KR0152416B1 - 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조에 관한 것으로서, 비젼카메라를 전후 및 좌우 방향으로 위치 이동 가능하게 하는 동시에 상하 높이를 가변시킬 수 있게 하여 광범위한 투시범위를 가질 수 있게 하고, 별도의 방진부재를 구비하여 장비내의 진동을 이것으로 흡수할 수 있게 함으로써, 다양한 종류의 스트립자재에 모두 적용시킬 수 있으며, 보다 정확한 초점형성을 가능하게 해주는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조

제1도는 본 발명에 따른 비젼카메라 설치구조를 나타내는 사시도.

제2도의 (a)내지 (c)는 본 발명에 따른 부시의 자세 전환상태를 보여주는 제1도에서의 A부 상세도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 베이스 플레이트 11 : 비젼카메라 설치구멍

12 : 비젼카메라 13 : 수납부

14 : 슬라이드 블럭 15 : 지지블럭

16a,16b : 슬롯 17 : 부시

18 : 받침블럭 19 : 요홈부

20 : 방진부재 21 : 보조 플레이트

22 : 커버

본 발명은 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조에 관한 것으로서, 특히, 전후 및 좌우 위치와 상하 높이조절이 가능한 구조를 채택하여 비젼카메라의 투시범위를 더욱 확장했으며, 방진부재를 구비하여 장비내의 진동에 의한 비젼카메라의 기능저하 현상을 완전히 배제한 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조장비의 비젼유니트는 반도체 제조공정에서 스트립자재에 대한 모울딩 불량, 스크래치나 크랙과 같은 결함, 트리밍/포밍작업이 제대로 이루어졌는지의 여부 등 주로 외관검사를 목적으로 설치되는바, 이러한 비젼유니트는 스트립자재를 직접 투시할 수 있는 수단 예컨대, 투시카메라와, 이것으로부터 입력받은 화상신호를 비교분석하여 판정할 수 있는 수단 예컨대, 컴퓨터의 지원을받는 영상처리장치로 크게 구성되어 있다.

특히, 상기 비젼카메라는 정확한 초점을 맞추기 위해 진동에 의한 영향을 받지 않게 하는 것이 필수적이며, 다양한 종류의 스트립자재에 대한 호환성을 갖기 위해 보다 넓은 투시범위 확보를 필요로 하게 된다. 그러나, 기존의 비젼카메라는 대부분 그 설치위치를 가변시킬 수 없도록 한곳에 고정설치되어 있어서, 협소한 투시범위를 가질 수 밖에 없는 즉, 몇 가지 종류의 스트립자재에 대해서만 한정적용시킬 수 밖에 없는 단점과, 장비내의 진동에 대해서도 전혀 무방비상태의 설치구조를 갖고 있어서 진동의 영향에 의한 기능저하를 초래하게 되는 단점을 갖고 있었다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 비젼카메라를 전후 및 좌우 방향으로 위치이동가능하게 하는 동시에 상하 높이를 가변시킬 수 있게 하여 광범위한 투시범위를 가질 수 있게 하고, 별도의 방진부재를 구비하여 장비내의 진동을 이것으로 흡수할 수 있게 함으로써, 다양한 종류의 스트립자재에 모두 적용시킬 수 있으며, 보다 정확한 촛점형성을 가능하게 해주는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 베이스 플레이트(10)의 비젼카메라 설치구멍(11)에는 비젼카메라(12)를 수직배치하고, 이것(12)의 상단부는 ㄷ자형의 수납부(13)를 갖는 슬라이드 블럭(14)에 의해 감싸인 상태로 고정되게 하며, 상기 슬라이드 블럭(14)은 지지블럭(15)의 수직부재(15a)일면에 밀착되면서 체결고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12)를 포함하는 슬라이드 블럭(14)전체가 체결해제와 함께 상하 유동가능하도록 고정되게 하고, 상기 지지블럭(15)은 슬롯(16a)을 가지면서 회전 전환 가능한 부시(17)를 매개로 하여 받침블럭(18)의 윗면에 고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14)을 포함하는 지지블럭(15) 전체가 부시(17)의 자세전환에 따라 전후 및 좌우 유동 가능하도록 고정되게 하며, 상기 받침블럭(18)의 내부에는 아래쪽이 개방되는 요홈부(19)를 구비하여 여기에 방진부재(20)를 삽입장착하는 동시에 이것(20)이 베이스 플레이트(10)의 윗면에 밀착될 수 있게 하면서 이 받침블럭(18)을 베이스 플레이트(10)에 체결고정한 구조로 이루어진 것을 특징으로 한다.

