KR970030232A - 감광제 도포 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 감광제 도포 방법에 있어서; 도포기에 웨이퍼를 로딩하고 웨이퍼를 1000~2000 RPM으로 회전시키는 제1단계; 감광제를 웨이퍼에 공급하면서 웨이퍼를 500~36000 RPM으로 회전시키는 제2단계; 감광제의 공급을 멈추고 웨이퍼를 1000~2000RPM으로 회전시키는 제3단계; 및 원하는 감광제 두께를 얻도록 웨이퍼를 회전시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광제 도포 방법에 관한 것으로, 웨이퍼상에 도포되는 감광제의 두게 균일도를 향상시킨다. 특히, 점도가 높은 감광제를 도포할 시 웨이퍼 중심에서의 두께가 커지는 것을 방지하는 효과가 크다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (3)
- 감광제 도포 방법에 있어서; 도포기에 웨이퍼fmf로딩하고 웨이퍼를 1000~2000RPM으로 회전시키는 제1단계; 감광제를 웨이퍼에 공급하면서 웨이퍼를 500~36000 RPM으로 회전시키는 제2단계; 감광제의 공급을 멈추고 웨이퍼를 1000~2000RPM으로 회전시키는 제3단계; 및 원하는 감광제 두께를 얻도록 웨이퍼를 회전시키는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광제 도포 방법.
- 제1항에 있어서; 상기 제2 단계에서의 감광제를 4~8cc로 공급하는 것을 특징으로 하는 감광제 도포 방법.
- 제1항에 있어서; 상기 제3단계는 3~5 초 동안 실시하는 것을 특징으로 하는 감광제 도포 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950043625A KR970030232A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 감광제 도포 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950043625A KR970030232A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 감광제 도포 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970030232A true KR970030232A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950043625A KR970030232A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 감광제 도포 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970030232A (ko) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100359249B1 (ko) * | 1999-12-30 | 2002-11-04 | 아남반도체 주식회사 | 반사방지막의 기포 제거 방법 |
KR100559218B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2006-03-15 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조방법 |
KR101395576B1 (ko) * | 2012-01-16 | 2014-05-16 | 주식회사 씨엔디플러스 | 비접촉 웨이퍼 가공방법 |
-
1995
- 1995-11-24 KR KR1019950043625A patent/KR970030232A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100559218B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2006-03-15 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조방법 |
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KR101395576B1 (ko) * | 2012-01-16 | 2014-05-16 | 주식회사 씨엔디플러스 | 비접촉 웨이퍼 가공방법 |
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |