KR960700603A - 피라미드 에러 보정방식과 그의 장치 - Google Patents

피라미드 에러 보정방식과 그의 장치

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Abstract

광의 영향을 받아서 광속(5)을 편향시켜주는 회전경(8)내 각면의 불완전천 경사도에서 생기는 피라미드 오차보상방법에서 각면내 경사오차가 생겨날 때 해당각면(12)으로부터 반사되는 광속(5)의 교정 편향은 불완전 경사도에 기인한 편향의 반대방향의 교정각도에서 이루어진다. 각면(16)의 위치는 이들이 계측위치(15)를 통과할 때마다 계속 탐색되어 지며 불완경사가 발생할 때 이의 불완전 경사각도가 계측되어 교정편향의 교정각도크기의 두배로 조정이 된다. 이 방법을 수행하기 위한 장치는 광의 영향을 받는 회전 다각경(8)외에도 각면의 불완전 경사가 생길 때 광속(5)의 교정편향을 위한 편향장치(9,10)와 편향장치를 조정하기 위한 제어장치로 되어 있다. 각각의 각면(16)의 위치는 그것이 계측위치(15)를 통과할 때 계측장치(13)에 의해 계속 검색되며 불완전 경사가 나타날 때에 그의 각도가 계측 가능하게 되고 이의 각도에 따라서 입력신호가 제어장치(36)에 공급가능하다.

Description

피라미드 에러 보정방식과 그의 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (21)

