JP3667951B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、光学的な色分離用のカラーフィルタを形成するための製造方法に関する。
【従来の技術】
半導体構成の固体撮像素子を用いてカラー撮像を行う場合、固体撮像素子の受光面に光の三原色あるいは、その補色に対応するカラーフィルタが装着される。単板式の撮像装置で用いられる固体撮像素子のカラーフィルタは、ストライプ状またはモザイク状に各色成分が配列され、固体撮像素子の各受光画素を特定の色成分に対応付けるように構成される。
図4は、モザイク型のカラーフィルタの一例を示す平面図である。
カラーフィルタは、それぞれ特定の色成分に対応付けられる複数のセグメントが固体撮像素子の受光画素の配列に対応するように行列配置される。例えば、シアン(Cy)及び黄(Ye)に対応付けられるセグメントC1、C2が、奇数行に交互に配置され、白(W)及び緑(G)に対応付けられるセグメントC3、C4が偶数行に交互に配置される。この各セグメントC1〜C4の色の組み合わせは、光の三原色及びその補色から選択される。これにより、固体撮像素子の各受光画素には、それぞれのセグメントC1〜C4の色成分を表す情報電荷が蓄積される。
このようなカラーフィルタは、受光画素の配列に対応して各セグメントC1〜C4が配列されたフィルタ板を固体撮像素子に装着するか、あるいは、固体撮像素子の基板上に各セグメントC1〜C4を構成するフィルタ層を形成する、いわゆるオンチップフィルタにより実現される。一般的には、微細化に有利であると共に低コスト化が可能なオンチップフィルタが採用される傾向にある。
図5(a)〜(d)は、カラーフィルタの製造方法を説明する工程別の断面図であり、固体撮像素子の複数の受光画素が形成される受光領域及びその周辺領域を示す。
(a)第1工程
半導体基板1の表面にレジストを塗布し、一定の膜厚のレジスト層2を形成する。尚、半導体基板1には、複数の受光画素及びこの受光画素に蓄積される情報電荷を転送する複数のシフトレジスタが予め形成されているものとする。
(b)第2工程
レジスト層2に所定の開口窓4を有する露光マスク3を掛けて露光した後、レジスト層2を現像して、半導体基板1の表面を露出する開口部5を形成する。露光マスク3の開口窓4は、半導体基板1の表面に形成される複数の受光画素の内、特定の色成分に対応させようとする受光画素に一致して設けられる。これにより、レジスト層2の開口部5に所望の受光画素が露出される。
(c)第3工程
開口部5が形成されたレジスト層2の表面及び開口部5の底面に露出する半導体基板1(受光画素)の表面を被うように所望の色の顔料層6を形成する。この顔料層6は、その材料及び膜厚に応じて特定の波長の光のみを透過するものであり、例えば、有機系材料が蒸着によってほぼ均一な膜厚に形成される。
(d)第4工程
レジスト層2を溶剤で融解させ、レジスト層2上の顔料層6をレジスト層2と共に半導体基板1上から除去する、いわゆるリフトオフ法により、レジスト層2の開口部5にのみ顔料層6が残される。これにより、所望の受光画素に対応する半導体基板1の表面に、特定の色成分に対応付けられたフィルタ層7が形成される。
以上の第1乃至第4工程においては、カラーフィルタの複数のセグメントC1〜C4の内、1種類の色成分のみが形成される。そこで、図4に示すような4種類のセグメントC1〜C4を有するカラーフィルタを形成する場合には、白(W)を除く3種類のセグメントC1、C2、C4を順次形成するように、第1乃至第4の工程が繰り返される。
【発明が解決しようとする課題】
第4工程のリフトオフ法においては、顔料層6に被われたレジスト層2を溶剤によって融解させるようにしている。このとき、レジスト層2の広い平坦部分において、レジスト層2が顔料層6で保護される場合があり、除去すべきレジスト層2に十分に溶剤が達せず、レジスト層2または顔料層6の不要部分が半導体基板1上に残されるおそれがある。半導体基板1上に残されたレジスト層2や顔料層6の一部は、複数のフィルタ層7を繰り返し形成する際の障害となると共に、後の工程で剥がれて受光画素上に付着すると、入射光の散乱や受光感度の低下等の問題を招く。あるいは、レジスト層2を完全に除去できるまで処理を続けると、有機系材料で形成される顔料層6が損傷を受け、フィルタ層7が所望の光学的特性を得られなくなるため、固体撮像素子の色再現性が低下するという問題が生じる。
