KR960042125A - 레지스트 도포장치 - Google Patents

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KR960042125A
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동경엘렉트론 가부시키가이샤
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
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Abstract

레지스트 도포장치는, 승강가능하게 설치되고, 수취한 기판을 유지하고, 기판과 함께 스핀회전하는 스핀척과, 이 스핀척상의 기판에 레지스트액을 공급하는 레지스트액 공급원과, 스핀척상의 기판을 둘러싸고, 스핀척과 연동하여 회전되고, 기판으로 부터 원심분리되는 레지스트액을 받는 회전컵과, 이 회전컵 주위에 설치되고, 회전컵내로 부터 방출되는 폐기물을 받아내고, 받아낸 폐기물이 모이는 집합공간을 가지는 드레인컵과, 이 집합공간에 개구하는 배액구를 가지며, 이 배액구를 통해서 집합공간에 모인 폐기물 중 액체성분을 배출하는 배액통로와, 집합공간에 연이어 통하는 배기구를 가지며,이 배기구를 통해서 집합공간에 모인 폐기물 중 가스성분을 배기하는 배기통로와, 가스성분을 집합공간로 부터 배기통로쪽으로 안내하기 위해서, 적어도 배액구보다도 높은 위치에 설치된 배기안내통로와, 이 배기안내통로에 설치되고, 가스성분을 따라 가는 기류가 충돌하면, 이것에 포함되는 액체성분은 응측시키고, 액체성분이 배기통로쪽으로 가는 것을 저지하는 기액분리부재를 구비한다.

Description

레지스트 도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는, 본 발명의 실시형태에 관계되는 레지스트 도포장치를 나타낸 단면 블록도, 제3도는, LCD용 유리기판을 유지한 메인아암 및 스핀척을 나타낸 사시도.

Claims (16)

  1. 승강이 가능하게 설치되고, 수취한 기판을 유지하고, 기판과 함께 스핀회전하는 스핀척과, 이 스핀척상의기판에 레지스트액을 공급하는 레지스트액 공급수단과, 상기 스핀척상의 기판을 둘러싸고, 상기 스핀척과 연동하여 회전되고, 기판으로 부터 원심분리되는 레지스트액을 받는 회전컵과, 이 회전컵 주위에 설치되고, 상기 회전컵 내로 부터 방출되는 폐기물을 받아내고, 받아낸 폐기물이 모이는 집합공간을 가지는 드레인컵과, 이 집합공간에 개구하는 배액구를 가지며, 이 배액구를 통해서 상기집합공간에 모인 폐기물 중 액체성분을 배출하는 배액통로와, 상기 집합공간에 연이어 통하는 배기구를 가지며, 이 배기구를 통해서 상기 집합공간에 모인 폐기물 중 가스성분을 배기하는 배기통로와, 상기 가스성분을 상기 집합공간로 부터 상기 배기통로쪽으로 안내하기 위해서, 적어도 상기 배액구보다도 높은 위치에 설치된 배기안내통로와 이 배기안내통로 내에 설치되고, 상기 가스성분을 동반하는 기류가 충돌하면, 이것에 포함되는 액체성분을 응축시켜서, 액체성분이 상기 배기 통로쪽으로 가는 것을 저지하는 기액분리부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기액분리부재는, 배기안내통로 중 실질적으로 수평한 부분을 규정하는 내벽 아래측에 설치된 링형상의 차단부재인 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기액분리부재는, 배기안내통로 중 실질적으로 수평한 부분을 규정하는 내벽 아래측에 설치된 링형상의 파이프부재인 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기액분리부재는, 배기안내통로의 입구측에 설치된 금속메쉬 필터인 것을 특징으로하는 레지스트 도포장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 금속메쉬 필터를 향해서 크리닝액을 분사하는 노즐수단을 더욱 구비하고 있는 것을특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 크리닝액은, 적어도 레지스트엑 중의 용제를 성분으로서 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 노즐수단은, 소정시간 경과후나 또는 소정로트수의 처리마다의 타이밍으로 크리닝액을 상기 금속메쉬필터를 향해서 분사하는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 배기통로내를 통과하는 배기량을 계측하는 배기량 계측수단을 더욱 구비하고, 계측된 배기량에 따라서 상기 노즐수단으로 부터 상기 금속메쉬필터를 향해서 크리닝액이 분사되는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 배기안내통로를 규정하는 내벽을 향해서 크리닝액을 분사하는 노즐수단을 더욱 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 집합공간을 둘러싸는 내벽을 향해서 크리닝액을 분사하는 노즐수단을 더욱 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 회전컵의 아래면을 향해서 크리닝액을 분사하는 노즐수단을 더욱 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 배기안내통로를 규정하는 상부벽과 상기 회전컵 아래면과의 사이에 형성된 클리어런스에 설치된 링형상의 차단부재를 더욱 가지는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 배기안내통로 및 배기통로는, 드레인컵 안쪽에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는레지스트 도포장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 배기안내통로 및 배기통로는, 드레인컵 바깥쪽으로 설치되어 있는 것을 특징으로하는 레지스트 도포장치.
  15. 승강가능하게 설치되고, 수취한 기판을 유지하여, 기판과 함께 스핀회전하는 스핀척과, 이 스핀척사의기판에 레지스트액을 공급하는 레지스트액 공급수단과, 상기 스핀척상의 기판을 둘러싸고, 상기 스핀척과 연동하여 회전되고, 기판으로 부터 원심분리되는 레지스트액을 받는 회전컵과, 이 회전컵 주위에 설치되고, 상기 회전컵 내로 부터 방출되는 폐기물을 받아내고, 받아낸 폐기물이 모이는 집합공간을 가지는 드레인컵과, 상기 집합공간으로 개구하는 배액구를가지며, 이 배액구를 통하여 상기 집합공간에 모인 폐기물중의 액체성분을 배출하는 배액통로와, 상기 회전컵에 연이어 통하는 배기구를 가지며, 이 배기구를 통해서 상기 집합공간에모인 폐기물 중 가스성분을 배기하는 배기통로와, 상기 회전컵과 상기 스핀척이 서로 움직이며 돌지 않도록잠그는 록기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
  16. 승강가능하게 설치되고, 수취한 기판을 유지하고, 기판과 함께 스핀회전하는 스핀척과, 이 스핀척사의 기판에 레지스트액을 공급하는 레지스트액 공급수단과, 상기 스핀척상의 기판을 둘러싸고, 상기 스핀척과 연동하여 회전되고, 기판으로 부터 원심분리되는 레지스트액을 받는 회전컵과, 이 회전컵 주위에 설치되고, 상기 회전컵내로 부터 방출되는 폐기물을 받아내고, 받아낸 폐기물이 모이는 집합공간을 가지는 드레인컵과, 이 집합공간에 개구하는 배액구를 가지며, 이 배액구를 통해서 상기 집합공간에 모인 폐기물 중 액체성분을 배출하는 배액통로와, 상기 집합공간에 연이어 통하는배기구를 가지며, 이 배기구를 통해서 상기 집합공간에 모인 폐기물 중 가스성분을 배기하는 배기통로와, 상기 회전컵과상기 스핀척과의 사이에 삽입된 시일수단을 구비하고, 상기 시일수단은, 상기 회전컵 및 상기 스핀척 중 적어도 한쪽에형성된 홈부와, 이 홈부 안에 중첩된 여러개의 0링부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 레지스트 도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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