KR960005384Y1 - 리이드 프레임 성형금형의 청소장치 - Google Patents

리이드 프레임 성형금형의 청소장치 Download PDF

Info

Publication number
KR960005384Y1
KR960005384Y1 KR2019930014039U KR930014039U KR960005384Y1 KR 960005384 Y1 KR960005384 Y1 KR 960005384Y1 KR 2019930014039 U KR2019930014039 U KR 2019930014039U KR 930014039 U KR930014039 U KR 930014039U KR 960005384 Y1 KR960005384 Y1 KR 960005384Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead frame
nut
cleaning
shaft
brush
Prior art date
Application number
KR2019930014039U
Other languages
English (en)
Other versions
KR950004798U (ko
Inventor
곽노권
Original Assignee
주식회사 한미금형
곽노권
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 한미금형, 곽노권 filed Critical 주식회사 한미금형
Priority to KR2019930014039U priority Critical patent/KR960005384Y1/ko
Publication of KR950004798U publication Critical patent/KR950004798U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR960005384Y1 publication Critical patent/KR960005384Y1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/1753—Cleaning or purging, e.g. of the injection unit
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

내용없음.

Description

리이드 프레임 성형금형의 청소장치
제1도는 리이드 프레임의 정면도와 평면도.
제2도는 종래의 청소장치와 리이드 프레임 공급장치 구성도.
제3도는 본 고안에 따른 리이드 프레임 공급장치의 정면도.
제4a도는 청소장치를 갖춘 본 고안의 리이드 프레임 공급장치.
제4b도는 A위치에서 본 구성도.
제5도는 제4도의 평면도.
제6도는 제4도중 청소장치의 평면도.
제7도는 제6도의 청소장치에 대한 우측면도.
제8도는 청소부(50)의 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 서보 모타(SERVO MOTOR) 2 : 리이드 프레임
3 : 컬(CULL) 4 : 실린더
5 : 픽커 6 : 배큠 패드(VACUUM PAD)
7 : 너트 하우징 8, 8' : 타이밍 풀리
9 : 타이밍 벨트 10 : 볼 스크류
11 : 너트 12 : 정면 받침대
13 : 마춤핀 14 : 볼트
15 : 직선 운동기구 16 : 캠 프로어 베어링
17 : 안내판 18 : 직선 운동 베어링
19 : 브러쉬 20 : 실린더
21 : 측면받침대 22 : 볼트
23 : 너트 24 : 푸셔볼트
25 : 연결 브라켓 26 : 볼트
27 : 고정 브라켓 28 : 너트
29 : 스프링 30 : 스토퍼
31 : 에어 브로어(AIR BLOWER)32 : 관로
33 : 샤프트 34 : 흡입구
40 : 픽업부 45 : 리이드 프레임 공급부
50 : 청소부 51 : 브라켓
52 : 연결대 53 : 지지판
54 : 홀더 60 : 운반부
70 : 몰드부 100 : 오토몰드 시스템
110 : 청소장치 112 : 브러시
114 : 몰드부 116 : 송풍구
118 : 흡입구 120 : 진공호스
122 : 상몰드 124 : 하몰드
본 고안은 반도체 칩을 완성하기 위하여 팩케이지(PACKAGE)성형을 완료한 리이드 프레임(LEAD FRAME)을 다음 공정으로 운반하는 동시에, 몰드 표면에 붙어 있는 이물질을 브러쉬의 진동으로 몰드 표면으로부터 박리시킨 후 흡착기로 빨아들여 몰드의 표면을 청결히 하기 위한 리이드 프레임 공급 및 청소장치에 관한 것이다.
제1도와 같이 리이드 프레임(2)의 팩케이지(2',PACKAGE) 성형시 발생되는 제품 불량의 원인으로는 여러가지가 있겠으나, 본 고안과 관련된 예를 들어보면 다음과 같은 것이 있다.
즉, 몰드 표면에 남아 있는 분진들에 의해 팩케이지 표면이 부분적으로 성형이 되지 않는 보이드(VOID)현상과, 이물질이 있을때에 성형이 되면서 이물질이 런너를 타고 들어가 팩케이지의 와이어를 끊어지게 하는 와이어 끊김 현상, 케비티 바(CAVITY VAR)에 이물질이 붙어 있는 경우 몰딩(MOLDING)시 고압의 실린더에 의해 상부금형과 하부금형에 힘이 가해지므로 캐비티 바(CAVITY VAR)에 손상을 입혀 몰드의 수명을 저하시키는 현상등 반도체 생산에 차질이 발생하는 문제와 함께 여러 원인과 문제가 있다.
