KR970033474A - 슬라이더를 래핑하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 하드 디스크 헤드 슬라이더의 공기 베어링 표면을 래핑하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 래핑 연마제로써 충전된 래핑 판을 래핑 현상 판 상에 설치하는 단계와, 상기 래핑 판을 상기 래핑 형상 판의 형상과 일치되도록 변형시키기 위해 충전된 래핑 판과 연통하는 래핑 형상 판의 공동에 음의 압력을 인가하는 단계와, 상기 래핑 판과 접촉하는 슬라이더에 래핑 적용력을 인가하는 단계와, 래핑형상 판의 형상을 따르도록 공기 베어링 형상을 형성하기 위해 래핑 판에 대해 상기 슬라이더를 이동시키는 단계를 포함하고 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 본 발명의 원리에 의한 래핑 장치의 등각도.
도2는 도1의 래핑 장치 내에 위치한 형상 래핑 판의 등각도.
도3a는 도2의 형상 래핑 판의 상부 평면도, 도3b는 도3a의 선3b-3b를 따라 절개한 도2의 형상 래핑 판의 단면도, 도3c는 외주밀봉부를 도시하는 도3b의 단면도의 확대된 모서리 영역을 도시하는 도면.
도4는 대응되는 크라운 형상을 산출하는 몇몇의 양호한 래핑 판 오목한 정도를 형성하는 형상 래핑 판 변동의 도표.
도5는 도1의 장치에 의해 래핑되는 슬라이더의 온도 범위에 걸쳐 동일 치수를 갖는 본 발명의 슬라이더 크라운 치수와 종래 기술에 의한 슬라이더 크라운 치수를 온도의 함수로 도시하는 그래프.
Claims (21)
- 슬라이더를 래핑하기 위한 장치에 있어서, 오목한 형상의 상부 표면, 상기 표면의 기부 영역과 함께 일체로 형성된 다수의 형상 리브 및 상기 형상 리브들 사이에서 연결된 다수의 공기 채널을 갖는 래핑 형상 판과, 상기 형상판의 상부 표면 위로 위치되는 래핑 판과, 상기 래핑 판과 형상 판의 상부 표면 사이에 형성된 기밀 외주 밀봉부와, 상기 래핑 판을 오목한 형상의 상부 표면 내로 변형시키고 소정의 래핑 형상을 따르도록 다수의 형상 리브를 접촉시키기 위해 음의 공기압을 상기 공기 채널에 공급하는 진공수단과, 래핑되는 적어도 하나의 슬라이더를 구비하는 래핑 고정구를 수납하고 유지시키기 위한 래핑 아암과, 그리고 래핑 작업 중에 상기 슬라이더를 래핑 판으로 압착하기 위해 그램 부하 작용력을 상기 래핑 고정구에 인가하기 위한 부하 작용력 제공 수단을, 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 래핑 판을 형상 판의 표면 위의 위치로 안내하기 위한 안내 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 안내 수단은 래핑 판 및 형상 판 중의 하나 내에 형성된 안내 핀과, 상기 안내 핀을 수납하기 위해 상기 래핑 판 및 형상 판의 다른 하나 내에 형성된 정렬된 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 래핑 판은 거의 원형이며 중앙의 횡단 안내 핀을 구비하고, 상기 형상판은 상기 안내 핀을 수납하여 상기 래핑 판을 정렬시켜서 진공 압력이 없는 경우에 상기 래핑 판이 상기 형상 판 상에서 회전될 수 있도록 크기가 결정된 중앙 홈을 형성하는 것을 특징하는 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 래핑 판의 변형은 래핑 판 재료의 탄성 특성 내에 있어서, 상기 래핑 판이 음의 공기압이 없는 경우에 최초의 평면 형태로 탄성적으로 복귀할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 래핑 아암은 아암 지지 블록에 회동가능하게 연결된 제1단부와 래핑고정구를 수납하기 위한 보어를 갖는 제2단부를 구비한 긴 평면 부재를 추가로 포함하고 있으며, 상기 블록은 x-축을 따른 상대 이동이 가능하도록 제1활주 브라켓에 추가로 연결되고, 상기 제1브라켓은 y-축을 따른 상대 이동이 가능하도록 제2활주 브라켓에 추가로 연결되는, 것을 특징으로 하는 장치.
