KR970022586A - 반도체용 식각장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체용 식각장치에 관한 것으로, 화학용제를 사용하여 반도체 공정에 따른 소정의 식각공정을 수행하도록 된 반도체용 식각장치에 있어서, 식각용 웨이퍼가 담겨 있는 챔버를 올려 놓기 위한 받침대와, 바닥부분에 고정용 홈을 구비하여 상기 받침대를 소정위치에 고정시킨 수 있도록 한 석영용기를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 파티클의 발생이나 받침대의 위치변동으로 인간 액츄에이터의 척킹 에러를 방지 할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 반도체용 식각장치를 나타낸 도면,
제4도는 상기 제3도에 보인 반도체용 식각장치에서 고정용 홈의 주변부를 나타낸 도면.
Claims (2)
- 화학용제를 사용하여 반도체 공정에 따른 소정의 식각공정을 수행하도록 된 반도체용 식각장치에 있어서, 식각용 웨이퍼가 담겨 있는 챔버를 올려 놓기 위한 받침대와, 바닥부분에 고정용 흠을 구비하여 상기 받침대를 소정위치에 고정시킬 수 있도록 한 석영용기를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 식각장치,
- 제1항에 있어서, 상기 고정용 홈은 상기 석영용기와 동일간 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 식각장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037163A KR970022586A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체용 식각장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037163A KR970022586A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체용 식각장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022586A true KR970022586A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66584247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950037163A KR970022586A (ko) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | 반도체용 식각장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022586A (ko) |
-
1995
- 1995-10-25 KR KR1019950037163A patent/KR970022586A/ko not_active Application Discontinuation
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