KR960041809A - 제어기 - Google Patents
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- F16K31/1262—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a diaphragm, bellows, or the like one side of the diaphragm being spring loaded
Abstract
본 발명은 제어기에 관한 것이다. 제어기는 상부에 개구를 구비한 밸브 박스와, 밸브 박스상에 설치 고정된 고정부 및 구동용 가스의 유출·유입에 의해 상하로 이동되는 작동부를 구비한 가스 구동형 액츄에이터와, 밸브 박스내에서 밸브 박스의 상부로 연장되어 그 상단부가 액츄에이터의 작동부에 고정된 밸브 봉과, 밸브 봉의 하단에 설치된 밸브체로 구성된다. 밸브 봉과 액츄에이터의 고정부와의 사이에 밸브 박스내의 유체 밀봉용 벨로우즈가, 액츄에이터의 고정부와 그 작동부와의 사이에 액츄에이터내의 가스 밀봉용 벨로우즈가 각각 배치되어 있다. 그리고, 밸브 봉, 밸브 박스내의 유체 밀봉용 벨로우즈, 액츄에이터의 고정부, 액츄에이터내의 가스 밀봉용 벨로우즈 및 액츄에이터의 작동부에 의해 형성된 밀폐 공간이 진공으로 이루어져 있다. 주위 온도의 변동에 따른 밀폐 공간내의 압력 변동은 구동 가스의 압력에 비하여 극히 작으며, 따라서 주위 온도의 변동에 의해서 유체의 유량이 변화하는 일이 없다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 제어기를 도시하는 종단면도.
Claims (2)
- 상부에 개구를 구비한 밸브 박스와, 밸브 박스상에 설치 고정된 고정부 및 구동용 가스의 유출·유입에 의해 상하로 이동되는 작동부를 구비한 가스 구동형 액츄에이터와, 밸브 박스내에서 밸브 박스의 상부로 연장되어 그 상단부가 액츄에이터의 작동부에 고정된 밸브 봉과, 밸브 봉의 하단에 설치된 밸브체로 구성되고, 밸브 봉과 액츄에이터의 고정부와의 사이에 밸브 박스내의 유체 밀봉용 벨로우즈가, 액츄에이터의 고정부와 그 작동부와의 사이에 액츄에이터내의 가스 밀봉용 벨로우즈가 각각 배치되어 있고, 벨브 봉, 밸브 박스내의 유체 밀봉용 벨로우즈, 액츄에이터의 고정부, 액츄에이터내의 가스 밀봉용 벨로우즈 및 액츄에이터의 작동부에 의해 밀폐 공간이 형성되어 있는 제어기에 있어서, 밀폐 공간이 진공으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 제어기.
- 제1항에 있어서, 밸브 박스내의 유체 밀봉용 벨로우즈 및 액츄에이터내의 가스 밀봉용 벨로우즈가 전자빔 용접에 의해, 밸브 봉과 액츄에이터의 고정부 및 액츄에이터의 고정부와 그 작동부에 각각 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 제어기.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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DE19840169A1 (de) * | 1998-09-03 | 2000-03-09 | Schaeffler Waelzlager Ohg | Vorrichtung zum Relativverstellen einer Nockenwelle |
DE50010902D1 (de) * | 1999-04-20 | 2005-09-15 | Siemens Ag | Fluiddosiervorrichtung |
JP3556565B2 (ja) * | 2000-04-14 | 2004-08-18 | 川重冷熱工業株式会社 | 高精度安全弁 |
JP3618286B2 (ja) * | 2000-09-07 | 2005-02-09 | Smc株式会社 | スムース排気弁 |
JP3445569B2 (ja) * | 2000-09-18 | 2003-09-08 | Smc株式会社 | パイロット式2ポート真空バルブ |
US6394418B1 (en) * | 2000-11-14 | 2002-05-28 | Abb, Inc. | Bellows actuator for pressure and flow control |
KR100448701B1 (ko) * | 2001-04-12 | 2004-09-16 | 삼성전자주식회사 | 에어밸브 |
US6543748B1 (en) * | 2001-10-03 | 2003-04-08 | Vat Holding Ag | Linear motion leadthrough |
JP4300345B2 (ja) * | 2002-09-02 | 2009-07-22 | 株式会社フジキン | 制御器 |
DE60223578T2 (de) * | 2002-12-19 | 2008-09-18 | Techspace Aero S.A. | Ventil mit integriertem Antrieb |
US7086638B2 (en) * | 2003-05-13 | 2006-08-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber |
US7467778B2 (en) * | 2003-09-15 | 2008-12-23 | Exxonmobil Upstream Research Company | Slurry tolerant pilot operated relief valve |
JP4398837B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-01-13 | ダイハツディーゼル株式会社 | 空気漏れ検知逃がし弁および内燃機関のエアースタータシステム |
US20070057214A1 (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Vat Holding Ag | Valve for essentially gastight closing a flow path |
