KR970003765A - 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조에 관한 것으로서, 비젼카메라를 전후 및 좌우 방향으로 위치 이동 가능하게 하는 동시에 상하 높이를 가변시킬 수 있게 하여 광범위한 투시범위를 가질 수 있게 하고, 별도의 방진부재를 구비하여 장비내의 진동을 이것으로 흡수할 수 있게 함으로써, 다양한 종류의 스트립자재에 모두 적용시킬 수 있으며, 보다 정확한 초점형성을 가능하게 해주는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 비젼카메라 설치구조를 나타내는 사시도, 제2도의 (A) 내지 (C)는 본 발명에 따른 부시의 자세 전환상태를 보여주는 제1도에서의 "A"부 상세도.

Claims (5)

1. 베이스 플레이트(10)의 비젼카메라 설치구멍(110에는 비젼카메라(12)를 수직배치하고, 이것(12)의 상단부는 "ㄷ"자형의 수납부(13)를 갖는 슬라이드 블럭(14)에 의해 감싸인 상태로 고정되게 하며, 상기 슬라이드 블럭(14)은 지지블럭(15)의 수직부재(15a)일면에 밀착되면서 체결고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12)를 포함하는 슬라이드 블럭(14) 전체가 체결해제와 함께 상하 유동가능하도록 고정되게 하고, 상기 지지블럭(15)은 슬롯(16a)을 가지면서 회전 전환 가능한부시(17)를 매개로 하여 받침블럭(18)의 윗면에 고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14)을 포함하는 지지블럭(15) 전체가 부시(17)의 자세전환에 따라 전후 및 좌우 유동 가능하도록 고정되게 하며, 상기 받침블럭(18)의 내부에는 아래쪽이 개방되는 요홈부(19)를 구비하여 여기에 방진부재(20)를 삽입장착하는 동시에 이것(20)이 베이스 플레이트(10)의 윗면에 밀착될 수 있게 하면서 이 받침블럭(18)을 베이스 플레이트(10)에 체결고정한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지블럭(15)의 수직부재(15a)에는 상하 길이방향으로 일정구간에 걸쳐서 슬롯(16b)이 형성되어 있고, 상기 슬라이드 블럭(14)은 이 슬롯(16b)을 통해 체결고정되어 상하 유동이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
3. 제1항에 있어서, 상기 부시(17)는 지지블럭(15)에 형성되어 있는 부시 장착구멍에 삽입 결합되는 동시에 자체 축선을 중심으로하여 선택적으로 회전 전환 가능하게 되어 있어서, 이것(17)의 자세전환에 따라 결정되는 슬롯(16a)의방향을 따라 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14) 을 포함하는 지지블럭(15) 전체가 유동될 수 있도록 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
4. 제1항에 있어서, 상기 방진부재(20)의 부피는 받침블럭(18)의 요홈부(19)가 갖는 체적보다 다소 크게 이루어져 있어서, 상기 요홈부(19)내에 완전히 충밀되는 동시에 소정의 변형량을 가지면서 압착된 상태로 삽입장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
5. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 방진부재(20)는 완충고무인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.