KR960012639B1 - 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치 - Google Patents

Abstract

요약없음

Description

반도체 제조용 리드 프레임 이송장치

제 1 도는 본 발명에 의한 리드 프레임 이송장치의 정면도.

제 2 도는 본 발명에 의한 리드 프레임 이송장치의 측면도.

제 3 도는 본 발명에 관련하는 회전축의 구성을 나타내는 도면.

제 4 도는 본 발명에 관련하는 레버의 분해 사시도.

제 5 도는 본 발명에 관련하는 리드 프레임 이송통로로 작용하는 레일의 탄성부재가 설치된 상태를 일부 나타내는 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 구동모터 6 : 회전축

7 : 제 1 캠8 : 제 2 캠

12 : 레버13, 25 : 캠 플로워

14 : 지지대15 : 힌지핀

16 : 탄성부재17 : 스트로크 조정레버

20 : 편심축21 : 제 1축부

22 : 제 2 축부26 : 가이드

28 : 가이드바29 : 슬라이더

30 : 업 다운부재33 : 링크부재

34 : 롤러37 : 핑거

38 : 핑거아암 39 : 레일

42 : 탄성부재

산업상의 이용분야

본 발명은 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 1개의 구동원으로 리드 프레임을 이송함과 아울러 이송량을 미세조정할 수 있도록 하는 리드 프레임 이송장치에 관한 것이다.

종래기술

일반적으로 반도체 제조공정에는 리드 프레임이라고 하는 기판위에 칩을 올려 놓은 후, 고정결합시키는 본딩공정과, 이 칩과 리드 프레임을 세선으로 연결시켜 주는 와이어 본딩공정과, 합성수지제 또는 세라믹제로 상기 조립된 칩을 보호하기 위하여 몰딩하는 패키지 공정등이 있다.

일련의 제조공정을 통하여 제조된 칩은 웨이퍼에서 분리되어 칩 트랜스퍼에 의해 이동되고, 리드 프레임은 메거진에 적재되어 순차적으로 본딩위치까지 이송되어 상기한 칩과 본딩이 이루어진다.

리드 프레임을 이송시켜 주는 수단은 여러가지가 알려져 있는데, 대개의 경우 리드 스크류를 회전시키거나 볼스크류를 회전시키는 방식, 또는 캠링크기구를 이용하는 방식, 그리고 공압실린더를 이용하는 방식등을 사용하고 있다.

이러한 이송수단은 리드 프레임의 인덱스 홀이나, 리드 프레임의 다리를 이용하는 구조를 갖고 있는 핀 방식과, 프레임의 일측단을 집어서 이송하는 클램핑 방식이 주로 사용되고 있다.

발명이 해결하려는 문제점

그런데 이러한 이송방식은 리드 프레임을 X축(이송방향)방향으로 이송시키기 위한 수단과, Z축방향으로 이송시키기 위한 수단이 각각 개별적으로 사용되고 있기 때문에 구조적으로 복잡하고, 또 리드 스크류나 공압을 이용하는 경우에는 전자제어방식으로 이들 상호간 타이밍을 제어해야 하므로 오동작이 발생될 우려가 있으며, 전자제어에 따른 제어수단이 부여됨에 의해, 기구적, 전자적 구조가 복잡하다.