- 제6항에 있어서, 부하 작용력 제공 수단은 래핑 아암의 제1단부 및 제2단부 사이의 중간에 위치된 공기 실린더 장착 조립체를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 래핑 아암은 래핑 고정구에 선형 운동을 제공하여 상기 래핑 고정구 상에 위치된 다수의 슬라이더가 동시에 래핑될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제8항에 있어서, 각각의 슬라이더의 공기 베어링 표면 상에 형성된 소정의 크라운 치수를 생성하는 선형 경로를 따라 래핑이 수행되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제8항에 있어서, 사기 래핑 아암의 선형 이동은 제1 및 제2 활주 브라켓에 연결된 모터에 의해 가동되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제8항에 있어서 상기 선형 이동은 제1 및 제2 활주 브라켓에 연결된 공기 실린더에 인가되는 공기압에 의해 가동되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 래핑 판은 래핑 작동 중에 정지되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 래핑 판은 사실상 평면 상태로 다이아몬드 분말 연마 재료로써 충전되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 형상 리브는 거의 균일하게 이격되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 래핑 형상 판은 원통형의 오목한 상부 표면을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
- 슬라이더를 래핑하기 위한 방법에 있어서, 래핑 연마제로 충전된 래핑 판을 래핑 형상 판 상에 설치하는 단계와, 래핑 형상 판의 형상에 일치하게 상기 래핑 판을 변형시키기 위해 충전된 래핑 판과 연통되는 래핑 형상 판의 공동에 음의 압력을 인가하는 단계와, 상기 래핑 판에 접촉하는 슬라이더에 래핑 작용력을 인가하는 단계와, 래핑 형상 판의 형상을 따르는 공기 베어링 형상을 형상하기 위해 상기 래핑판에 대해 상기 슬라이더를 이동시키는 단계를, 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 이동 단계 전에 래핑 판 상에 윤활제를 도포하는 단계와, 상기 이동 단계 이후에 상기 슬라이더로부터 윤활제를 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 래핑 판에 대한 슬라이더 이동 단계는 상기 슬라이더를 슬라이더 고정구 내로 설치하고 소정 회수의 래핑 행정을 위해 상기 슬라이더 고정구를 래핑 판에 대한 선형으로 왕복 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 래핑 작용력을 슬라이더에 인가하고 상기 슬라이더를 래핑 판에 대해 이동시키는 단계는 상기슬라이더를 슬라이더 고정구 내에 설치하는 단계, 상기 래핑 작용력을 슬라이더 고정구에 인가하는 단계 및 소정 회수의 래핑 행정을 위해 상기 슬라이더 고정구를 래핑 판에 대해 선형으로 왕복 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제19항에 있어서, 슬라이더 고정구 내에 설치된 슬라이더의 공기 베어링 표면의 레일들이 레핑형상 판의 상승된 형상 리브와 평행하게 되도록 래핑 고정구를 아암 공동 내로 위치시키는 추가 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 래핑 판으로부터의 래핑 연마제의 제거를 모니터하고, 상기 슬라이더에 인가되는 다수의 래핑 행정을 증가시킴으로써 래핑 연마제 제거를 보상하는 단계와, 래핑 형상 판의 공동으로부터 음의 압력을 제거하는 단계와, 상기 공동으로 음의 압력을 복원시켜서 상기 래핑 판의 사용되지 않는 영역상에 래핑 작동을 재개하기전에, 상기 래핑 판을 소정의 각도 변위로 회전시키는 단계를, 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3664890B2 (ja) * | 1998-09-25 | 2005-06-29 | Tdk株式会社 | スライダの加工装置 |
US6321440B1 (en) * | 1998-11-10 | 2001-11-27 | International Business Machines Corporation | Method for adjusting curvature of magnetic read/write head sliders |
US6857937B2 (en) * | 2002-05-30 | 2005-02-22 | Komag, Inc. | Lapping a head while powered up to eliminate expansion of the head due to heating |
US6802761B1 (en) | 2003-03-20 | 2004-10-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Pattern-electroplated lapping plates for reduced loads during single slider lapping and process for their fabrication |
US6913515B2 (en) * | 2003-09-30 | 2005-07-05 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System and apparatus for achieving very high crown-to-camber ratios on magnetic sliders |
US6942544B2 (en) * | 2003-09-30 | 2005-09-13 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of achieving very high crown-to-camber ratios on magnetic sliders |
US7260887B2 (en) * | 2004-02-27 | 2007-08-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Apparatus for controlling the lapping of a slider based on an amplitude of a readback signal produced from an externally applied magnetic field |
