KR970006206A - 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법 - Google Patents

휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 완하 화학적 기상 중착(Modified Chemical Vapor Deposition)법으로, 유도 복사 원리에 의한 이득 평탄화(Gain Flattening)를 구현할 수 있는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법에 관한 것으로, 석영관에 사염화규소를 주입하면서 가열하여 크래드층을 반복 증착시키고, 다시 석영관에 휘발성 유기 금속 킬레이트들과 사염화규소 및 산소를 혼합한 개스를 주입하면서 가열과 수냉에 의해 다공질 코어층을 형성함과 동시에 이 다공질층에 희토류 원소가 중착되도록 하여 모재를 완성한 다음, 이를 인발함으로써, 첨가하는 희토류 양을 조절하기 쉽고 아주 균일한 분포를 가지며 고농도로 첨가가 가능하며, 아울러 코아층을 GeO2를 제외한 SiO2와 Al2O3를 호스트 물질로 해서 크래드층과 토마층의 굴절율차를 0.025 이상 증가시켜 좋은 광특성을 가진 광섬유를 얻을 수 있는 장점이 있으며, 또한 유기 배위자 휘발시 생성되어 추후 광섬유의 광손실로 작용하는 OH-를 제거되고, 수냉에 의해 생성된 다공질층에 희토류가 중착함에 따라 그 중착 두께가 일정하고 고농도로 균일하게 중착되는 장점이 있다.

Description

휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 MCVD 제조 장치의 개략적 설명도, 제2도는 도펀트 챔버를 이용한 희토류 원수(REE) 첨가 방식의 설명도, 제3도는 희토 솔트가 스며있는 석영 스펀지에 의한 희토류 원소(REE) 첨가 방식의 설명도, 제4도는 앰플 인젝터(ampoule injector)에 의한 희토류 및 알루미늄 첨가 방식의 설명도, 제5도는 용액 첨가 기술(solution doping technology)에 의한 희토류 및 알루미늄 첨가 방식의 설명도.

Claims (25)

  1. 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들을 이용하여 완화 화학 기상 중착법으로 크래드층상에 다공질 코어층을 형성함으로써 이루어지는 Ge이 없는 광도파로를 갖는 광섬유를 제조하는 방법에 있어서, 상기 크래드층과 상기 다공질 코어층 간의 굴절율 차가 0.015 이상이 되게 하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 크래드층을 형성하는 방법은 SiCl4, POCl3프레온가스 및 O2를 혼합한 후, 외부로부터 가열하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다공질층을 형성하는 방법은 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들과 SiCl4, O2를 혼합하고, 외부로부터 가열과 냉각을 동시에 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다공질 코어층 형성시 Al2Cl6및 SiF4중어도 하나를 추가하여 혼합하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 다공질 층을 상기 크래드층 상에 형성한 후 OH-불순물 제거 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 OH-불순물 제거 공정은 CCl4및 O2를 1차 반응시켜 생성된 Cl2가스를 OH-가스와 반응시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 OH-불순물 제거 공정은 Cl2가스와 OH_의 반응시 외부로부터의 가열 공정을 동시에 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들은 휘발성 유기 금속 배위자와 희토류 이온의 결합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 휘발성 유기 금속 배위자는 트리스-사이클로펜타디에닐(tris-cyclopentadienyl) 혹은 트리스-아이소프로필사이클로펜타디에닐(tris-isopropylcyclopentadienyl)로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 희토류 이온들은 Dy, Er, Yb 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  11. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들은 휘발성 유기 금속 배위자와 희토류 이온의 결합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 휘발성 유기 금속 배위자는 트리스-사이클로펜타디에닐(tris-cyclo-pentadienyl) 혹은 트리스-아이소프로필사이클로펜타디에닐(tris-isopropylcyclopentadienyl)로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 희토류 이온들은 Dy, Er, Yb 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  14. 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들을 이용하여 완화 화학 기상 증착법으로 크래드층상에 코어층을 형성함으로써 이루어지는 광도파로를 갖는 광섬유를 제조하는 방법에 있어서, 상기 코어층을 상기 크래드층 상에 형성한 후 OH-불순물 제거 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 광도파로는 Ge이 없는 광도파로인 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 OH-불순물 제거 공정은 CCl4및 O2를 1차 반응시켜 생성된 Cl2가스를 OH-가스와 반응시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 OH-불순물 제거 공정은 Cl2가스와 OH-의 반응시 외부로부터의 가열 공정을 동시에 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 크래드층을 형성하는 방법은 SiCl4, POCl3, 프레온 가스 및 O2를 혼합한 후, 외부로부터 가열하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  19. 제14항에 있어서, 상기 코어층은 다공질 코어층인 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 다공질 코어층을 형성하는 방법은 희토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들과 SiCl4, O2를 혼합하고, 외부로부터 가열과 냉각을 동시에 실시하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 다공질 코어층 형성시 Al2Cl6및 SiF4중 적어도 하나를 추가하여 혼합하는 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원수 첨가 광섬유 제조 방법.
  22. 제14항 또는 제19항에 있어서, 상기 크래드층과 코어층 간의 굴절율 차가 0.015 이상인 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  23. 제14항에 있어서, 상기 회토류 이온들이 포함된 휘발성 유기 금속 킬레이트들은 휘발성 유기 금속 배위자와 희토류 이온의 결합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 휘발성 유기 금속 배위자는 트리스-사이클로펜타디에닐(tris-cyclopentadienyl) 혹은 트리스-아이소프로필사이클로펜타디에닐(tris-isopropylcyclopentadienyl)로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
  25. 제23항에 있어서, 상기 희토류 이온들은 Dy, Er, Yb 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 휘발성 복합체를 사용한 희토류 원소 첨가 광섬유 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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