문제점을 해결하기 위한 수단

상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 리드 프레임을 일정 피치만큼 간헐적으로 이송시키는 반도체 제조장비의 리드 프레임 이송장치에 있어서, 구동모터와, 이 구동모터의 회동전력에 의해 회전하는 축상에 설치된 사판캠 및 원판캠과, 상기한 사판캠의 회전에 의해 좌우로 요동하기 위하여 지지대에 힌지결합된 레버와, 이 레버의 요동운동을 전달받으며 가이드 바에 슬라이드 가능하게 결합된 슬라이더와, 상기한 가이드 바가 설치되며 지지대상에 승강기능하게 설치되는 업 다운부재와, 상기한 업 다운부재와 상기한 원판캠이에 설치되어 캠운동을 전달하는 링크부재와, 상기한 슬라이더상에 설치되어 함께 이동하며 적어도 1개 이상의 핑거를 보유하는 핑거 아암과, 상기한 지지대상에 설치되어 리드 프레임의 이송통로를 이루는 레일을 포함하여 이루어지는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 레버에는 수평이송의 미세한 스트로크를 조정하기 위한 스트로크 조정레버가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 스트로크 조정레버는 편심된 제 1 축부와 제 2 축부로 이루어진 편심축에 의해 조정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 핑거는 설치위치를 조정하기 위하여 장공이 뚫려짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 레일에는 리드 프레임의 이송관성력을 제어하며 정확한 위치를 바로잡아주기 위한 탄성부재가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 레버는 사판캠과의 확실한 접촉을 위하여 탄성부재로 당겨짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 프레임 이송장치를 제공한다.

상기한 레버에는 사판캠과 가이드와의 마찰력을 감소시키기 위하여 캠플로워가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치를 제공한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.

실시예

제 1 도는 본 발명에 의한 리드 프레임 이송장치의 정면도이고, 제 2 도는 측면도로서, 구동모터(1)의 구동축에 설치된 구동풀리(2)와 벨트(3)로 전동가능하게 연결되는 종동풀리(4)는 프레임(5)에 설치된 회전축(6)의 일단에 고정되어 구동모터(1)의 회전동력을 회전축(6)으로 전달토록 되어 있다.

상기한 회전축(6)에는 제 3 도에 도시한 바와 같이 제 1 캠(7)과 제 2 캠(8)이 설치되어 함께 회전할 수 있도록 되어 있으며, 회전기구의 원점을 확인하기 위한 센서도그(9)가 설치되어 원점확인센서(10)에 의해 그 위치가 인식될 수 있도록 이루어져 있다.

상기한 제 1 캠(7)은 시판캠으로 이루어질 수 있으며, 제 2 캠(8)은 원판캠으로 이루어질 수 있다.

상기한 원점확인센서(10)는 발광부와 수광부를 갖는 광학식 센서가 사용될 수 있는데, 이 경우 센서도그(9)에는 발광부의 광이 통과하여 수광부에 도달될 수 있도록 하기 위한 구멍이 뚫려진다.

상기한 제 1 캡(7)의 측부에 형성되어 경사면(11)은 레버(12)를 좌우로 요동시키기 위하여 제공되고 있는 것으로서, 레버(12)에 회전가능하게 설치된 캠 플로워(13)가 구름접촉되고 있다.

상기한 레버(12)는 프레임(5)의 중간부에 가로질러 설치되는 지지대(14)에 힌지핀(15)으로 결합되어 좌우로 요동운동할 수 있도록 되어 있다.

이 레버(12)는 하단부가 탄성부재(16)에 의해 당김력을 받는 상태로 설치되어 캠플로워(13)가 제 1 캠(7)의 경사면(11)에 밀착할 수 있도록 되어 있다.

또한 레버(12)의 상단부에는 스트로크 조정레버(17)가 볼트와 같은 고정수단으로 연장되어 부착되고 있는데, 이 레버(17)는 제 4 도에 도시한 바와같은 조정수단(18)에 의해 레버(12)의 좌측 또는 우측으로 기울어지는 자세를 갖을 수 있다.

제 4 도는 조정수단(18)을 설명하기 위한 분해 사시도로서, 레버(12)와 스트로크 조정레버(17)는 힌지핀(19)으로 결합되어 좌우로 요동이 가능하게 되어 있으며, 레버(12)의 상단부에 축중심이 편심되어 있는 편심축(20)의 제 1 축부(21)가 관통하고, 이축의 제 2 축부(22)는 스트로크 조정레버(17)를 관통하는 상태로 설치되도록 이루어져 있다.

이러한 구조에 의해 편심축(20)을 회전시키게 되면 제 1 축부(21)는 레버(21)의 상단부에서 회전운동을 하지만, 이와 편심되어 있는 제 2 축부(22)는 제 1 축부(21)의 회전중심과 어긋나 있기 때문에 제 2 축부(22)는 편심회전운동을 하게 된다.