이를 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 발명의 비젼카메라 설치구조를 나타내는 반절단 사시도이다

여기서, 도면부호 12는 비젼카메라(12)를 나타낸다.

상기 비젼카메라(12)는 렌즈부를 아래쪽으로 향하게 하면서 수직자세로 베이스 플레이트(10)에 형성되는 비젼카메라 설치구멍(11)의 중심부에 배치되고, 이렇게 배치되는 비젼카메라(12)의 상단부는 비젼카메라 설치구멍(11)을 관통하여 그 윗쪽 예컨대, 베이스 플레이트(10)의 상부에 위치되어져 이것이 후술하는 슬라이드 블럭(14)의 수납부(13)에 삽입결합 되므로서 이 슬라이드 블럭(14)과 함께 고정지지될 수 있게 된다.

또한, 도면부호 14는 슬라이드 블럭을 나타낸다.

상기 슬라이드 블럭(14)은 비젼카메라(12)를 실질적으로 고정시켜주는 부재로서, 폭에비해 길이가 긴 사각판체 형상을 기본구조로 갖고 있으며, 이것의 일변은 미끄럼 접촉면의 역할을 하게 되고 다른 일면에는 ㄷ자형의 수납부(13)가 일체형성된다.

이러한 수납부(13)의 형성에 따라 이곳에는 상하측만이 개방된 밀폐형의 끼움구조가 이루어지게 되고, 여기에 상기 비젼카메라(12)의 상단부가 아래쪽에서부터 끼워지면서 형합되므로서, 이 슬라이드 블럭(14) 과 비젼카메라(12)는 일체형으로 조합될 수 있게 된다. 즉, 슬라이드 블럭(14)의 상하운동에 따라 이와 함께 비젼카메라(12)의 상하운동이 가능하게 된다.

또한, 도면부호 15는 지지블럭을 나타낸다.

상기 지지블럭(15)은 후술하는 받침블럭(18)의 윗면에 얹혀져 지지되는 수평부재(15b)와, 이 수평부재(15b)의 윗면에 세워져 지지되는 수직부재(15a)로 이루어져 있다.

상기 수평부재(15b)의 중심부에는 상기 슬라이드 블럭(14)와 비젼카메라(12) 상단부의 상하 조절공간 확보를 위한 관통구멍이 형성되어 있고, 이 관통구멍의 양편에는 서로 마주대하는 대칭위치에 각각의 부시 장착 구멍이 형성되어 있으며, 이때의 부시 장착 구멍에 장착되는 부시(17)를 이용하여 받침블럭(18)의 윗면에 고정된다.

예컨대, 실질적으로는 받침블럭(18)에 의해 고정되는 방진부재(20)의 윗면 일부를 덮고 있는 보조플레이트(21)에 고정된다.

상기 수직부재(15a)는 상기 관통구멍의 일측 내면과 맞닿는 위치네 세워져 있게 되며, 이 수직부재(15a)의 길이방향을 따라 일정구간에 걸쳐 연속되는 슬롯(16b)형상의 관통구멍을 갖게 된다.

이러한 지지블럭(15)은 슬라이드 블럭(14)의 상하 높이유지를 가능하게 해주는 동시에 이것(14)의 상하운동을 안내해주게 되며, 자체적으로는 선택적으로 좌우 및 전후 유동될 수 있게 되어 있다.

이를 위하여 상기 수직부재(15a)의 안쪽면 예컨대, 지지블럭(15)의 관통구멍측으로 위치되는 면에는 상기 슬라이드 블럭(14)이 미끄럼 접촉면이 밀착되고 이와 동시에 수직부재(15a)의 슬롯(16b)을 통하여 이것들(15a), (14)이 서로 체결되므로서, 슬라이드 블럭(14)의 위치고정이 가능하게 되며, 서로간의 체결상태를 해제하게 되면 슬라이드 블럭(14)은 수직부재(15a)와의 밀착면을 따라 상하이동 되면서 그 높이조절이 자유롭게 될 수 있고 조절된 높이에서 재차 체결되므로서 그때의 높이유지가 가능하게된다.

또한, 상기 지지블럭(15)의 전후 및 좌우 방양으로의 유동을 부시(17)가 그 역할을 수행할 수 있게 된다.

상기 부시(17)는 축선방향을 따라 관통되는 보울트 체결구멍을 갖고 있으며, 이때의 구멍은 슬롯(16a)형상으로 이루어져 있다.

