KR19980067120A - 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우 - Google Patents

Abstract

로드락 챔버 내부에서 진행되는 엘리베이터 포지션 위치이동 및 핸들러가 웨이퍼 로딩, 언로딩시 엘리베이터 슬롯 사이의 유격을 작업자가 유안으로 확인할 수 있도록 하는 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 관한 것이다.

본 발명의 구성은 상기 윈도우(13)의 크기를 가로 8.63인치, 세로 7.4∼10인치로 형성하여 로드락 챔버(11) 내부의 동작상태를 육안으로 확인할 수 있도록 된 것이다.

따라서 로드락 챔버 내부에서 진행되는 웨이퍼 스크래치 및 웨이퍼 슬라이딩 현상이 육안으로 확인되고, 엘리베이터의 카세트 및 핸들러의 위치 교정이 정확하게 이루어져 설비의 유지관리에 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우

본 발명은 반도체 제조용 로드락 챔버(Loadlock Chamber)의 윈도우(Window)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 로드락 챔버 내부에서 진행되는 엘리베이터 포지션 위치이동 및 핸들러가 웨이퍼 로딩, 언로딩시 엘리베이터 슬롯 사이의 유격을 작업자가 유안으로 확인할 수 있도록 하는 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치는 사진, 식각, 박막형성등 많은 공정을 반복적으로 수행하여 제조되고, 이러한 제조공정은 대부분 일정한 환경조건을 유지할 수 있도록 마련된 공정챔버내에서 이루어지게 된다.

공정챔버에는 크게 메인챔버, 로드락 챔버 및 터치 스크린 모니터가 구비되어 있고, 상기 메인챔버는 실제로 공정이 수행되는 곳으로, 내부가 공정의 안정화를 위해 저진공 또는 고진공으로 유지된다.

또한 로드락 챔버는 통상 복수개로 설치되고, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 대기 또는 진공상태를 선택적으로 유지함으로써 대기상태에서 진공상태의 메인챔버로 웨이퍼를 이동시킬 수 있도록 하는 것이며, 터치 스크린 모니터는 공정챔버의 전체적인 동작을 콘트롤하는 것이다.

따라서 다수매의 웨이퍼를 적재한 카세트로부터 웨이퍼를 한 장씩 꺼내어 로드락 챔버로 이동시켜 차례로 적재시킨 후 로드락 챔버 내부를 진공상태로 유지하여 메인챔버와의 압차이를 줄임으로써 로드락 챔버에서 메인챔버로 웨이퍼를 한 장씩 이동시켜 공정을 수행하는 것이 가능하게 된다.

이와 같이하여 모든 웨이퍼에 공정을 수행하게 되면, 로드락 챔버 내부를 다시 대기상태로 전환시켜 웨이퍼를 외부의 카세트로 이송시킴으로써 웨이퍼의 공정 및 이송동작이 완료되는 것이다.

도1에는 상기와 같은 기능을 갖는 로드락 챔버의 종래예를 나타낸 것으로, 로드락 챔버(1)의 내부에 수직방향으로 직선왕복이동하는 엘리베이터(4)가 구비되고, 상기 엘리베이터(4) 상에는 다수개의 슬롯이 형성된 카세트(2)가 놓여져 함께 승,하강하도록 되어 있다.

따라서 외부의 카세트로부터 웨이퍼(W)를 하나씩 핸들러(도시 안됨)가 이송시키게 되면, 엘리베이터(4)에 의해 내부의 카세트(2)가 승,하강하여 웨이퍼(W)를 차례로 적재하게 되고, 카세트(2)에 적재된 웨이퍼(W)는 다시 핸들러에 의해 공정을 위한 메인챔버로 하나씩 꺼내져 이송되어진다.

또한 로드락 챔버(1)에는 상기와 같은 웨이퍼 로딩 및 언로딩 동작과 엘리베이터(4) 상의 카세트(2) 승,하강 위치를 작업자가 육안으로 확인할 수 있도록 내부가 들여다 보이는 윈도우(3)가 구비되어 있다.