そこで本発明は、カラーフィルタを形成する際の一工程で用いられるリフトオフ法で、半導体基板上の不要なレジスト層または顔料層を短い時間で確実に除去できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本願発明は、上述の課題を解決するために成されたもので、第1の特徴とするところは、受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のポジ型レジスト層を形成し、このレジスト層を選択的に感光させた後に現像して上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、上記開口部が形成される領域を除いた領域に上記レジスト層の所定膜圧よりも浅い凹部を形成する第1工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層の全面を感光させる第2工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第3工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第4工程と、を含むことにある。
そして、第2の特徴するところは、受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のポジ型レジスト層を形成し、このレジスト層を選択的に感光させた後に現像して上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成する第1工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層の全面を感光させる第2工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第3工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第4工程と、を含むことにある。
本発明によれば、開口部を形成したレジスト層の全面を一旦感光した後、そのレジスト層上に顔料層を形成するようにしたことで、顔料層をレジスト層と共に除去する際、レジスト層が半導体基板から容易に剥離するようになる。従って、不要な顔料層の除去処理に要する時間を短縮することができる。
【発明の実施の形態】
図1(a)〜(d)は、本発明のカラーフィルタの製造方法の第1の実施形態を説明する工程別の断面図である。これらの図は、図5と同一部分を示している。
(a)第1工程
複数の受光画素が形成された半導体基板11の表面にレジストを塗布し、一定の膜厚のレジスト層12を形成する。そして、レジスト層12に、光透過率の異なる2種類の開口窓14、15を有する露光マスク13を掛けて露光した後、レジスト層12を現像して、半導体基板11の表面を露出する開口部16及びレジスト層12の膜厚の1/2程度まで達する凹部17を形成する。露光マスク13の第1の開口窓14は、100%に近い光透過率を有し、半導体基板11の表面に形成される複数の受光画素の内、特定の色成分に対応付けるべき受光画素に一致して設けられる。また、露光マスク13の第2の開口窓15は、第1の開口窓14の1/2以下の光透過率(例えば、20%〜40%程度)を有し、受光画素が形成されない周辺領域に設けられる。通常、開口部16の形成においては、レジスト層12を半導体基板11の表面に達するまで確実に感光させるため、露光時間が長めに設定される。そこで、第2の開口窓15の光透過率を20%〜40%と第1の開口窓14の光透過率の1/2以下に設定し、露光完了時点でレジスト層12が1/2程度の厚さまで感光するようにしている。尚、第2の開口窓15については、受光画素が形成されない領域全体に設ける必要はなく、後述するリフトオフ法によってレジスト層12が十分に除去できないと予測される範囲に適宜設けるようすればよい。
(b)第2工程
開口部16及び凹部17が形成されたレジスト層12を全面露光し、レジストの高分子の連鎖を切断する。ここでは、レジスト層12の露光のみを行い、現像処理は行わない。
(c)第3工程
開口部16及び凹部17が形成されたレジスト層12の表面及び開口部16の底面に露出する半導体基板11(受光画素)の表面を被うように所望の色の顔料層18を形成する。この顔料層18は、その材料及び膜厚に応じて特定の波長の光のみを透過するものであり、例えば、有機系材料の蒸着によってほぼ均一な膜厚に形成される。このとき、開口部16及び凹部17の側壁には、レジスト層12の表面や開口部16の底面よりも顔料層18が十分に薄く形成されるか、場所によっては、ほとんど形成されない。
(d)第4工程
