KR970023793A - 반도체 초음파 세척장치 - Google Patents
반도체 초음파 세척장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970023793A KR970023793A KR1019950037036A KR19950037036A KR970023793A KR 970023793 A KR970023793 A KR 970023793A KR 1019950037036 A KR1019950037036 A KR 1019950037036A KR 19950037036 A KR19950037036 A KR 19950037036A KR 970023793 A KR970023793 A KR 970023793A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cleaning
- ultrasonic
- semiconductor
- nozzle unit
- ultrasonic cleaner
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
본 발명은 반도체 초음파 세척장치에 관한 것으로, 종래의 세척장치는 장시간 사용시 순수의 오염으로 세척능력이 저하되며, 이로 인하여 레이저로 마킹된 부분 등의 이물질이 제거되지 않는 문제점이 있었던 바, 본 발명은 세척조(10)의 내부에 설치되어 있는 노즐부(11)의 중앙에 초음파 바이브레이터(12)를 설치하여 반도체 패키지가 수납된 팰레트가 이동시 노즐부(11)에서 세척액을 분사함과 동시에 초음파 바이브레이터(12)에서 초음파를 발생시킴으로써 세척능력이 향상되는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명 반도체 초음파 세척장치의 구성을 보인 개략구성도.
Claims (2)
- 세척조의 세척액을 펌프로 펌핑하여 노즐부를 통하여 분사함으로써 반도체 패키지를 세척하는 반도체 세척장치에 있어서, 상기 세척조의 내부에 세척능력을 향상시키기 위한 초음파 바이브레이터를 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 초음파 세척장치.
- 제1항에 있어서, 상기 노즐부에 세척액을 공급하기 위한 공급라인을 2개이상 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 초음파 세척장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037036A KR970023793A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체 초음파 세척장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037036A KR970023793A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체 초음파 세척장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970023793A true KR970023793A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66584242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950037036A KR970023793A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체 초음파 세척장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970023793A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210082852A (ko) | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 한희석 | 세척장치 |
-
1995
- 1995-10-25 KR KR1019950037036A patent/KR970023793A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210082852A (ko) | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 한희석 | 세척장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI943819A (fi) | Kuluttajan tuotepakkaus, joka sisältää suihkutuslaitteen, joka käyttäähyväksi halkasijaltaan suuria kuplia | |
| KR970075041A (ko) | 클리닝처리설비 | |
| FI101312B1 (fi) | Menetelmä pastamaisten pesuaineiden annostelemiseksi | |
| KR940015605A (ko) | 액정표시소자의 러빙 방법 및 장치 | |
| KR970023793A (ko) | 반도체 초음파 세척장치 | |
| JPS648630A (en) | Cleaning method | |
| JPH03288581A (ja) | スプレー式超音波洗浄装置 | |
| KR950025911A (ko) | 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 | |
| RU97105014A (ru) | Насосно-эжекторная установка для создания вакуума при перегонке жидкого продукта | |
| KR940011071A (ko) | 세정장치 | |
| KR900015271A (ko) | 반도체 장치의 세정방법 및 그 세정장치 | |
| KR20030003574A (ko) | 분사식 초음파 세정장치 | |
| PT956165E (pt) | Processo e aparelho de multiplas funcoes para a manutencao dos liquidos metastaveis | |
| KR970072138A (ko) | 웨이퍼 세정장치 및 세정방법 | |
| KR0117499Y1 (ko) | 기포 제거 기능을 갖는 용액 공급 장치 | |
| JPH10165910A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| KR970052674A (ko) | 웨이퍼세정장치 | |
| JPS57194005A (en) | Method and device for cleaning of membrane separator | |
| KR970049043A (ko) | 감광액도포장치 | |
| KR970073697A (ko) | 스핀 스크러버 세정장치 | |
| KR20070016995A (ko) | 세정 장치 및 이에 이용되는 미스트 발생장치 | |
| KR970052703A (ko) | 기판 세정 장치 | |
| SE8306772D0 (sv) | Portabel tvettningsanordning | |
| KR930000745A (ko) | 세정방법 및 오존수 세탁기 | |
| KR920008856A (ko) | 반도체 웨이퍼의 표면 세정방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |