - 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버 - Google Patents
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Abstract
스테인레스 스틸로 이루어지는 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버에 대하여 개시한다. 상기 웨이퍼 리프트 핀은 21.3mm의 길이를 갖는다.
Description
본 발명은 반도체 집적 회로의 제조 공정에 사용되는 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로드락 챔버(load lock chamber)에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 복수개의 웨이퍼를 수용하는 카세트의 로딩과 언로딩은 대부분의 경우 로봇 암(arm)을 통해 이루어진다. 그러나, 웨이퍼가 장착된 카세트를 보관하는 로드락 챔버의 경우 모든 반도체 제조 설비가 카세트를 웨이퍼와 같이 진공 상태에 둔 후 카세트는 그냥 둔 채로 웨이퍼 만을 로딩, 언로딩하도록 구성되어 있다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 로드락 챔버는 복수개의 챔버 시스템에서 각 챔버의 내부를 진공 펌프를 이용하여 진공 상태로 만든 후에 웨이퍼를 원하는 목적에 따라 이동시키면서 가공하게 된다.
통상의 반도체 제조 설비에서 로드락 챔버는 각 제조 공정을 행하기 위한 각 프로세스 챔버 사이에서 외부의 대기와 메인 챔버를 완충시키는 역할을 한다. 로드락 챔버에는 복수의 웨이퍼를 담는 카셋트가 로딩되거나 한 장의 웨이퍼씩 차례로 로딩될 수도 있다.
로드락 챔버는 웨이퍼를 리프트하는 데 사용되는 웨이퍼 리프트 핀을 포함한다.
도 1은 종래의 로드락 챔버에 구비된 웨이퍼 리프트 핀의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 리프트 핀(10)은 석영으로 이루어져 있다. 따라서, 로드락 챔버에서 가스 배기시에 예를 들면 250℃ 정도의 고온의 열에 의하여 상기 웨이퍼 리프트 핀(10)이 파손될 수 있으며, 그에 따라 파티클이 발생되어 웨이퍼를 오염시키게 된다.
또한, 상기 웨이퍼 리프트 핀(10)은 길이(d1)가 19.3mm로 짧아서 웨이퍼의 플랫존 부위가 상기 웨이퍼 리프트 핀(10)의 위치와 일치하면 웨이퍼가 떨어져서 파손되는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제를 해결하고자 하는 것으로, 개선된 구조 및 재질을 갖는 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버를 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 로드락 챔버에 구비된 웨이퍼 리프트 핀의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버에 구비된 웨이퍼 리프트 핀의 단면도이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버에 있어서, 상기 웨이퍼 리프트 핀은 스테인레스 스틸로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버를 제공한다.
상기 웨이퍼 리프트 핀은 21.3mm의 길이를 갖는다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼 리프트 핀이 파손되거나 웨이퍼 리프트 핀에 의하여 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버에 구비된 웨이퍼 리프트 핀(20)의 단면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 리프트 핀(20)은 스테인레스 스틸(stainless steel) 재질로 이루어져 있다. 그리고, 그 길이(d2)도 21.3mm로서 종래의 경우에 비하여 2mm 길게 형성되어 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 리프트 핀(20)은 스테인레스 재질로 형성되어 있으므로 웨이퍼 리프트 핀(20)이 열에 의하여 파손될 염려가 없으며, 그 길이를 종래보다 2mm 더 길게 형성하였으므로, 웨이퍼가 떨어져서 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 웨이퍼 리프트 핀을 스테인레스 스틸 재질로 형성하고, 그 길이를 종래보다 길게 하였으므로, 웨이퍼 리프트 핀이 열에 의하여 파손되거나 웨이퍼 리프트 핀에 의하여 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.
Claims (2)
- 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버에 있어서,상기 웨이퍼 리프트 핀은 스테인레스 스틸로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 리프트 핀은 21.3mm의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980034858A KR20000015117A (ko) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980034858A KR20000015117A (ko) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000015117A true KR20000015117A (ko) | 2000-03-15 |
Family
ID=19548484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980034858A KR20000015117A (ko) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 웨이퍼 리프트 핀을 갖춘 로드락 챔버 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000015117A (ko) |
-
1998
- 1998-08-27 KR KR1019980034858A patent/KR20000015117A/ko not_active Application Discontinuation
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