アルコール系溶剤を高圧で吹き付けるこにより、レジスト層12を溶剤で融解させ、レジスト層12上の顔料層18をレジスト層2と共に半導体基板1上から除去する。このとき、レジスト層12を融解する溶剤は、顔料層18が薄く形成される、あるいは、ほとんど形成されない開口部16及び凹部17の側壁部分からレジスト層12内へ浸入する。そして、レジスト層12は、第2工程の全面露光処理によって高分子の連鎖が切断されているため、溶剤による融解が容易である。これにより、複数の受光画素が形成される受光領域と共に、その周辺領域においても、レジスト層12が短時間で効率よく融解され、短時間で顔料層18がレジスト層12と共に除去される。従って、周辺領域にレジスト層12あるいは顔料層18の不要部分を残すことなく、かつ、顔料層18の必要部分を損傷することなく、所望の受光画素に対応する半導体基板11の表面に、特定の色成分に対応付けられたフィルタ層19が形成される。
尚、通常のカラーフィルタは、図4に示すように、複数の色成分に対応するセグメントC1〜C4から構成されるため、第1乃至第4工程を繰り返して、フィルタ層19を各色成分毎にそれぞれ独立に形成するようにしている。
図2(a')、(a'')は、本発明のカラーフィルタの製造方法の第2の実施形態を説明する工程別の断面図である。第2の実施形態においては、図1(a)に示す第1工程を第1a工程及び第1b工程の2段階で行うようにしており、それ以降の第2工程乃至第4工程は、図1(b)〜(d)に示すとおりである。
(a')第1a工程
レジスト層12に、開口窓22を有する第1の露光マスク21を掛けて露光した後、レジスト層12を現像して、半導体基板11の表面を露出する開口部16を形成する。この第1の露光マスク21は、図4(b)に示す従来の第2工程で用いた露光マスク3と同一のものである。第1の露光マスク21の開口窓22は、半導体基板11の表面に形成される複数の受光画素の内、特定の色成分に対応付けるべき受光画素に一致して設けられる。
(a'')第1b工程
レジスト層12に、開口窓24を有する第2の露光マスク23を掛けて露光した後、レジスト層12を現像して、レジスト層12の膜厚の1/2より深くまで達する凹部17を形成する。第2の露光マスク23の開口窓24は、リフトオフ法によってレジスト層12が十分に除去できないと予測される周辺領域に適宜設けられる。この第2の露光マスク23によるレジスト層12の露光処理は、第2a工程の第1の露光マスク21による露光処理に対して1/2程度の時間で行われ、レジスト層12の膜厚の約1/2を感光させずに残すようにしている。
以上の第1a及び第1b工程によれば、図1(a)に示す第1工程と同様に、半導体基板11上に形成されたレジスト層12に、半導体基板11の表面を露出する開口部16及びレジスト層12の膜厚の1/2程度まで達する凹部17が形成される。この第1b工程に続いて図1(b)〜(d)に示す第2工程乃至第4工程を施すことにより、第1の実施形態と同様に、半導体基板11上に不要なレジスト層12及び顔料層18を残すことなく、フィルタ層19を形成することができる。尚、第2の実施形態において、第1a工程と第1b工程とは、何れの工程を先に行っても差し支えない。
図3(a)〜(d)は、本発明のカラーフィルタの製造方法の第3の実施形態を説明する工程別の断面図である。これらの図は、図5と同一部分を示している。
(a)第1工程
半導体基板31の表面にレジストを塗布して一定の膜厚のレジスト層32を形成し、そのレジスト層32に所定の開口窓34を有する露光マスク31による露光処理を施して、半導体基板31の所望の素子領域を露出する開口部35を形成する。この第1工程の完了までは、図5(a)、(b)に示す従来の製造方法の第1工程及び第2工程と同一である。
(b)第2工程
露光マスク33を外し、レジスト層32を全面露光することにより、開口部35が形成されたレジスト層32の高分子の連鎖を切断する。この第2工程においては、露光処理のみを行い、現像処理は行わない。
(c)第3工程
レジスト層32の表面及び開口部35の底面に露出する半導体基板31の表面を被うように所望の色の顔料層36を形成する。この第3工程は、図1(c)に示す第3工程と同一である。
(d)第4工程
顔料層36が形成されたレジスト層32に、メタノールやエタノール等のアルコール系溶剤を高圧で吹き付けることにより、レジスト層を融解させて、レジスト層32上の顔料層36をレジスト層32と共に半導体基板1上から除去する。このとき、レジスト層32は、第2工程での全面露光処理により、高分子の連鎖が予め切断されているため、開口部35の側壁部分から浸入する溶剤に対して、短時間で融解される。周辺領域が比較的狭い場合、このように、周辺領域に凹部を形成しなくても、開口部35の側壁部分から浸入する溶剤でレジスト層32を十分に融解することができる。従って、レジスト層32の開口部35にのみ顔料層36が残され、所望の受光画素に対応する半導体基板31の表面に、特定の色成分に対応付けられたフィルタ層37が形成される。
