KR960024700A - 감광성 수지를 제거하는 방법 및 그 장치 - Google Patents

감광성 수지를 제거하는 방법 및 그 장치 Download PDF

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히로유끼 시마
타다시 니시오까
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기다오까 다까시
미쓰비시 뎅끼 가부시끼가이샤
가와즈 사토루
료우덴 세미콘닥터 시스템 엔지니어링 코퍼레이션
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Abstract

감광성수지제거방법은 알루미늄막을 에칭하기 위한 에칭 프로세스에 있어서, 포트레지스트로서 사용되는 감광성수지와 그 파생물을 완전히 제거할 수 있으며, 상기 방법을 수행하기 위한 감광성수지제거장치의 내구성을 향상시킬 수 있다.
혼합된 가스는 플루오린 복합가스와 스팀을 혼합함으로써 발생되고, 상기 혼합가스는 마이크로웨이브에 자극되고, 상기 감광성수지는 상기 감광성수지를 기화하기 위한 자극된 혼합가스에 노출된다.

Description

감광성 수지를 제거하는 방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 제1구체적 설명에서 감광성 수지를 제거하는 장치의 개략도.

Claims (10)

  1. 금속 패턴을 형성하기 위해서 드라이 에칭 프로세스에서 사용된 감광성 수지를 제거하는 방법에 적용되어지는 감광성 수지제거방법은, 상기 드라이 에칭 프로세스의 완성 후에, 플루오린 복합가스와 스팀을 혼합함으로써 혼합된 가스를 생산하는 혼합단계, 상기 혼합가스를 자극시키는 자극단계 및 상기 감광성수지를 기화하기 위해 상기 자극된 가스에 상기 감광성수지를 노출하기 위한 반응단계를 포함하는 감광성수지제거방법.
  2. 제1항에 있어서, 니트로젠 트리플루오린가스가 상기 플루오린 복합가스로서 사용되는 감광성수지제거방법.
  3. 제1항에 있어서, 카본 테트라플루오라이드 가스가 상기 플루오린 복합가스로서 사용되는 감광성수지제거방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 혼합가스가 상기 스팀에 첨가된 산소 가스를 포함하는 감광성수지제거방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 혼합가스는 오존가스나 스팀에 첨가된 산소 및 오존가스를 포함하는 감광성수지제거방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 혼합가스는 하이드로젠그스를 포함하는 감광성수지제거방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 혼합가스는 하이드로젠 페록사이드 가스를 포함하는 감광성수지 제거방법.
  8. 알루미늄 패턴과 같은 금속 패턴을 형성하기 위한 드라이 에칭 프로세스에 사용된 감광성수지를 제거하는데 적용되어지는 감광성수지제거방법은, 상기 드라이 에칭 프로세스의 완성 후에, 플루오린 복합가스와 하이드로젠 페록사이드 가스를 혼합함으로써 혼합된 가스를 생산하기 위한 혼합단계, 상기 혼합가스를 자극시키기 위한 혼합단계와 상기 자극된 혼합가스에 감광성수지를 노출시키기 위한 반응 단계를 포함하는 감광성 수지제거방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 혼합된 가스는 하이드로젠 페록사이드 가스에 첨가된 산소가스를 포함하는 감광성수지제거방법.
  10. 알루미늄 패턴과 같은 금속 패턴을 형성하기 위한 드라이 에칭 프로세스에 사용된 감광성 수지를 제거하기 위한 감광성수지제거장치는 상기 에칭 프로세스의 완성 후에, 상기 감광성수지를 수행하는 워크피스를 포함하기 위한 제거반응실, 마이크로웨이브를 발생하는 일렉트로마그네틱-웨이브 발생기와, 적어도 플루오린 복합가스와 스팀이나 하이드로젠 페록사이드 가스를 포함하는 혼합가스가 상기 자극된 혼합가스를 상기 제거반응실에 제공하는 마이크로웨이브에 자극되는 석영튜브를 포함하는 감광성수지제거장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950048741A 1994-12-27 1995-12-12 감광성 수지 제거 방법 KR100196444B1 (ko)

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