KR970008628A - 고체촬상소자의 제조방법 및 이에 이용되는 마스크 - Google Patents
고체촬상소자의 제조방법 및 이에 이용되는 마스크 Download PDFInfo
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Abstract
칼라필터의 분광특성을 개선하는 고체촬상소자의 제조방법 및 이에 이용되는 마스크에 관하여 기재되어 있다. 고체촬상소자는 기판 상에 제1칼라층을 형성하는 제1공정, 제1칼라층과 부분적으로 중첩되는 제2칼라층을 형성하는 제2공정, 결과물 상에 평탄화층을 형성하는 제3공정, 평탄화층 상에 포토레지스트를 도포하는 제4공정, 포토레지스트를 부분적으로노광하는 제5공정, 노광된 포토레지스트를 현상하여 마이크로 렌즈를 형성하는 제6공정 및 제1칼라층과 제2칼라층이중첩된 영역의 수직선상에 위치하는 마이크로 렌즈를 제외한 모든 마이크로 렌즈를 표백하는 제7 공정으로 형성되고, 마스크는 일부 마이크로 렌즈와 대응되는 영역에 차광층이 형성되어 있다. 따라서, 고체촬상소자의 색 재현성을 더욱 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 의한 고체촬상소자의 제조방법을 설명하기 위해 도시된 단면도이다, 제6도는 상기 제5도의 고체촬상소자를 제조하는데 이용되는 마스크이다.
Claims (6)
- 기판 상에 제1칼라층을 형성하는 제1공정; 상기 제1칼라층과 부분적으로 중첩되는 제2칼라층을 형성하는 제2 공정; 결과물 상에 평탄화층을 형성하는 제3공정; 상기 평탄화층 상에 포토레지스트를 도포하는 제4공정; 상기포토레지스트를 부분적으로 노광하는 제5공정; 노광된 포토레지스트를 현상하여 마이크로 렌즈를 형성하는 제6공정; 및상기 제1칼라층과 제2칼라층이 중첩된 영역의 수직선상에 위치하는 마이크로 렌즈를 제외한 모든 마이크로 렌즈를 표백하는 제7공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1칼라층은 청록색(cyan)을 염색하여 형성하고, 상기 제2칼라층은 노란색(yellow)을 염색하여 형성하는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 표백공정은 상기 포토레지스트가 흡수하는 파장의 빛에 상기 포토레지스트를 노출시키는 공정인 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 공정 및 제2 공정 후, 결과물을 탄닌산과 주석산 수용액에 담구는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 제조방법.
- 고체촬상소자를 형성하는데 이용되는 마스크에 있어서, 일부 마이크로 렌즈와 대응되는 영역에 차광층이형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자 제조를 위한 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 일부 마이크로 렌즈는 제1 칼라층과 제2 칼라층이 중첩되는 영역 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자 제조를 위한 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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| KR0155846B1 KR0155846B1 (ko) | 1998-10-15 |
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| KR (1) | KR0155846B1 (ko) |
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1995
- 1995-07-13 KR KR1019950020636A patent/KR0155846B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
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| KR0155846B1 (ko) | 1998-10-15 |
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