尚、カラーフィルタの複数のセグメントを形成するために、上述の第1工程乃至第4の工程を繰り返すことは、図1に示す第1の実施形態と同一である。
以上の実施形態においては、カラーフィルタを固体撮像素子の半導体基板上に形成する場合を例示したが、LCDパネルなどの表示素子の各表示画素に対するカラーフィルタの形成にも応用することができる。
【発明の効果】
本発明によれば、顔料層をリフトオフ法によってパターニングしてフィルタ層を形成する際、レジスト層及び顔料層の不要部分を半導体基板上から確実に除去することができる。また、レジスト層の除去処理に要する時間を短縮できるため、基板上に残される顔料層が損傷を受けにくくなり、フィルタ層を所望の光学特性どおりに形成することができる。従って、カラーフィルタを装着する受光素子あるいは表示素子の特性の劣化を防止できると共に、その製造工程での歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカラーフィルタの製造方法の第1の実施形態を説明する工程別の断面図である。
【図2】本発明のカラーフィルタの製造方法の第2の実施形態を説明する工程別の断面図である。
【図3】本発明のカラーフィルタの製造方法の第3の実施形態を説明する工程別の断面図である。
【図4】モザイク型のカラーフィルタの構成を示す平面図である。
【図5】従来のカラーフィルタの製造方法を説明する工程別の断面図である。
【符号の説明】
1、11、31 半導体基板
2、12、32 レジスト層
3、13、21、23、33 露光マスク
4、14、15、22、24、34 開口窓
5、16、35 開口部
6、18、36 顔料層
7、19、37 フィルタ層
17 凹部
Claims (4)
- 受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のポジ型レジスト層を形成し、このレジスト層を選択的に感光させた後に現像して上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、上記開口部が形成される領域を除いた領域に上記レジスト層の所定膜厚よりも浅い凹部を形成する第1工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層の全面を感光させる第2工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第3工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第4工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
- 上記第1の工程は、上記開口部の形成部分に対応する第1の開口窓及び上記凹部の形成部分に対応し、第1の開口窓よりも光透過率が低い第2の開口窓を有する露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 上記第1の工程は、上記開口部の形成部分に対応する開口窓を有する第1の露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射すると共に、上記凹部の形成部分に対応する開口窓を有する第2の露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のポジ型レジスト層を形成し、このレジスト層を選択的に感光させた後に現像して上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、上記開口部が形成される領域を除いた領域に上記レジスト層の所定膜厚よりも浅い凹部を形成する第1工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層の全面を感光させる第2工程と、上記開口部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第3工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第4工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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