JPH03288581A - スプレー式超音波洗浄装置 - Google Patents

スプレー式超音波洗浄装置

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JPH03288581A
JPH03288581A JP2088560A JP8856090A JPH03288581A JP H03288581 A JPH03288581 A JP H03288581A JP 2088560 A JP2088560 A JP 2088560A JP 8856090 A JP8856090 A JP 8856090A JP H03288581 A JPH03288581 A JP H03288581A
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2203/00Details of cleaning machines or methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B2203/02Details of machines or methods for cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B2203/0288Ultra or megasonic jets

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明はスプレー式超音波洗浄装置に係わり、洗浄液の
脱気状態を維持したままワーク表面にスプレーすること
のできるスプレー式超音波洗浄装置に関する。
[従来の技術] 周知の通り、ワーク表面を洗浄したり、ワーク表面のパ
リ取り等をする為に超音波によるキャビテーションを利
用した超音波洗浄装置が広く用いられている。
以前に於いては、超音波を放射する媒体中に気泡が多く
含まれている方がキャビテーションが生じ易いとされて
いた。
ところが本出願人が実験等行った結果、媒体の脱気を行
った方がキャビテーションが生じ易いと確認された。
その理由とするところは、あらかじめ媒体中に気泡分が
多いとその部分が発生したキャビテーションのエネルギ
ーを吸収したり等するからであり、その結果効果的にキ
ャビテーションが発生しないものであった。それに対し
脱気した媒体を用いた場合、超音波を放射した時、ある
条件下で著しい減圧が生じ、媒体の圧力がその温度に於
ける飽和蒸気圧に下がったときに、媒体が蒸発して気泡
を生じ、これが核となって膨張し空洞をつくり、次に圧
縮されて著しい高圧を生じる為、より良くキャビテーシ
ョンを発生させるものである。
そこで、脱気した媒体を用いて超音波洗浄が行われてい
るのだけれども、これをスプレー式にしたものが使用さ
れるようになった。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来技術によれば、脱気状態の媒体に超音波を放射
せしめてキャビテーションを発生させ易くしてワークを
洗浄するので、ある一定の洗浄効果を確保する為の洗浄
時間を短くするという利点があった。
ところが、これをスプレー式にした場合、脱気された媒
体が空気中にスプレーされるので、空気を媒体中に吸収
してしまい、媒体が脱気状態でなくなってしまい、洗浄
効果が落ちてしまうという問題点があった。
[目的コ 従って本発明の目的とする所は、媒体、即ち洗浄液の脱
気状態を保ったままワーク表面に洗浄液をスプレーし、
超音波を放射させキャビテーションをより良く発生させ
ることのできるスプレー式超音波洗浄装置を捷供するに
ある。
[課題を解決する為の手段] 上記目的を達成する為に本発明は次の技術的手段を有す
る。即ち寅施例に対応する添付図面中の符号を用いてこ
れを説明すると本発明は、超音波振動子9の前面に於い
て、ワーク13表面に向けてスプレーされる洗浄液に対
して超音波を放射せしめることにより、洗浄液中に伝搬
する超音波によってキャビテーションを生じさせワーク
13表面を洗浄し、合わせてスプレー効果によってワー
ク13表面を洗浄するスプレー式超音波洗浄装置に於い
て、上記超音波を放射せしめる振動子9とその振動子9
の舵面に於けるノズル1より成り、ノズル1は外側ノズ
ル2と内側ノズル3の一重に形成されており、内側ノズ
ル3にあらかじめ脱気された脱気洗浄液11を通す為の
内側脱気洗浄液スプレー通路8が形成され、外側ノズル
2こ内側ノズル3の間に非脱気洗浄液12を通す為の外
側非脱気洗浄液スプレー通路7が形成されており、内側
脱気洗浄液スプレー通路8を通る脱気洗浄液11を中に
して外側非脱気洗浄液スプレー通路7を通る非脱気洗浄
液12が包むようにしてワーク13表面にスプレーされ
、その過程に於いて内側の脱気洗浄液11の脱気状態を
維持しつつキャビテーションをより良く生じせしめるよ
うにしたことを特徴とするスプレー式超音波洗浄装置で
ある。
[作用] 上記構成に基づくと、ノズルlが外側ノズル2と内側ノ
ズル3の二重に形成されており、内側ノズル3に形成さ
れた内側脱気洗浄液スプレー通路8に脱気された脱気洗
浄液11を通し、外側ノズル2と内側ノズル3の間に形
成された外側非脱気洗浄液スプレー通路7に非脱気洗浄
液12を通すので、ノズル先端4より洗浄液が脱気洗浄
液11を中にして外側を非脱気洗浄液12で包むように
してワーク13表面にスプレーするものである。
[実施例] 次に添付図面に従い本発明の好適な実施例を詳述する。
第1図はスプレー式超音波洗浄装置の側面断面図を示し
ており、この装置はノズル1と振動子9より構成されて
いる。
上記ノズルlは外側ノズル2と内側ノズル3より成り、
二重に形成されており、内側ノズル3に内側脱気洗浄液
スプレー通路8が形成され、外側ノズル2と内側ノズル
3の間に外側非脱気洗浄液スプレー通路7が形成されて
いる。そして、ノズル先端4に向って先細りに成ってお
り、外側ノズル2には非脱気洗浄液人口5が形成され、
内側ノズル3には脱気洗浄液人口6が形成されている。
更に、上記ノズルlの後部には振動子振動体10が配設
され、この振動子振動体10には振動子9が接続されて
いる。
ワーク13表面を洗浄する為の洗浄液は洗浄液収容槽1
6に収容されている。この時、洗浄液は脱気されていな
い非脱気洗浄液12である。そして、収容槽16よりポ