이러한 제 2 축부(22)가 스트로크 조정레버(17)를 관통하고 있으므로 이 레버(17)는 제 2 축부(22)의 편심량만큼 레버(12)에 대해서 위치가 틀려지게 된다.

스트로크 조정레버(17)의 위치가 조정된 후, 이 레버(17)의 위치를 고정시키기 위한 고정볼트(23)가 체결되는데, 이때 스트로크 조정레버(17)는 레버(12)에 대해서 위치가 변동하게 되므로 고정볼트(23)가 관통하는 구멍은 장공(24)으로 뚫려져야 한다.

상기한 스트로크 조정레버(17)의 상단부에는 또다른 캠플로워(25)가 회전가능하게 설치되고 있는데, 이 캠 플로워(25)는 제 1 도에서 알 수 있듯이 가이드(26)의 측면과 접촉하는 상태를 이루고 있다.

상기한 가이드(26)는 스트로크 조정레버(17)와 탄성부재(27)로 연결되어 캠플로워(25)가 가이드(26)에 밀착할 수 있도록 하고 있으며, 이 가이드(26)를 가이드 바(28)를 따라 슬라이드 가능하게 설치된 슬라이더(29)에 부착하여 함께 이동될 수 있도록 하고 있다.

상기한 가이드 바(28)는 양측단부가 엽 다운부재(30)에 고정되어 지지되고 있는데, 이 업 다운부재(30)는 지지대(14)에 고정된 부시(31)에 안내되어 승강할 수 있는 구조를 갖는다.

이를 위하여 본 실시예에서는 업 다운부재(30)의 아래측으로 로드부재(32)를 연장하여 이 로드부재(32)가 부시(31)내로 슬라이드 가능한 상태로 관통시키고 있으며, 또한 업 다운부재(30)의 아래측에 링크부재(33)의 일측단부를 힌지결합하고 이 링크부재(33)의 타측단을 제 2 캠(8)과 연계시키고 있다.

상기한 링크부재(33)와 제 2 캠(8)의 연결은 링크부재(33)의 아래측단부에 회전가능하게 설치된 롤러(34)와 제 2 캠(8)의 외주면이 접촉하는 상태로 이루어진다.

이러한 구성에 의해 종동풀리(4)로 전달된 회전동력에 의해 회전축(6)이 회전할때 제 2 캠(8)이 회전하게 되는데, 이 제 2 캠(8)의 외주면에 링크부재(33)의 하측단부가 접촉하여 있기 때문에 회전축(6)의 회전은 결국 링크부재(33)를 상하로 이동시키게 된다.

상기한 승강작동이 원활히 이루어지도록 하기 위하여 롤러(34)의 축과 프레임(5)이 탄성부재(35)로 연결되어 상기한 롤러(34)가 제 2 캠(8)의 외주면에 밀착될 수 있도록 하고 있다.

상기한 슬라이더(29)의 상측으로는 블럭(36)이 고정되어 있는데, 이 블럭(36)에는 일측단부에 핑거(37)가 설치된 핑거 아암(38)이 고정되어 상기한 작동으로 함께 승강작용과 좌우이동이 이루어지도록 되어 있다.

이 핑거(37)는 제 1 도에서와 같이 핑거 아암(38)의 양측단에 설치되고 있는데, 이들 핑거(37)는 제 2 도에서와 같이 리드 프레임(L)이 이송되는 1쌍의 레일(39) 사이로 위치하게 된다.

상기한 레일(39)은 지지대(14)상에 고정설치된 스페이서 부재(40)위에 대향하는 자세로 평행하게 설치된다.

상기한 핑거 아암(38)에 설치된 핑거(37)는 그 위치가 조정될 수 있도록 되어 있는데, 본 실시예에서는 이를 위하여 핑거(37)에 장공(41)을 뚫고 이 장공(41)을 통하여 고정나사를 핑거 아암(38)에 고정시킬 수 있도록 하고 있다.