그러나 종래의 윈도우(3)는, 로드락 챔버(1)내의 엘리베이터(4) 위에 놓여져 있는 카세트(2)에 적재된 웨이퍼(W)를 메인챔버로 이송시킬 때 발생되는 스크래치(Scratch) 및 웨이퍼(W) 슬라이딩 현상을 육안으로 확인할 수 없고, 엘리베이터(4)의 카세트(2) 위치 교정 및 웨이퍼 핸들러 위치 교정시 정확한 포인트를 육안으로 확인할 수 없어 설비의 관리유지에 어려움이 있고, 많은 작업시간을 소요하여 설비의 가동율을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 로드락 챔버내에서 진행되고 있는 엘리베이터 포인트 위치이동 및 핸들러가 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시킬 때 엘리베이터상의 카세트 슬롯 사이의 유격을 육안으로 확인할 수 있도록 하여 엘리베이터의 카세트 위치교정 및 웨이퍼 핸들러 위치교정시 정확하고 신속하게 교정작업을 수행할 수 있는 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우를 제공함에 있다.

도1은 종래의 로드락 챔버를 나타낸 정면도이다.

도2는 본 발명에 따른 로드락 챔버를 나타낸 정면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 11 : 로드락 챔버2, 12 : 카세트

3, 13 : 윈도우4, 14 : 엘리베이터

W : 윈도우

상기의 목적은 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 있어서, 상기 윈도우의 크기를 가로 8.63인치, 세로 7.4∼10인치로 형성하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 의해 달성될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우를 나타낸 것으로, 로드락 챔버(11)는 내부에 수직방향으로 직선왕복이동하는 엘리베이터(14)가 구비되고, 상기 엘리베이터(14) 상에는 다수개의 슬롯이 형성된 카세트(12)가 놓여져 함께 승,하강하도록 되어 있다.

따라서 외부의 카세트(12)로부터 웨이퍼(W)를 하나씩 핸들러가 이송시키게 되면, 엘리베이터(14)에 의해 내부의 카세트(12)가 승,하강하여 웨이퍼(W)를 차례로 적재하게 되고, 카세트(12)에 적재된 웨이퍼(W)는 다시 핸들러에 의해 공정을 위한 메인챔버로 하나씩 꺼내져 이송되어진다.

또한 로드락 챔버(11)에는 상기와 같은 웨이퍼 로딩 및 언로딩 동작과 엘리베이터(14) 상의 카세트(12) 승,하강 위치를 작업자가 육안으로 확인할 수 있도록 내부가 들여다 보이는 윈도우(13)가 구비되어 있고, 그 크기는 세로 8.63인치, 세로 7.4∼10인치로 형성하여 웨이퍼 핸들러 위치교정시 작업을 쉽게 하고, 웨이퍼 로딩 및 언로딩시 발생될 수 있는 웨이퍼(W) 스크래치 발생현상을 육안으로 확인할 수 있도록 한다.

이때 윈도우(13)의 크기를 변형시킴으로써 발생될 수 있는 로드락 챔버(11) 진공상태에서의 외부와의 차압에 의해 윈도우(13)가 깨지는 현상을 예방하기 위해 윈도우(13)의 표면적은 종전과 동일하게 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성의 본 발명은 윈도우(13)의 크기가 가로방향으로 작아지고, 세로방향으로 연장됨으로써 이 윈도우(13)를 통해 로드락 챔버(11)내의 엘리베이터(14) 위에 놓여져 있는 카세트(12)에 적재된 웨이퍼(W)를 메인챔버로 이송시킬 때 발생되는 스크래치 및 웨이퍼(W) 슬라이딩 현상을 육안으로 확인할 수 있고, 엘리베이터(14)의 카세트 위치 교정 및 웨이퍼 핸들러 위치 교정시 정확한 포인트를 육안으로 확인할 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 의하면, 로드락 챔버 내부에서 진행되는 웨이퍼 스크래치 및 웨이퍼 슬라이딩 현상이 육안으로 확인되고, 엘리베이터의 카세트 및 핸들러의 위치 교정이 정확하게 이루어져 설비의 유지관리에 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 내부에 구비된 엘리베이터, 카세트 및 웨이퍼 핸들러의 동작상태를 육안으로 확인할 수 있도록 구비된 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우에 있어서, 상기 윈도우의 크기를 가로 8.63인치, 세로 7.4∼10인치로 형성하여 로드락 챔버 내부의 진행상태를 육안으로 확인할 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 로드락 챔버의 윈도우.