KR970003356A - 전계 방출 표시소자의 제조 방법 - Google Patents

전계 방출 표시소자의 제조 방법 Download PDF

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KR970003356A
KR970003356A KR1019950015552A KR19950015552A KR970003356A KR 970003356 A KR970003356 A KR 970003356A KR 1019950015552 A KR1019950015552 A KR 1019950015552A KR 19950015552 A KR19950015552 A KR 19950015552A KR 970003356 A KR970003356 A KR 970003356A
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lattice
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etched
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KR1019950015552A
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Inventor
조영래
문제도
오재열
정효수
Original Assignee
이우복
사단법인 고등기술연구원 연구조합
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 스페이서를 얇은 두께의 금속판으로 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 스트라이프 형상의 다수개의 캐소드전극과 에미터가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층과 게이트전극이 형성된 하부기판과, 상기 캐소드전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애노드전극과 형광체가 형성된 상부 기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판을 소정 간격 이격되게 유지시키는 스페이서를 포함하는 전계 방출 표시 소자에 있어서; 얇은 금속을 기 설정 크기의 격자 형상으로 식각하여 상기 스페이서의 상면과 하면에 각각 격자 형상의 절연층을 형성하고, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 상기 스페이서를 정렬한 후, 기판의 가장 자리를 실런트로 실링하는 단계를 포함하여 이루어지고, 상기 스페이서의 상면에 격자 형상으로 형성된 절연층상에 일측 방향으로만 다시 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

전계 방출 표시소자의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (A)는 본 발명의 일실시예에 따른 FED의 스페이서의 평면도, 제2도 (B)는 상기 제2도 (A)의 요부 발췌도, 제3도 (A)는 상기 제2도 (A)와 (B)에 도시된 스페이서를 사용한 FED의 단면도, 제3도 (B)는 상기 제3도 (A)의 실링 부위의 세부 확대도.

Claims (13)

  1. 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드전극과 에미터가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층과 게이트전극이 형성된 하부기판과, 상기 캐소드전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수개의 애노드전극과 형광체가 형성된 상부기판과, 상기 상부 기판과 하부 기판을 소정 간격 이격되게 유지시키는 스페이서를 포함하는 전계 방출 표시 소자에 있어서; 얇은 금속을 기 설정 크기의 격자 형상으로 식각하여 상기 스페이서를 형성하는 단계, 상기 스페이서의 상면과 하면에 각각 격자 형상의 절연층을 형성하는 단계, 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 상기 상면과 하면에 각각 절연층이 형성된 스페이서를 정렬하는 단계, 상기 상부 기판과 하부 기판의 가장자리를 실런트로 실링하는 단계를 포함하하여 이루어진 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스페이서의 상면에 격자 형상으로 형성된 절연층 상에 일측 방향으로만 다시 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어진 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속으로 이루어진 스페이서에 전압을 인가하여 상기 스페이서가 포커싱 전극이 되도록 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 격자형의 스페이서 각각이 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소 간격으로 유지되도록 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 격자형의 스페이서를 식각하되, 레이져 절단 공정에 의해 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 격자형의 스페이서를 선반 공정에 의해 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 격자형의 스페이서를 금형 공정에 의해 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  8. 제3항에 있어서, 상기 스페이서의 상면과 하면에 형성되는 절연층은 졸겔법에 의해 형성되는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  9. 제3항에 있어서, 상기 스페이서의 상면과 하면에 형성되는 절연층은 스프레이법에 의해 형성되는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  10. 제3항에 있어서, 상기 스페이서의 상면과 하면에 형성되는 절연층은 증착법에 의해 형성되는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 하부 기판을 지지하기 위한 보조 글라스를 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 보조 글라스에 게터를 도포하여 초고주파로 가열하여 기체를 제거하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 게터는 티타늄(Ti), 은-티타늄 합금(Ag-Ti), 탄탈(Ta), 지로코늄(Zr), 지로코늄-알루미늄 합금(Zr-Al) 또는 지로코늄-니켈으로 이루어진 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950015552A 1995-06-13 1995-06-13 전계 방출 표시소자의 제조 방법 KR970003356A (ko)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100318064B1 (ko) * 1999-06-10 2001-12-22 구자홍 고주파구동 전계 방출 표시장치 및 그 구동방법
KR100474822B1 (ko) * 1998-01-12 2005-06-17 삼성에스디아이 주식회사 전계효과표시소자와그구동방법및그스페이서제조방법
KR100542182B1 (ko) * 1999-08-23 2006-01-10 삼성에스디아이 주식회사 평판 디스플레이 장치
KR100542318B1 (ko) * 1999-12-28 2006-01-12 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 전계방출표시소자 및 그 제조방법
KR100715332B1 (ko) * 2000-03-27 2007-05-08 모토로라 인코포레이티드 진공 브리지 포커싱 구조를 갖는 전계 방출 장치

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