제 5 도는 본 발명에 적용되는 레일(39)의 일부를 나타내는 사시도로서, 레일(39)에는 리드 프레임(L)을 하측방향으로 가압하여 이 리드 프레임(L)이 이송될때 관성력에 의해 위치가 어긋나는 것을 방지하기 위한 탄성부재(42)를 설치하고 있다.

이 탄성부재(42)는 판스프링으로 이루어지고 있는데, 이 부재가 레일(39)상에서 리드 프레임(L)을 눌러줄 수 있도록 하기 위하여 레일(39)의 상판을 일부 절개하여 이 탄성부재(42)가 절개부로 위치되록 하면서 절개부로 위치되는 탄성부재의 일측부가 리드 프레임(L)에 접촉될 수 있도록 밴딩된 형태로 이루도록 하고 있다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 리드 프레임 이송장치는, 반도체 소자의 각 전극과 리드 프레임의 다리를 금선이나 알루미늄으로 연결시키는 와이어 본딩장치나, 칩과 리드 프레임의 패드와를 접착시키는 다이본딩장치에 적용될 수 있다.

이러한 장치에서 리드 프레임의 간헐적 이동이 요구되는데, 이러한 간헐적 이동의 작동을 이하에 설명한다.

먼저 구동모터(1)가 구동을 시작하게 되면 이 구동력이 벨트(3)를 통하여 전달됨으로서 회전축(6)을 회전시키게 된다.

이때 회전축(6)에 설치된 제 1 캠(7)과 제 2 캠(8)이 함께 회전을 시작하게 되는데, 먼저 제1캠(7)의 회전에 따른 작용을 설명한다.

제 1 캠(7)이 회전을 시작하면 이 캠의 경사면(11)에 접촉하여 있는 캠플로워(13)가 경사면(11)의 경사정도에 따라 변위되는데, 이 변위에 의해 레버(12)는 힌지핀(15)을 중심으로 좌우로 요동하게 된다.

이러한 레버(12)의 요동작용은 스트로크 조정레버(17)에 설치된 캠플로워(25)의 요동작용으로 바뀌면서 이때의 요동량만큼 가이드(26)를 변위시키게 된다.

따라서 가이드(26)는 가이드 바(28)를 따라 좌우로 이동하게 되는데, 이 가이드(26)는 슬라이더(29)와 결합된 구조로되어 있기 때문에 결국 레버(12)의 요동은 슬라이더(29)를 좌우로 이동시키게 된다.

그리고 제 2 캠(8)의 회전운동은 이와 접촉하고 있는 롤러(34)를 상하로 이동시키게 되므로 이 작용이 링크부재(33)를 통하여 업 다운부재(30)로 전달된다.

따라서 업 다운부재(30)는 로드부재(32)에 안내되어 상하로 이동을 반복하게 되는데, 상기한 슬라이더(29)는 이 업 다운부재(30)에 설치되어 있으므로 결국 슬라이더(29)는 상하로 이동하면서 좌우로 이동하는 작용이 반복적으로 이루어지게 된다.

그런데 상기한 슬라이더(29)에는 핑거 아암(38)이 고정설치되어 있으므로 이 핑거 아암(38)도 승강과 수평이동을 하는 상태가 된다.

이러한 작용으로 핑거 아암(38)이 하강하게 되면 이 아암에 설치된 핑거(37)가 하강하여 레일(39)상에 위치한 리드 프레임(L)의 다리 사이로 진입되는데, 이러한 상태에서 슬라이더(29)의 수평이동이 이루어지면 리드 프레임(L)을 끌고 가게 된다.

이때의 이송량은 우선적으로 제 1 캠(7)의 경사면(11)에 의해 결정되는데, 이송량을 미세하게 조정할 필요가 있을때에는 레버(12)에 설치된 스트로크 조정레버(17)를 통하여 스트로크 조정이 가능하다.

즉 고정볼트(23)를 푼 다음, 편심축(20)을 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키게 되면 제 1 축부(21)에 대한 제 2 축부(22)의 편심에 의해 스트로크 조정레버(17)는 힌지핀(19)을 중심으로 상측부가 좌측 또는 우측으로 기울어지게 된다.