  1. 광에 의해서 영향을 받아 광속(5)을 편향시켜주고 이에 각면내 경사오차가 발생할 경우 해당표면(12)으로부터 반사된 광속(5)의 교정 편향이 불완전 경사 각에 의하여 발생되는 편향의 반대방향으로 향한 교정각도에서 이루어지는 회전 다각경(8)의 표면상 불완전 경사에 의하여 발생하는 피라미드 오차를 보정하는 방법에 있어서, 각면(16)의 배열은 이들이 계측위치(15)를 통과할때 계속 검색되며 불완전 경사도가 발생할때마다 불완전 경사각이 계측되어 보정편향의 교정각도로서 크기의 두께로 조절이 되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 볼완진한 경사각도가 계측위치(15)에서 광학적으로 계측되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광속(5)의 교정편향은 다각경(8)을 지나 광속(5)의 편향후에 행해지는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 내지 제3항중의 어느 하나의 항에 있어서, 계측위치에서 탐색되어지는 해당각면(16)은 편향이 회전방향으로 고려됨으로서 영향을 받는 각면(12)를 선행하고 여기서 계측위치에서 계측결과 교정편향을 조절하기위하여 제어변수 특히 전압이나 전류가 얻어지고 측정위치로부터 편향이 다각경(8)에 의해서 영향을 받는 위치까지의 거리를 이동하기 위하여 다각경이 회전하는 동안 각면이 요구되는 시간에 해당하는 지연후에 이러한 제어변수가 생성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 광속의 편량을 위하여 광에 의하여 영향을 받는 회전 다각경(8), 불완전한 경사각과 반대방향으로 위 교정각도에 의한 각면의 불완전 경사가 생기는 경우 광속(5)의 교정편향을 의한 편향장치(9,10) 그리고 교정편향을 행하는 편향장치를 조청하기 위한 제어장치(36)를 구비하고 있는 제1항 내지 제4항에 의한 방법을 실시하기 위한 장치에 있어서, 계측장치(13)가 구비되어 있으며 이에 의하여 각 각면의 위치는 그것이 계측위치를 통과할 때마다 계속 탐색되어 불완전 경사각도가 계측 가능하며 이 각도에 따라서 입력신호는 제어장치(36)에 공급가능하고 교정편향은 이 입력신호로부터 계측된 불완전 경사 각도의 2배크기로 얻어지는 것을 특징으로 하는장치.
  6. 제5항에 있어서, 함수 발생기(52)가 있어서 광속(5)이 추가편향의 부여각도에 대한 전기적 출력양을 발생시키며 가산기회로(53)가 있어서 가산을 시켜주는데 여기서 교정편향을 조절하기 위한 제어변수가 함수발생기(52)의 전기적 출력양에 가산될 수 있으며 이 합은 따라서 편향장치에 관여 할 수 있는 것을 특징으로 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 편향장치(9,10)는 전기적으로 조정이 가능한 회전각도를 가진 회전경(10) 및 각도 조정을 위한 구동회로(54)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 구동회로(54)는 입력양의 함수로서의 회전각을 참조 값으로 규제하는 PID제어장치를 가지고 있는데 여기에서 미적분 규정의 시간정수가 회전경(10)의 개계적 관성력에 적응되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 회전경(10) 및 이를 제어하는 전자장치(53, 54)가 라인-주사 주파수의 최소2배가 되는 한계주파수를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제5항 내지 제9항중의 어느 하나의 항에 있어서 계측장치(13)는 계측광속(19)을 방사하는 레이저(17)를 포함하고 있으며 이러한 레이저(17)는 계측광속(19)이 각각의 통과하고 있는 각면(16)의 계측위치에서 반사되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 광반응 위치검출기(18)는 최소한도 이따금 통과하는 가면(16)에서 반사되는 계측광속(20)을 받아서 그의 차이가 각면경사도의 함수가 되는 두 전위차(U1, U2)를 발생시켜주는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 레이저는 계측광속(19)과 다각형(8)의 회전반경에 대하여 "0"이 아닌 각도로 뻗쳐 있도록 위치해 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 광-반응위치 검출기(18)는 다각경(8)과 레이저(17)에 대하여 각면(16)에서 반사되어 위치 검출기에서 "0"의 전위차를 내는 계측광속(19)이 레이저(17)로 부터 나온 계측 광속(19)과 90˚±10˚의 각도(β)를 포함하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제10항 내지 제13항중의 어느 하나의 항에 있어서, 레이저(17)에 의하여 발생되 계측광(19)의 직경은 다각경에서 편향되는 광속(5)의 편향각면(12)상 초점의 1.5 와 0.5배 범위인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제10항 내지 제14항중의 어느 하나의 항에 있어서, 레이저(17)는 이로부터 나오는 계측광속 중심이 편향광속(15)도 또한 반사될 각면(16)의 동일역내의 각면(16)상의 한점을 치도록 되어 있는 것을 특징으로 하는장치.
  16. 제10항 내지 제15항중으 어느 하나의 항에 있어서, 레이저(17)는 해당 계측위치(15)를 포함하는 각면(16)이 회전방향에서 90˚±45˚각도로 광속(5)을 편향시키는 각면(12)을 앞서가도록 되어 있으며 제어장치(31, 36, 37, 53, 54)는 다각경(8) 회전의 결과 계측위치(15)로부터 편향광속(5)의 입사점에 이르기까지의 각면(11, 12, 16)이 통과하는데 소요되는 시간과 사실상 동일한 시간만큼 제어변수의 출력을 지체시켜주는 지연회로를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제16항에 있어서, 지연회로(32)가 고정지여 시간을 가진 지연라인을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제1항에 있어서, 지연회로(37)는 디지탈회로(50, 51, 38)이라는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제18항에 있어서, 샘플홀드 회로(38)에 의하여 적기에 지속적으로 공급되는 제어변수들은 입력변환신호(43)가 나타날때 다중 장소의 하나에 저장이 되며, 이매 경사각의 광학적 교정에 요구되는 해당제어 변수는 출력 취인 신호(45)가 나다날 때 저장소로 부터 추출되며 출력신호는 디지탈 회로(50, 51)에 의한 입력변환신호에 비례하여 지연되는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제18항 또는 제19항에 있어서, 이 장치는 두 전위차가 각면 경사도의 함수가 되는 광-반응위치 검출기(18)의 두 전위의 합으로부터 디지탈 지연(37)의 시각펄스를 발생시켜주는 시각 발생회로(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제20항에 있어서, 시각 발생회로(33) 또한 특히 비교기나 슈미트 트리거의 적용에 따르는 펄스-형성회로(32)를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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