ンプ15aを介して非脱気洗浄液人口5へと配管がされ
ている。また、ポンプ15b、脱気手段17を介して脱
気洗浄液人口6へと配管がされている。従って、非脱気
洗浄液人口5にはそのまま非脱気洗浄液12が注入され
、脱気洗浄液人口6には脱気手段17によって脱気され
た脱気洗浄液11が注入される。
上記脱気手段17は非脱気洗浄液12に沸騰させて脱気
を行い、脱気洗浄液11を作るように構成されている。
そして、非脱気洗浄液人口5に注入された非脱気液12
は外側非脱気洗浄液スプレー通路7を通りノズル先端4
へと流動し5脱気洗浄液人口6に注入された脱気洗浄液
11は内側脱気洗浄液スプレー通路8を通りノズル先端
4へと流動する。
そして第2図に示すように、脱気洗浄液11を中にして
非脱気洗浄液12が包むようにしてワーク13表面にス
プレーされる。
この時、非脱気洗浄液12の温度をT1、脱気洗浄II
&zの温度をTIlとすると、T A > T aとな
るように設定する。また、非脱気洗浄液12の流速な■
1、脱気洗浄gllの流速を■8とすると、 V A 
> > V aとなるように設定する。
また2スプレーと同時に電源18に接続された振動子9
が作動し、振動子振動体10が振動し、内側脱気洗浄液
スプレー通路8を通って超音波が放射される。そして、
脱気洗浄液11内でキャビテーションが発生し、ワーク
13表面を洗浄する。
次に、ワーク13の下部に設置された回収槽14にワー
ク13洗浄後の洗浄液が回収される。
この時、洗浄液は非脱気洗浄液12と脱気洗浄液11が
混ざったものであり空気が混入してくるので非脱気洗浄
液12となる。そして、ポンプ15Cを介して収容槽1
6へと送られる。
以上のように、このスプレー式超音波洗浄装置は、ノズ
ルlが外側ノズル2と内側ノズル3の二重に形成されて
おり、内側ノズル3の内側脱気洗浄液スプレー通路8に
脱気洗浄液11が通り、外側ノズル2と内側ノズル3の
間の外側非脱気洗浄液スプレー通路7に非脱気洗浄液1
2が通るので、ノズル先94よりスプレーされる時、脱
気洗浄液11が空気に触れないように外側を非脱気洗浄
液12が包んでおり、そのままワーク13表面にスプレ
ーされ、従ってキャビテーションがより良く生じ、ワー
ク13表面の洗浄が効果的にできるものである。
更に、非脱気洗浄液12の温度T^を高く設定し、脱気
洗浄液11の温度T、を低く設定するので、非脱気洗浄
液12は空気と接触しており多少の空気は入るものの混
入がしにくい為、内側の脱気洗浄液11までは混入しな
いものである。また、脱気洗浄液11はより効果的にキ
ャビテーションを発生させるものである。
そして、非脱気洗浄液12の流速vAに対して脱気洗浄
液11の流速Vsをはるかに小さく設定するので、非脱
気洗浄液12がスプレー効果を発揮するのは勿論、脱気
洗浄液11の単位時間当りのitを少なくすることがで
きるものである。
[効果] 以上詳述した如く請求項第1項の発明によれば、脱気洗
浄液11を中にして外側を非脱気洗浄液12が包むよう
になっているので、脱気洗浄液11が直接空気に触れず
に脱気状態を保ったまま、ワーク13表面まで到達する
ことができるという利点を有する。
更に、非脱気洗浄液12の温度TAを高く設定している
ので空気の混入がしにくく、脱気洗浄液11の温度T8
を低く設定しているのでよりキャビテーションが生じ易
いという利点を何する。
更に、非脱気洗浄液12の流速VAに対して脱気洗浄液
11の流速Vsをはるかに小さく設定しているので、脱
気洗浄液11の単位時間当りの流量を少なくすることが
できるという利点を有する。
【図面の簡単な説明】
添付図面は本発明の実施例を示し5第1図はスプレー式
超音波洗浄装置の側面断面図、第2図は第1図のx−x
’線に沿った断面図であり、図中2は外側ノズル、3は
内側ノズル、7は外側非脱気洗浄液スプレー通路、8は
内側脱気洗浄液スプレー通路、9は超音波振動子、lO
は振動子振動体、11は脱気洗浄液、12は非脱気洗浄
液、13はワークである。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)超音波振動子の前面に於いて、ワーク表面に向け
    てスプレーされる洗浄液に対して超音波を放射せしめる
    ことにより、洗浄液中に伝搬する超音波によってキャビ
    テーションを生じさせワーク表面を洗浄し、合わせてス
    プレー効果によってワーク表面を洗浄するスプレー式超
    音波洗浄装置に於いて; 上記超音波を放射せしめる振動子9とその振動子9の前
    面に於けるノズル1より成り、ノズル1は外側ノズル2
    と内側ノズル3の二重に形成されており、内側ノズル3
    にあらかじめ脱気された脱気洗浄液11を通す為の内側
    脱気洗浄液スプレー通路8が形成され、外側ノズル2と
    内側ノズル3の間に非脱気洗浄液12を通す為の外側非
    脱気洗浄液スプレー通路7が形成されており、内側脱気
    洗浄液スプレー通路8を通る脱気洗浄液11を中にして
    外側非脱気洗浄液スプレー通路7を通る非脱気洗浄液1
    2が包むようにしてワーク13表面にスプレーされ、そ
    の過程に於いて内側の脱気洗浄液11の脱気状態を維持
    しつつキャビテーションをより良く生じせしめるように
    したことを特徴とするスプレー式超音波洗浄装置。
  2. (2)上記内側脱気洗浄液スプレー通路8を通る脱気洗
    浄液11は外側非脱気洗浄液スプレー通路7を通る非脱
    気洗浄液12に比して冷却せしめ、上記外側非脱気洗浄
    液スプレー通路7を通る非脱気洗浄液12は内側脱気洗
    浄液スプレー通路8を通る脱気洗浄液11に比して、ス
    プレーされる空間中の空気が溶解しないように温められ
    ていることを特徴とする請求項第1項記載のスプレー式
    超音波洗浄装置。
  3. (3)上記内側脱気洗浄液スプレー通路8を通る脱気洗
    浄液11の流速は上記外側非脱気洗浄液スプレー通路7
    を通る非脱気洗浄液12の流速より著しく小さくされて
    いることを特徴とする請求項第1項記載のスプレー式超
    音波洗浄装置。
JP2088560A 1990-04-03 1990-04-03 スプレー式超音波洗浄装置 Granted JPH03288581A (ja)

