KR960005441A - 자기저항형 자기헤드 및 기록·재생용 복합형 자기헤드 및 이들의 제조방법 - Google Patents

자기저항형 자기헤드 및 기록·재생용 복합형 자기헤드 및 이들의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 자기저항형 자기헤드는 인공격자재료로 이루어지는 자기저항효과층과, 이 자기저항효과층의 저항 변화율을 검지하는 검지수단을 가지고, 이들 자기저항효과층 및 검지수단이 자기기록매체의 트랙에 기록된 정보를 검출하도록 배치되는 동시에, 상기 자기저장효과층의 자화용이축이 상기 트랙의 폭방향에 직교하고 있다.

Description

자기저항형 자기헤드 및 기록·재생용 복합형 자기헤드 및 이들의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 의한 멀티트랙자기저항형 자기헤드의 사용상태의 개략 사시도.

Claims (26)

  1. 기록매체의 하나 이상의 트랙에 기록된 정보를 재생하는 자기저항형 자기헤드에 있어서, 인공격자재료로 이루어지는 자기저항효과층과, 이 자기저항효과층의 저항변화를 검지하는 검지수단을 가지고, 이들 자기저항 효과층 및 검지수단이 자기기록매체의 트랙에 기록된 정보를 검출하도록 배치되는 동시에, 상기 자기저항효과 층의 자화용이축이 상기 하나 이상의 트랙의 폭방향에 대하여 교차하고 있는 자기저항형 자기 헤드.
  2. 제1항에 있어서, 강자성금속인공격자재료로 이루어지는 자기저항효과막과, 이 자기저항효과막의 저항변화를 검지하는 1쌍의 전극과의 조의 복수개가 자기리록매체의 복수의 트랙에 기록된 정보를 각각 검출하도록 멀티트랙용으로서 구성되는 동시에, 상기 자기저항효과막의 자화용이축이 상기 트랙의 폭방향에 대하여 실질적으로 직교하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  3. 제2항에 있어서, 자기저항효과층이 자성층과 도체층과를 교호로 적충한 인공격자에 의하여 형성되고, 상기 자성층이 구리를 1~50원자% 함유하고 또한 철, 코발트 및 니켈로 이루어지는 군에서 선정된 최소한 1종을 함유하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  4. 제1항에 있어서, 자기저항효과막이 자성층과 도체층과를 교호로 적충한 인공격자에 의하여 형성되고, 상기 자성층이 구리를 1~50원자% 함유하고 또한 철, 코발트 및 니켈로 이루어지는 군에서 선정된 최소한 1종을 함유하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  5. 제3항에 있어서, 도체층의 두께가 1.8~2.8mm인 자기저항형 자기헤드.
  6. 제4항에 있어서, 도체층의 두께가 1.8~2.8mm인 자기저항형 자기헤드.
  7. 제1항에 있어서, 자기저항효과층에 바이어스자계를 인가하기 위하여, 연자성 바이어스층과 이 연자성 바이어스층에 통전하는 1쌍의 전극이 배설되어 있는 자기저항형 자기헤드.
  8. 제1항에 있어서, 자기저항효과막에 바이어스자계를 인가하기 위하여, 연자성 바이어스층과 이 연자성 바이어스층에 통전하는 1쌍의 전극이 배설되어 있는 자기저항형 자기헤드.
  9. 기로매체의 하나 이상의 트랙에 기록된 정보를 재생하는 자기저항형 자기헤드로서, 인공격자재료로 이루어지는 자기저향효과층과, 이 자기저항효과층의 저항변화를 검지하는 검지수단을 가지고, 이들 자기저항효과층 및 검지수단이 자기기록매체의 트랙에 기록된 정보를 검출하도록 배치되는 동시에, 상기 자기저항효과층의 자화용이축이 상기 하나 이상의 트랙의 폭방향에 대하여 교차하고 있는 자기저항형 자기헤드로 이루어지는 재생헤드와, 기록헤드를 조합함으로써 구성된 기록·재생용 복합형 자기헤드.