JP2007162873A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Mitsumi Electric Co Ltd | エアオペレートバルブ |
US7803218B2 (en) * | 2007-02-26 | 2010-09-28 | Honeywell International Inc. | Drain valve assembly |
US8328410B1 (en) * | 2008-03-14 | 2012-12-11 | E I Du Pont De Nemours And Company | In-line multi-chamber mixer |
US20080315141A1 (en) * | 2007-06-25 | 2008-12-25 | Greene, Tweed Of Delaware, Inc. | Slit Valve Door |
JP5247298B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2013-07-24 | サーパス工業株式会社 | サックバックバルブ |
TWI377307B (en) * | 2009-03-26 | 2012-11-21 | Smc Kk | Flow rate control valve and assembly method therefor |
KR101662095B1 (ko) * | 2011-11-04 | 2016-10-05 | 생-고뱅 퍼포먼스 플라스틱스 코포레이션 | 제거 가능한 샘플링 밸브를 갖는 배관 고정구용 시스템, 방법 및 장치 |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
KR20170064222A (ko) * | 2015-12-01 | 2017-06-09 | 티에스케이 주식회사 | 벨로우즈형 스팀 트랩 |
US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
DE202017104079U1 (de) * | 2017-07-07 | 2017-08-21 | Samson Ag | Stellantrieb für Prozessventile |
EP4053443A4 (en) * | 2019-10-28 | 2023-11-01 | Eagle Industry Co., Ltd. | EXPANSION VALVE |
CN112212014B (zh) * | 2020-09-18 | 2022-08-19 | 中国航发沈阳发动机研究所 | 一种自适应调节航空发动机通风方式的活门设计方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1992902A (en) * | 1934-02-01 | 1935-02-26 | Imp Brass Mfg Co | Valve |
CH464628A (de) * | 1968-05-17 | 1968-10-31 | Froelich Martin | Druckmittelgesteuertes Ventil |
FR2166480A5 (en) * | 1971-12-27 | 1973-08-17 | Monrocq Raymond | Low temp valve - protected against icing by vacuum enclosure of stem |
DE2553163A1 (de) * | 1975-11-27 | 1977-06-02 | Ver Flugtechnische Werke | Fernbetaetigtes absperrventil fuer cryogene medien |
US4201366A (en) * | 1978-03-13 | 1980-05-06 | Danko Oliver L | Bellows valve |
JPS55145873A (en) * | 1979-04-26 | 1980-11-13 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | Bellows seal valve |
US4309022A (en) * | 1980-04-14 | 1982-01-05 | Consolidated Controls Corporation | Poppet valve actuator apparatus |
FR2500108B1 (fr) * | 1981-02-17 | 1986-01-24 | Gemignani Francois | Robinet d'isolement ou d'arret |
US4583710A (en) * | 1982-05-10 | 1986-04-22 | Cornell Research Foundation, Inc. | Electromagnetic valve for pulsed molecular beam |
US4687017A (en) * | 1986-04-28 | 1987-08-18 | Nupro Company | Inverted bellows valve |
JP2762094B2 (ja) * | 1989-01-30 | 1998-06-04 | 清原 まさ子 | 高精度調整器 |
DE4106761A1 (de) * | 1991-03-04 | 1992-09-10 | Leybold Ag | Verfahren zur herstellung von ventilinnenteilen fuer vakuumventile mit ventilteller und faltenbalg sowie nach diesem verfahren hergestellte innenteile |
JPH0747989B2 (ja) * | 1992-12-28 | 1995-05-24 | 富士精工株式会社 | 超高純度ガス制御用耐食性バルブ |
JP3256753B2 (ja) * | 1993-05-07 | 2002-02-12 | 清原 まさ子 | 制御弁 |
-
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