좌측 또는 우측으로 기울어짐이 조정되면 고정볼트(23)를 고정시킴으로서 스트로크 조정이 완료되는데, 예를들어 스트로크 조정레버(17)가 제 1 도에서 우측으로 기울어진 상태로 조정이 되면 기울어진 만큼 슬라이더(29)를 더 밀게 되므로 스트로크가 길어지게 되고, 반대로 스트로크 조정레버(17)가 제 1 도에서 좌측으로 기울어진 상태로 조정이 되면 스트로크는 작아진다.

이것은 결국 리드 프레임의 이송량을 조정하는 것이므로 리드 프레임의 사이즈에 따라 또는 작업방식에 따라 적당히 조정될 수 있다.

이와 같이 리드 프레임(L)의 이송이 완료되면, 제 2 캠(8)의 작용으로 하강하고 있는 링크부재(33)가 상승을 하게 하고 동시에 제 1 캠(7)에 의해 레버(12)가 제 1 도에서 보아 좌측으로 일정량 회동하게 되므로 리드 프레임(L)을 끌로갔던 핑거(37)을 끌고갔던 핑거(37)는 초기의 위치로 이동하면서 상기한 일련의 작동을 연속으로 반복하게 된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 리드 프레임 이송장치는 구동모터의 단일동력을 승강작용과 수평이동작용을 동시에 행함으로써 리드 프레임을 간헐적으로 이동시킬 수 있으며, 또한 리드 프레임의 이송량을 미세하게 조정할 수 있는 이점이 있다.

Claims (9)

1. 리드 프레임을 일정 피치만큼 간헐적으로 이송시키는 반도체 제조장비의 리드 프레임 이송장치에 있어서, 구동모터(1)와, 이 구동모터(1)의 회전동력에 의해 회전하는 축상에 설치된 제 1 캠(7) 및 제 2 캠(8)과, 상기한 제 1 캠(7)의 회전에 의해 좌우로 요동하기 위하여 지지대(14)에 힌지결합된 레버(14)와, 이 레버(12)의 요동운동을 전달받으며 가이드 바(28)에 슬라이드 가능하게 결합된 슬라이더(29)와, 상기한 가이드 바(28)가 설치되며 지지대(14)상에 승강가능하게 설치되는 업 다운부재(30)와, 상기한 업다운부재(30)와 상기한 제 2 캠(8)사이에 설치되어 캠운동을 전달하는 링크부재(33)와, 상기한 슬라이더(29)상에 설치되어 함께 이동하며 적어도 1개 이상의 핑거(37)를 보유하는 핑거 아암(38)과, 상기한 지지대(14)상에 설치되어 리드 프레임(L)의 이송통로를 이루는 레일(39)을 포함하여 이루어지는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 레버(12)에는 수평이송의 미세한 스트로크를 조정하기 위한 스트로크 조정레버(17)가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서, 스트로크 조정레버(17)가 편심된 제 1 축부(21)와 제 2 축부(22)로 이루어진 편심축(20)에 의해 조정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
4. 제 1 항에 있어서, 핑거(37)는 설치위치를 조정하기 위하여 장공(41)이 뚫려짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
5. 제 1 항에 있어서, 레일(39)에는 리드 프레임(L)의 이송관성력을 제어하여 정확한 위치를 바로잡아주기 위한 탄성부재(42)가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
6. 제 1 항에 있어서, 레버(12)는 제 1 캠(7)과의 확실한 접촉을 위하여 탄성부재(16)로 당겨짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
7. 제 1 항에 있어서, 레버(12)에는 제 1 캠(7)과 가이드(26)와의 마찰력을 감소시키기 위하여 캠 플로워(13)(25)가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
8. 제 1 항에 있어서, 제 1 캠(7)은 사판캠으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.
9. 제 1 항에 있어서, 제 2 캠(8)은 원판캠으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 리드 프레임 이송장치.