KR970028588A - 인터페이스용 응용 회로가 내장된 어댑터 및 이를 사용한 집적회로 소자 검사 시스템 - Google Patents

인터페이스용 응용 회로가 내장된 어댑터 및 이를 사용한 집적회로 소자 검사 시스템 Download PDF

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KR970028588A
KR970028588A KR1019950045735A KR19950045735A KR970028588A KR 970028588 A KR970028588 A KR 970028588A KR 1019950045735 A KR1019950045735 A KR 1019950045735A KR 19950045735 A KR19950045735 A KR 19950045735A KR 970028588 A KR970028588 A KR 970028588A
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KR
South Korea
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inspection
adapter
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integrated circuit
circuit device
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Application number
KR1019950045735A
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English (en)
Inventor
김인철
이경원
박원식
이승철
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 집적회로 소자의 전기적인 특성을 검사하는 검사 시스템 및 여기에 사용되는 검사 장비와 검사용 기판 간의 인터페이스를 담당하는어댑터에 관한 것으로서, 어댑터 내에 검사 장비와 검사용 기판 간의 인터페이스 기능을 수행할 수 있는 응용 회로, 예컨대 버퍼, 증폭 회로, 또는 수평 방향으로 지나가는 라인과 수직 방향으로 지나가는 라인을 선택적으로 연결 또는 단절할 수 있으며, 메트릭스 형태로 배열된 복수의 소자를 구비하고 있는 메트릭시 회로를 내장하여 검사용 기판의 외부 응용 회로를 단순화시킬 수 있는 어댑터 및 이를 이용한 집적회로 소자 검사 시스템을 제공한다.

Description

인터페이스용 응용 회로가 내장된 어댑터 및 이를 사용한 집적회로 소자 검사 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 집적회로 소자의 검사 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 블럭도,
제4도는 본 발명에 따른 메트릭스를 내장한 응용 기판을 갖는 어댑터의 개략적인 구성을 나타내는 블럭도,
제5도는 본 발명에 따른 응용 기판을 갖는 어댑터의 사시도.

Claims (6)

  1. 검사하고자 하는 집적회로 소자에 검사용 신호를 입출력하고 측정하여 집적회로 소자의 양품/불량 유무를 판정하는 검사 장비와, 상기 집적회로 소자가 실장되는 검사용 기판과, 상기 검사용 기판과 상기 검사 장비 사이를 인터페이스하는 어댑터를 구비하는 검사 시스템에 있어서, 상기 어댑터는 인터페이스 기능을 수행하는 응용 회로가 내장되어 있는 응용 기판을 규비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 어댑터는 상기 검사 장비와는 소켓에 의해 연결되며 상기 검사용 기판과는 어댑터 핀에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사 장비와 소켓, 상기 소켓과 응용 기판, 상기 응용 기판과 어댑터 핀, 상기 어댑터 핀과 검사용 기판은 케이블에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 응용 회로는 수평 방향으로 지나가는 라인과 수직 방향으로 지나가는 라인을 선택적으로 연결 또는 단절할 수 있으며, 매트릭스 형태로 배열된 복수의 소자를 구비하고 있는 매트릭스 회로인 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  5. 집적회로 소자를 검사하는 검사 장비와 상기 집적회로 소자가 장착되는 검사용 기판 사이를 인터페이스 하기 위한 어댑터에 있어서, 상기 인터페이스 기능을 수행하기 위한 응용 회로를 내장한 응용 기판을 구비하는 것을 특징으로 하는 어댑터.
  6. 제5항에 있어서, 상기 응용 회로는 수평 방향으로 지나가는 라인과 수직 방향으로 지나가는 라인을 선택적으로 연결 또는 단절할 수 있으며, 매트릭스 형태로 배열된 복수의 소자를 구비하고 있는 매트릭스 회로인 것을 특징으로 하는 어댑터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950045735A 1995-11-30 1995-11-30 인터페이스용 응용 회로가 내장된 어댑터 및 이를 사용한 집적회로 소자 검사 시스템 KR970028588A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220045515A (ko) * 2020-10-05 2022-04-12 김택원 제품 모델에 따라 교체와 선택적인 테스트가 가능한 어댑터 장치를 구비하는 검사시스템

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KR20220045515A (ko) * 2020-10-05 2022-04-12 김택원 제품 모델에 따라 교체와 선택적인 테스트가 가능한 어댑터 장치를 구비하는 검사시스템

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