JP2007260870A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Ntn Corp | ラップ装置 |
US7662021B2 (en) * | 2007-04-17 | 2010-02-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Lapping plate texture for increased control over actual lapping force |
JP2008279515A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Shinka Jitsugyo Kk | スライダの研磨装置 |
JP2009302136A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Panasonic Corp | 半導体集積回路 |
US9221148B2 (en) | 2009-04-30 | 2015-12-29 | Rdc Holdings, Llc | Method and apparatus for processing sliders for disk drives, and to various processing media for the same |
US8801497B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-08-12 | Rdc Holdings, Llc | Array of abrasive members with resilient support |
US20110104989A1 (en) * | 2009-04-30 | 2011-05-05 | First Principles LLC | Dressing bar for embedding abrasive particles into substrates |
TWI421148B (zh) * | 2009-06-02 | 2014-01-01 | Cpumate Inc | 具研磨受熱平面之散熱器及其研磨方法與設備 |
CN101856798B (zh) * | 2010-04-21 | 2012-08-22 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种推力轴承瓦块修磨机及修复方法 |
CN105650113A (zh) * | 2014-11-13 | 2016-06-08 | 冠元机械工业股份有限公司 | 滑块结构及其研磨方法 |
US10144901B2 (en) * | 2016-02-15 | 2018-12-04 | Seagate Technology Llc | Lubricant composition for lapping ceramic material, and related methods |
CN110877253B (zh) * | 2019-11-29 | 2020-12-29 | 重庆富美包装印务有限公司 | 包装袋无毛刺倒圆角装置 |
CN112108981A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-12-22 | 廖延凯 | 一种板材加工用全自动表面抛光设备及其操作方法 |
CN112171430B (zh) * | 2020-09-14 | 2023-08-22 | 泰州市津达电子科技有限公司 | 一种灯具打磨修边设备 |
CN113043113B (zh) * | 2021-03-18 | 2022-03-25 | 上犹耀兴复合材料有限公司 | 一种产品加工用针对玻纤板高效去毛刺设备 |
CN115026682A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-09 | 射阳天工商贸有限公司 | 一种珠宝首饰加工用的打磨装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3305976A (en) * | 1964-05-07 | 1967-02-28 | Data Products Corp | Lapping method and apparatus |
US3448549A (en) * | 1967-04-06 | 1969-06-10 | Textron Inc | Method of generating a lens |
US4206574A (en) * | 1978-09-26 | 1980-06-10 | The Singer Company | Lapping block for curved surfaces |
JPH0236068A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ロッド端面の研磨方法及び研磨装置 |
US5214882A (en) * | 1990-11-13 | 1993-06-01 | Litton Systems, Inc. | Vacuum activated tool for the fabrication of optical surfaces |
US5203119A (en) * | 1991-03-22 | 1993-04-20 | Read-Rite Corporation | Automated system for lapping air bearing surface of magnetic heads |
JPH0828086B2 (ja) * | 1991-06-04 | 1996-03-21 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッドスライダの製造装置及び製造方法 |
US5321882A (en) * | 1992-09-22 | 1994-06-21 | Dastek Corporation | Slider fabrication |
US5468177A (en) * | 1993-02-26 | 1995-11-21 | Quantum Corporation | Lapping fixture for disk sliders |
US5486131A (en) * | 1994-01-04 | 1996-01-23 | Speedfam Corporation | Device for conditioning polishing pads |
US5423716A (en) * | 1994-01-05 | 1995-06-13 | Strasbaugh; Alan | Wafer-handling apparatus having a resilient membrane which holds wafer when a vacuum is applied |
-
1995
- 1995-12-13 US US08/571,660 patent/US5591073A/en not_active Expired - Fee Related
-
1996
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