KR970030614A - 반도체 소자 제조용 링형 클램프 - Google Patents
반도체 소자 제조용 링형 클램프 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 소자 제조용 링(ring)형 클램프(clamp)에 관하여 기재하고 있다. 반도체 제조장비 내에 설치되고 웨이퍼를 지지하기 위한 척, 막(film)을 형성하기 위해 상기 척 상에 위치한 웨이퍼, 및 상기 웨이퍼를 고정시키기 위해 상기 웨이퍼 상에 설치된 클램프(clamp)를 구비하는 반도체 소자 제조장치에 있어서, 상기 클램프는 웨이퍼의 가장 자리 전면에 걸쳐 직접 웨이퍼와 접촉되도록, 그 내면의 직경이 웨이퍼의 직경보다 작은 크기를 갖는 링(ring) 부와 상기 링부를 반도체 장치와 연결하여 고정시키는 고정핀(pin)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프가 제공된다. 따라서, 국부적인 힘의 집중을 방지하여 웨이퍼의 깨짐 등의 불량 현상을 방지하여 보다 신뢰성 있는 반도체 소자를 제조할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 일 실시예에 따른 클램프를 이용하여 웨이퍼를 고정시킬 경우를 설명하기 위해 도시한 스퍼터장치의 개략적 단면도.
제4도는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 타입(ring type)의 클램프를 개략적으로 도시한 평면도.
Claims (4)
- 반도체 제조장비 내에 설치되고 웨이퍼를 지지하기 위한 척; 막(film)을 형성하기 위해 상기 척 상에 위치한 웨이퍼; 및 상기 웨이퍼를 고정시키기 위해 상기 웨이퍼 상에 설치된 클램프(clamp)를 구비하는 반도체 소자 제조장치에 있어서, 상기 클램프는 웨이퍼의 가장자리 전면에 걸쳐 직접 웨이퍼와 접촉되도록, 그 내면의 직경이 웨이퍼의 직경보다 작은 크기를 갖는 링(ring)부와 상기 링부를 반도체 장치와 연결하여 고정시키는 고정핀(pin)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프.
- 제1항에 있어서, 상기 클램프의 링부는 웨이퍼와 접촉되는 면이 평평한(flat)하게 제조된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프.
- 제1항에 있어서, 상기 클램프의 고정핀은 상기 링부와 네부분에서 연결되어 고정시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프.
- 제3항에 있어서, 상기 고정핀은 링 형태의 상기 클램프의 외주면에 그 간격이 동일하게 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950045828A KR970030614A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체 소자 제조용 링형 클램프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950045828A KR970030614A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체 소자 제조용 링형 클램프 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030614A true KR970030614A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66593450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950045828A KR970030614A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체 소자 제조용 링형 클램프 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030614A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100559651B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 알루미늄 스티킹 방지를 위한 클램프 링 |
-
1995
- 1995-11-30 KR KR1019950045828A patent/KR970030614A/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100559651B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 알루미늄 스티킹 방지를 위한 클램프 링 |
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