KR970028850A - 폴리 (페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법 - Google Patents

폴리 (페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법 Download PDF

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스티픈 피. 라저스
케빈 제이. 노드퀴스트
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인그라시아 빈센트 비.
모토로라 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 PPV 유도체의 용해성 전구체 층의 형성과, 가속 전자를 사용하여 원하는 패턴으로 상기 층의 일부에 대한 조사(照射)와, 전자 빔 노광 시스템을 사용하여, 층의 조사된 부분을 PPV 유도체의 공액 중합체로의 전환 및 메탄올과 같은 용제로서 PPV 유도체의 용해성 전구체 층의 미전환 부분의 제거를 포함하는 PPV 유도체의 전구체를 전환 및 패터닝하는 방법에 관한 것이다.

Description

폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 공액 PPV 중합체를 사용한 발광 소자의 간이 종단면도.

Claims (4)

  1. 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법에 있어서, 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 층을 형성하는 공정과; 가속 전자로써 원하는 패턴으로 층의 일부를 조사하여 층의 조사된 부분을 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 공액 중합체로 전환하는 공정; 그리고, 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 용액으로 층의 미전환된 부분을 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법.
  2. 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법에 있어서, 100Å 내지 400Å 범위의 두께를 가지는 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 층을 형성하는 공정과; 40μC/㎠ 내지 80μC/㎠의 적합한 전하 밀도로 10keV 내지 20keV의 적합한 범위의 가속 포텐셜로 가속뒨 가속 전자를 이용하여 층의 조사된 일부를 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 공액 중합체로 전환하기 위해 원하는 패턴으로 층의 일부를 조사하는 공정과; 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 용액을 이용하여 비전환된 층의 일부를 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법.
  3. 유기 발광 소자를 제작하는 방법에 있어서, 평면을 가진 기판을 제공하는 공정과; 상기 평면에 제1종 전도성을 가지는 제1전기 전도층을 형성하는 공정과; 상기 제1전기 전도층에 폴리(페닐렌 비닐렌)의 용해성 전구체 층을 지지하는 공정과; 가속 전자를 사용하여 원하는 패턴으로 층의 일부를 조사하여 조사된 층의 일부를 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 공액 중합체로 전환하는 공정과; 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 용액으로 층의 미전환된 부분을 제거하는 공정과; 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체 소재의 조사된 부분에 제2종 .
  4. 포토 마스크를 제조하는 방법에 있어서, 평면 기판을 제공하는 공정과 ; 상기 평면 기판에 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 층을 증착하는 공정과; 가속 전자를 이용하여 원하는 패턴으로 층의 일부를 조사하여, 층의 조사된 부분을 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 공액 중합체로 전환하는 공정; 그리고, 폴리(페닐렌 비닐렌) 유도체의 용해성 전구체 용액으로 층의 미전환 부분을 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크를 제조하는 방법.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960054765A 1995-11-13 1996-11-12 폴리 (페닐렌 비닐렌) 유도체의 전구체를 중합체 전환 및 패터닝하는 방법 KR970028850A (ko)

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