따라서, 첨부도면 제2도의 (a)에 도시한 바와 같이, 상기 부시(17)의 슬롯(16a)방향이 지지블럭(15)의 길이방향과 일치하는 방향으로 놓여져 있는 상태에서는 보울트 해제와 함께 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14) 을 포함하는 지지블럭(15) 전체의 전후 길이방향 유동이 가능하게 되고, 또한 (b)에 도시한 바와 같이 부시(17)의 90°자세전환에 따라 슬롯(16a)방향이 지지블럭(15)의 폭방향과 일치하는 방향으로 놓여져 있는 상태에서는 좌우폭방향 유동이 가능하게 되며, 특히(C)에 도시한 바와 같이 슬롯(16a)방향이 지지블럭(15)의 길이방향과 폭방향에 대한 45°방향과 일치하는 방향으로 놓여져 있는 상태에서는 대각선 방향 유동이 가능하게 된다.

이렇게 부시(17)의 장착자세를 전환시켜 가면서 지지블럭(15), 슬라이드 블럭(14) 및 비젼카메라(12) 의 설치위치를 가변시킬 수 있게 되므로서, 스트립자재에 대한 다양한 투시범위를 확보할 수 있게 되고, 이는 필요에 따라 해당부위만을 투시하는 것도 가능함을 의미한다.

또한, 도면부호 18은 받침블럭이고 20은 이 받침블럭에 일체 삽입되는 방진부재이다.

상기 받침블럭(18)은 깊이가 얕은 사각용기 형상으로 이루어져 있으며, 이것의 바닥부에는 상기 슬라이드 블럭(14) 및 비젼카메라(12)의 상하 운동공간을 의미하는 관통구멍이 형성되어 있다.

이러한 받침블럭(18)은 이것이 갖는 안쪽의 요홈부(19)가 비젼카메라(12) 설치구멍(11)을 덮으면서 아래쪽을 향할 수 있도록 엎어놓은 상태로 설치되며, 그 윗면(예컨대, 실질적으로 용기의 밑면을 의미한다.)으로 상기 지지블럭(15)의 수평부재(15b)가 놓여지게된다.

특히, 받침블럭(18)의 요홈부(19)에는 방진부재(20)가 삽입된다. 이 방진부재(20)는 베이스 플레이트(10)를 통해 받침블럭(18)에 전해지는 진동을 저감시키는 역할을 하게 된다.

이때의 방진부재(20)는 완충고무를 의미하며, 상기 요홈부(19)가 갖는 체적보다 다소 큰 부피로 이루어져 있어서, 요홈부(19)내에 완전히 충밀되는 동시에 어느정도 압착변형된 상태로 삽입장착된다. 즉 이러한 압착변형된 상태는 첨부도면 제1도에서 볼 수 있게 되는데, 받침블럭(18)의 체결과 함께 이것에 의해 눌려지는 부위와 그렇지 않은 부위 예컨대, 보조플레이트(21)와 접하고 있는 부위간에 단차가 형성되어 있는 것을 볼 수 있게 된다.

이러한 방진부재(20)는 테두리부위가 받침블럭(18)에 의해서 눌려지게 되는 동시에 슬라이드 블럭(14) 및 비젼카메라(12) 의 상하조정을 가능케 해주는 관통구멍의 둘레부가 보조플레이트(21)에 체결되므로서, 요홈부(19) 내에서의 장착된 상태를 지속적으로 유지할 수 있게 된다.

또한, 도면부호 22는 비젼카메라(12)의 렌주부를 보호하는 커버이다.

이 커버(22)는 바닥부의 투시구를 제외한 밀폐형으로 이루어져 있으며, 상기 렌즈부를 감싸면서 베이스 플레이트(10)의 저면에 고정설치된다.

한편, 상기와 같이 구성된 본 발명의 작용효과를 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 비젼카메라(12)의 상하 높이조절은 이 비젼카메라(12)를 고정하고 있는 슬라이드 블럭(14)과 이것(14)이 체결되어 있는 지지블럭(15)간의 체결상태를 해제함과 동시에 비젼카메라(12)를 포함하는 슬라이드 블럭(14)전체를 상하 유동시키므로 가능하게 된다.

즉, 지지블럭(15)의 수직부재(15A)에 체결되어 있는 보울트를 약간 풀게 되면, 슬라이드 블럭(14)은 상하 유동가능한 상태가 되고, 슬라이드 블럭(14)을 소정의 높이에 위치시킨 다음 재차 보울트를 조이게 되면그때의 조절된 높이에서 고정될 수 있게 된다.

이러한 비젼카메라(12)의 상하 높이조절은 스트립자재가 갖는 단위패키지의 크기에 따라 투시면적을 좁히거나 넓힐 필요가 있는 경우에 하게 된다.

