KR960031363A - 홍연석함유 석영유리, 그 제조방법 및 이로부터 제조된 석영 유리지그 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 고순도, 고내열성, 큰 열팽창계수 및 낮은 광투과도를 갖는 석영 유리 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상부에 중착피막을 갖는 석영유리지그를 제공하는 것이다.

홍연석-함유 석영유리가 제공되며, 석영유리 기질내에 작은 구형이나 작은 둥근 모서리 혹은 예리한 모서리의 3차원 영역 형태의 α-홍연석이 분산되어있으며, 그 α-홍연석 구형 또는 영역 각각의 직경은 0.1∼1000㎛이며, 그 함량은 최소 10중량%이다.

상기 홍연석 함유 석영유리는 용융점이 20℃이상 차이가 난다. 2가지 이상의 결정질 이산화규소 파우더를 그중 가장 높은 융점을 갖는 이산화규소의 량이 10∼80중량%되게 혼합한 후, 혼합물중 가장 낮은 융점과 가장 높은 융점 보다 낮은 온도사이의 온도로 가열함으로써 제조된다.

이같은 홍연석-함유 석영유리로된 석영유리지그가 제공되며, 그 지그표면은 플라즈마 에칭에 대하여 저항성이 큰 증착박막이 입혀져 있으며, 그 박막은 석영유리의 열팽창 계수와 거의 같은 열팽창 계수를 갖는 물질로 이루어져 있어 가열시 입자가 발생하여 실리콘 웨이퍼를 오염시킬 염려가 없게된다.

Description

홍연석함유 석영유리, 그 제조방법 및 이로부터 제조된 석영 유리지그

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (19)

1. α-홍연석(cristobalite)영역이 석영유리 기질내에 최소 10중량%량으로 분산되고 각 영역의 직경이 0.1∼1000㎛범위인, 홍연석-함유 석영유리.
2. 제1항에 있어서, 상기 석영유리 기질내에는 또한 작은 크기의 독립 기포가 부가적으로 분산되어 있음을 특징으로 하는 홍연석 함유 석영유리.
3. 제2항에 있어서, 상기 각각의 기포직경은 500㎛이하이며, 그 기포의 농도는 100∼100,000기포/㎤범위임을 특징으로 하는 홍연석 함유 석영유리.
4. 제3항에 있어서, 상기 석영유리는 밀도 2.0gr/㎤이상이며 휨강도 150kg/㎠이상임을 특징으로 하는 홍연석 함유 석영유리.
5. 제1항 내지 4항중 어느 한항에 있어서, 상기 석영유리는 열팽창 계수는 1×10^-6/℃이상임을 특징으로 하는 홍연석 함유 석영유리.
6. 제2항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 석영유리는 4㎜두께 시료에서 파장 0.2∼5㎛에서 1%이하의 광투과율을 가짐을 특징으로 하는 홍연석 함유 석영유리.
7. 융점이 서로 20℃이상 다른 2이상의 결정질 이산화규소 파우더를 그중 융점이 가장 높은 이산화규소의 함량이 10∼80중량%되게 혼합한 후, 그 혼합물을 혼합물성분중 융점이 가장 낮은 성분의 융점과 가장 높은 융점 사이의 온도로 가열함을 포함하는 홍연석-함유 석영 유리의 제조방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 혼합물을 10∼50℃/min의 제1가열속도로 실온에서 1000℃까지 가열하고, 10℃/min이하의 제2가열속돌로 1000℃에서 성분중 최저 융점과 그 최저 융점보다 10℃높은 온도 사이의 온도까지 가열한 후, 성분중 가장 높은 융점보다 낮은 온도까지 제3의 가열 속도로 서서히 가열함을 특징으로 하는 방법.
9. 제7 또는 8항에 있어서, 상기 결정질 이산화규소 파우더의 입자 직경은 10∼1000㎛임을 특징으로 하는 방법.
10. 제7 또는 8항에 있어서, 상기 혼합물은 석영유리 기질내에 적은 크기의 독립기포가 분산되도록 5∼20ℓ/min의 유속으로 흐르는 질소 분위기내에서 가열됨을 특징으로 하는 방법.
11. 석영유리기질내의 각 영역의 직경이 0.1∼1000㎛인 α-홍연석 영역이 최소 10중량%량으로 분산된 홍연석-석영유리로 제조되며, 그 표면은 금속 또는 세라믹으로된 증착박막으로 입혀져 있는 석영유리지그.
12. 제11항에 있어서, 상기 석영유리 기질에는 작은 크기의 기포가 부가적으로 분산되어 있음을 특징으로 하는 석영유리지그.
13. 제12항에 있어서, 상기 기포각각의 직경은 500㎛이하이며 그 농도는 100∼100,000기포/㎤임을 특징으로 하는 석영유리지그.
14. 제13항에 있어서, 상기 석영유리의 밀도는 2.0gr/㎤이상이며 휨강도 150kg/㎠이상임을 특징으로 하는 석영유리지그.
15. 제11항 내지 14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 석영유리의 열팽창계수는 1×10^-6/℃이상임을 특징으로 하는 석영유리지그.
16. 제12항 내지 14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 석영유리는 4㎜두께 시료에서 파장 0.2∼5㎛에대하여 1%이하의 광투과도를 가짐을 특징으로 하는 석영유리지그.
17. 제11항 내지 14 및 16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 석영유리는 각각의 직경이 최소 1㎛이고 10∼99중량%으로 분산된 α-홍연석 영역을 가지며, 그 석영유리의 열팽창 계수는 1×10^-6/℃이상임을 특징으로 하는 석영유리지그.
18. 제15항에 있어서, 상기 석영유리는 각각의 직경이 최소 1㎛이며 10∼99중량%량으로 분산된 α-홍연석 영역을 가짐을 특징으로 하는 석영유리지그.
19. 제11항 내지 18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 석영유리지그의 표면은 열팽창계수 1×10^-6/℃∼1×10^-5/℃이고 플라즈마 에칭에 대하여 저항성이 큰 박막으로 덮여져 있음을 특징으로 하는 석영유리지그.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.