KR970003577A - 폴리이미드 큐어링 공정에서 액상의 생성물 제거방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 16메가 디 - 램의 반도체 웨이퍼 생산공정중에 행하여지는 픽스 큐어링 공정의 수회 실행후 발생하는 생성물을 제거시키는 픽스 큐어링 공정에서의 생성물 제거방법을 제공하기 위한 것이다.
이와같은 본 발명의 픽스 큐어링 공정으로 생긴 생성물의 제거방법은 픽스 큐어링 공정후 챔버 내의 온도를 준비온도에서 산소개스보다 질소개스의 공급량을 늘린 상태에서 분당 6 ~ 8℃의 온도 상승폭으로 380 ~ 420℃까지 올리는 단계와, 380 ~ 420℃의 온도범위에서 산소개스의 발화점인 온도부터 780 ~ 820℃까지 분당 3 ~ 5℃도 온도를 상승시켜 소정시간 열처리하는 단계와, 열처리 단계후 분당 3 ~ 5℃도 380 ~ 420℃까지 온도를 강하시키는 단계와, 380 ~ 420℃의 온도범위에서 분당 6 ~ 8℃로 준비온도까지 하강시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 픽스 큐어링 공정 후 발생한 생성물등을 제거하는 본 발명의 처리 공정을 보여주는 도면.
Claims (4)
- 픽스 큐어링 공정후 챔버 내의 온도를 준비온도에서 산소개스보다 질소개스의 공급량을 늘인 상태에서 분당 6 ~ 8℃온도 상승폭으로 380 ~ 420℃까지 올리는 단계와, 380 ~ 420℃의 온도범위에서 산소개스의 발화점인 온도부터 780 ~ 820℃까지 분당 3 ~ 5℃로 온도를 상승시켜 소정시간 열처리하는 단계와, 열처리 단계후 분당 3 ~ 5℃로 380 ~ 420℃까지 온도를 강하시키는 단계와, 380 ~ 420℃이 온도범위에서 분당 6 ~ 8℃로 준비온도까지 하강시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 픽스 큐어링 공정에서 액상의 생성물 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1온도상승단계에서 산소개스와 질소개스의 비는 1 : 3으로 공급하는 것을 특징으로 하는 픽스 큐어링 공정에서 액상의 생성물 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전과정의 온도제어는 외부온도 제어방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 픽스 큐어링 공정에서 액상의 생성물 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전온도제어과정에서 발생하는 배기가스는 배기관을 완전히 연 상태로 100mmH2O의 압력으로 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 픽스 큐어링 공정에서 액상의 생성물 제거방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950018608A KR100365417B1 (ko) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 폴리이미드큐어링공정에서액상의생성물제거방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950018608A KR100365417B1 (ko) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 폴리이미드큐어링공정에서액상의생성물제거방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970003577A true KR970003577A (ko) | 1997-01-28 |
| KR100365417B1 KR100365417B1 (ko) | 2003-03-03 |
Family
ID=37491031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950018608A KR100365417B1 (ko) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 폴리이미드큐어링공정에서액상의생성물제거방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100365417B1 (ko) |
-
1995
- 1995-06-30 KR KR1019950018608A patent/KR100365417B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100365417B1 (ko) | 2003-03-03 |
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