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AT90308705T ATE130786T1 (de) 1990-04-03 1990-08-08 Ultraschallwascheinrichtung.
DE69023897T DE69023897T2 (de) 1990-04-03 1990-08-08 Ultraschallwascheinrichtung.
EP90308705A EP0450222B1 (en) 1990-04-03 1990-08-08 Ultrasonic washing apparatus
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JPH0536114B2 JPH0536114B2 (ja) 1993-05-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1054082C (zh) * 1992-05-25 2000-07-05 S和C株式会社 超声波清洗工件的方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2900788B2 (ja) * 1994-03-22 1999-06-02 信越半導体株式会社 枚葉式ウェーハ処理装置
DE102015211318A1 (de) * 2015-06-19 2016-12-22 Krones Ag Verfahren zum Reinigen von Behältern und/oder Behältergebinden und Reinigungsvorrichtung
CN105057250B (zh) * 2015-08-07 2017-03-15 河海大学常州校区 换能器嵌入式强化空化射流清洗装置
CN105834165A (zh) * 2016-05-06 2016-08-10 苏州工业园区海纳科技有限公司 一种带负压吸收的超声清洗装置
US10233511B1 (en) * 2017-08-31 2019-03-19 The Boeing Company Portable cavitation peening method and apparatus
US11679454B2 (en) 2017-08-31 2023-06-20 The Boeing Company Portable cavitation peening method and apparatus
RU2018124439A (ru) * 2017-08-31 2020-01-13 Зе Боинг Компани Способ кавитационного наклепа и передвижное устройство для его осуществления
US10836012B2 (en) 2017-08-31 2020-11-17 The Boeing Company Method and apparatus for fluid cavitation abrasive surface finishing
CN107876230B (zh) * 2017-11-29 2023-05-30 九牧厨卫股份有限公司 一种摆动水出水芯及出水装置
CN112275463A (zh) * 2020-10-16 2021-01-29 哈尔滨工程大学 一种新型自激振荡脉冲空化喷嘴

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2816752A1 (de) * 1978-04-18 1979-10-25 Kaercher Gmbh & Co Alfred Vorrichtung zum verspruehen von kalkfluessigkeit
EP0140505B1 (en) * 1983-08-15 1989-03-15 Generale de Mecanique et Thermique A method of cleaning industrial components and a jet assembly for use therein
DE3916446A1 (de) * 1988-06-14 1990-03-15 Autobahnbaukombinat Veb Verfahren und vorrichtung zur bearbeitung von festen stoffen mittels druckwasserstrahl

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1054082C (zh) * 1992-05-25 2000-07-05 S和C株式会社 超声波清洗工件的方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE69023897T2 (de) 1996-04-18
ATE130786T1 (de) 1995-12-15
DE69023897D1 (de) 1996-01-11
EP0450222A2 (en) 1991-10-09
EP0450222A3 (en) 1992-07-29
EP0450222B1 (en) 1995-11-29
JPH0536114B2 (ja) 1993-05-28

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