  10. 제9항에 있어서, 강자성금속인공격자재료로 이루어지는 자기저항효과막과, 이 자기저항효과막의 저항변화를 검지하는 1쌍의 전극과의 조의 복수개가 자기기록매체의 복수의 트랙에 기록된 정보를 각각 검출하도록멀티트랙용으로서 구성되는 동시에, 상기 자기정항효과막의 자화용이축이 상기 트랙의 폭방향에 대하여 실질적으로 직교하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  11. 제9항에 있어서, 자기저항효과층이 자성층과 도체층과를 교호로 적층한 인공격자에 의하여 형성되고, 상기 자성층이 구리를 1~50원자% 함유하고 또한 철, 코발트 및 니켈로 이루어지는 군에서 선정된 최소한 1종을 함유하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  12. 제9하아에 있어서, 자기저항효과막이 자성층과 도체층과를 교호로 적층한 인공격장에 의하여 형성되고, 상기 자성층이 구리를 1~50원자% 함유하고 또한 철, 코발트 및 니켈로 이루어지는 군에서 선정된 최소한 1종을 함유하고 있는 자기저항형 자기헤드.
  13. 제11항에 있어서, 도체층의 두께가 1.8~2.8nm인 자기저항형 자기헤드.
  14. 제12항에 있어서, 도체층의 두께가 1.8~2.8nm인 자기저항형 자기헤드.
  15. 제9항에 있어서, 자기저항효과층에 바이어스자계를 인가하기 위하여, 연자성 바이어스층과 이 연자성 바이어스층에 통전하는 1쌍의 전극이 배설되어 있는 자기저항형 자기헤드.
  16. 제9항에 있어서, 자기저항효과막에 바이어스자계를 인가하기 위하여, 연자성 바이어스층과 이 연자성 바이어스층에 통전하는 1쌍의 전극이 배설되어 있는 자기저항형 자기헤드.
  17. 자기저항효과층 또는 자기저항효과막을 성막할 기체(基體)를 지지체에 고정하고, 이 지지체를 회전시키면서 상기 성막을 행하고, 자기기록매체의 트랙의 폭방향으로되는 방향을 상기 지지체의 회전원주방향과 헤드를 일치시키는 자기저항형 자기헤드의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 층 또는 막의 면내에 1축이방성(異方性)을 가지는 자기저항효과층 또는 자기저항효과막을 성막하고, 지지체를 회전시킨체로 인공격자재료의 비상원(飛翔源)의 근방에 지지체를 통과시켜서 상기 성막을 행하는 제조방법.
  19. 제18항에 있어서, 인공격자재료의 비상원으로서, 스퍼터용 타켓, 증착원 또는 이온발생원을 사용하는 제조방법.
  20. 제17항에 있어서, 자기저항효과층 또는 자기저항효과막을 기체상에 성막하는데 있어서, 상기 기체를 고정한 지지체의 회전반경방향에 있어서 상기 기체에 자계를 인가하는 제조방법.
  21. 제17항에 있어서, 트랙폭을 규정하는 트랙폭규정층을 기체상에 형성하고, 이 트랙폭규정층을 포함하는 기체상에 연자성 바이어스층, 분리중간층 및 자기저항효과층 또는 자기정항효과막을 순차 성막하고, 상기 트랙 폭규정층의 양측에 있어서 상기 자기저항효과층 또는 자기저항효과막에 저항변화검지용의 1쌍의 전극을 형성하고, 이들 전극측에서 상기 기체상에 자기갭형성용 절연층을 배설하는 공정으로 이루어지는 제조방법.
  22. 제21항에 있어서, 기체에 대하여, 자기갭형성용 절연층을 성막한 대향 기체를 일체화한 후, 자기헤드칩으로의 절단 및 자기기록매체슬라이드면의 가공을 행하는 제조방법.
  23. 기체를 지지체에 고정하고, 이 지지체를 회전시키면서 상기 기체에 자기저항효과층의 성막을 행하고, 자기저항효과자기헤드가 사용될 자기기록매체의 트랙의 폭방향으로 되는 방향을 상기 지지체의 회전원주방향과 일치시키는 자기저항효과자기헤드의 제조방법.
  24. 제23항에 있어서, 자기저항효과층은 인공격자층인 제조방법.
  25. 제23항에 있어서, 자기저항효과층은 자기저항효과막인 제조방법.
  26. 제23항에 있어서, 자기저항효과층은 성막되는 자기저향효과층의 내면에 1축이방성을 가지는 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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