또한, 비젼카메라(12)의 전후 및 좌우 위치조절은 슬라이드 블럭(14)과 비젼카메라(12)를 고정하고 있는 지지블럭(15)을 전후 및 좌우 유동시키므로서 가능하게 된다.

즉, 지지블럭(15)과 일체 조합된 부시(17)에 체결되어있었는 양편의 각 보울트를 약간 풀게 되면, 이때의 부시(17)는 지지블럭(15)에 삽입된 상태에서 자체축선을 중심으로 하여 자유롭게 회전가능하게 되고, 이러한 부시(17)를 회전시켜서 슬롯(16a)방향이 비젼카메라(12)를 위치시키려는 방향과 일치될 수 있도록 전환시킨 다음 예를 들면, 첨부도면 제2도에 (a), (b), (c)에 도시한 바와 같이 전후 길이방향, 좌우 폭방향, 대각선 방향으로 각각 선택적으로 위치시킬 수 있도록 전환시킨 다음, 이렇게 선택된 어느한 방향으로 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14) 을 포함하는 지지블럭(15) 전체를 위치이동 시킨 후 재차 보울트를 조이게 되면 그때의 이동된 위치에서 고정될 수 있게 된다.

이러한 비젼카메라(12)의 전후 및 좌우 위치조절은 스트립자재가 갖는 단위패키지의 특정부위만을 투시할 필요가 있는 경우에 하게 된다.

한편, 장비 작동시의 발생되는 진동은 베이스 플레이트(10)를 거쳐서 이와 접하고 있는 받침블럭(18)으로 대부분 전달되는데, 이때 전달되는 진동은 받침블럭(18)의 내부에 장착되어 있는 방진부재(20)에 의해서 전량 흡수될 수있게 되므로 비젼카메라(12)를 거의 정적상태로 유지할 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 장비내의 진동을 흡수할 수 있는 방진부재를 구비하고, 비젼카메라의 전후 및 좌우위치이동과 상하 높이조절이 가능한 구조를 채택함으로써, 비젼유니트를 이용한 패키지의 품질검사를 보다 효율적으로 수행할 수 있는 장점이 있는 것이다.

Claims (5)

1. 베이스 플레이트(10)의 비젼카메라 설치구멍(110에는 비젼카메라(12)를 수직배치하고, 이것(12)의 상단부는 ㄷ자형의 수납부(13)를 갖는 슬라이드 블럭(14)에 의해 감싸인 상태로 고정되게 하며, 상기 슬라이드 블럭(14)은 지지블럭(15)의 수직부재(15a)일면에 밀착되면서 체결고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12)를 포함하는 슬라이드 블럭(14) 전체가 체결해제와 함께 상하 유동가능하도록 고정되게 하고, 상기 지지블럭(15)은 슬롯(16a)을 가지면서 회전 전환 가능한 부시(17)를 매개로 하여 받침블럭(18)의 윗면에고정되게 하되, 상기 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14)을 포함하는 지지블럭(15) 전체가 부시(17)의 자세전환에 따라 전후 및 좌우 유동 가능하도록 고정되게 하며, 상기 받침블럭(18)의 내부에는 아래쪽이 개방되는 요홈부(19)를 구비하여 여기에 방진부재(20)를 삽입장착하는 동시에 이것(20)이 베이스 플레이트(10)의 윗면에밀착될 수 있게 하면서 이 받침블럭(18)을 베이스 플레이트(10)에 체결고정한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지블럭(15)의 수직부재(15a)에는 상하 길이방향으로 일정구간에 걸쳐서 슬롯(16b)이 형성되어 있고, 상기 슬라이드 블럭(14)은 이 슬롯(16b)을 통해 체결고정되어 상하 유동이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
3. 제1항에 있어서, 상기 부시(17)는 지지블럭(15)에 형성되어 있는 부시 장착구멍에 삽입결합되는 동시에 자체 축선을 중심으로하여 선택적으로 회전 전환 가능하게 되어 있어서, 이것(17)의 자세전환에 따라 결정되는 슬롯(16a)의 방향을 따라 비젼카메라(12) 및 슬라이드 블럭(14) 을 포함하는 지지블럭(15) 전체가 유동될 수 있도록 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
4. 제1항에 있어서, 상기 방진부재(20)의 부피는 받침블럭(18)의 요홈부(19)가 갖는 체적보다 다소 크게 이루어져 있어서, 상기 요홈부(19)내에 완전히 충밀되는 동시에 소정의 변형량을 가지면서 압착된 상태로 삽입장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.
5. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 방진부재(20)는 완충고무인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 비젼카메라 설치구조.