특히, 몰드 표면의 청결유지가 절실히 요구되므로 이른바 오토 몰드 시스템(100,AUTO MOLD SYSTEM)의 청소장치(110)가 고안되어 사용되어 오고 있다(제2도 참조).
즉, 제2도와 같이 종래의 청소장치(110)는 별도의 구동부를 만들어 운반을 하는 구조로 되어 있어서 운전시간이 길어질 뿐만 아니라, 브러쉬(112)와 청소장치(110) 구동부를 구성해야 하는 번거로움이 있고, 이 청소장치는 몰드부(114)와 같은 공간에 설치해야 하므로 몰드의 열이 청소장치에 직접 전달되어 구성몰드들이 열 팽창으로 인하여 동작이 잘되지 않는 일들이 발생되고, 조립시 열 팽창을 고려하여 조립을 하면 몰드의 열이 전달이 되었을 때는 구동이 잘되나, 몰드의 히터(HEATER)를 가동하지 않을 때는 구동이 잘되지 않는 경우가 발생하여 조립자 및 장비 운전자가 어려움을 겪곤 하였다.
또한, 청소장치 구동용 실린더는 열에 의하여 실린더 내부의 패킹이 변형되어 브러쉬(112)로 몰드 표면을 청소할 때에 힘이 부족하여 구동이 정지하는 경우가 발생하기도 하였다.
도면중 미 설명부호 116은 송풍구, 118은 흡입구, 120은 진공호스, 122는 상몰드이다.
따라서, 본 고안은 종래의 문제점들을 해결하고 생산성에 기여할 수 있는 방식에 역점을 두어 안출된 것으로, 리이드 프레임을 공급하는 공급부에 청소장치를 부착하여 몰드부의 열이 직접적으로 전달되지 않도록 설계되었으며, 청소장치 구동부를 별도로 설치하지 않고 리이드 프레임 공급장치의 구동부에 의해 구동될 수 있도록 하여 구조의 간편화를 꾀하였다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 구성을 첨부도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 몰딩이 완료된 리이드 프레임(2) 및 컬(CULL)(3)을 픽업(PICK-UP)하는 픽업부(40)와, 성형 과정에서 발생하는 분진을 몰드 표면으로부터 박리시킨 후 진공장치로 분진을 빨아들여 몰드 표면의 청결을 유지하는 청소부(50) 및 청소부(50)를 운반하는 운반부(60)등으로 이루어져 있으며, 운반부(60)는 제3도에서와 같이 서보 모타(SERVO MOTOR)(1)의 축에 타이밍 풀리(8)가 고정되고, 회전력을 전달받는 볼 스크류(10)의 끝단에도 타이밍 풀리(8')가 고정되어 타이밍 벨트(9)로 서보 모타의 회전력을 볼 스크류(10)에 전달하게 되며, 볼 스크류(10)는 너트 하우징(7)에 너트(11)가 체결되고, 너트 하우징(7)은 정면 받침대(12)에 볼트(14)와 마춤핀(13)으로 체결하여 서보 모타의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 주도록 구성된다.
이때, 구동의 정확도를 주도록 상하로 설치되어 정확한 평형 운동을 하도록 직선 운동기구(15)가 설치되며, 측면에는 캠프로어 베어링(16)의 정확한 평형 운동용 안내판(17)이 설치된다.
또한, 청소부(50)는 브라켓(51)과 정면 받침대(12)를 통해 연결대(52)로 지지설치되며, 그 구성은 제8도와 같이, 지지판(53)상에 실린더(20)와 스토퍼(30)가 설치되고, 이 스토퍼(30)에 관통되며 스프링(29)으로 탄지되는 샤프트(33)가 상기 실린더(20)의 로드에 의해 구동되도록 고정 브라켓(27)에 연결 설치되며, 이 고정 브라켓(27)상에서 밀리게 되는 푸셔 볼트(24)가 연결 브라켓(25)과 결합되고, 연결 브라켓(25) 양단에는 홀더(54)가 볼트(26)로 고정되는 브러쉬(19)가 설치된 구성을 이룬다.
다음으로 상기한 구성을 갖는 본 고안의 작용을 설명한다.
운반부(60)는 청소부(50)를 운반하기 위한 구동장치로, 서보 모타(1)의 펄스(PULSE)량으로 원하는 위치까지 정확한 운반을 하게 되는 것이며, 픽업부(40)의 구동과 청소부(50)의 구동은 다음과 같이 이루어진다.
서보 모타(1)의 구동에 의해 몰드부(70)로 이동이 된 픽업부(40)는 몰딩이 완료된 리이드 프레임(2)을 실린더(4)의 구동으로 픽커(5)가 집게 되며, 컬(CULL)(3)은 배큠 패트(VACUUM PAD)(6)로 리이드 프레임(2)을 흡착하여 다음 공정으로 이동을 하게 된다.
이동 리이드 프레임(2)이 떠나고 나면 몰드부(70)의 청소가 시작되는데, 제8도에서 브러쉬(19)는 홀더(54)부분이 볼트(26)로 연결 브라켓(25)에 고정되어 있고, 좌우 진동 운동을 하기 위하여 연결 브라켓(25)에 직선 운동 베어링(18)이 상하로 연결되어 있으며, 직선 운동 베어링(18)이 운동을 할 수 있도록 샤프트(33)가 고정 브라켓(27)에 너트(28)로 고정되고 고정 브라켓(27)은 실린더(20)로 구동되도록 조합된다.
또한, 실린더(20)의 밀어주는 힘이 제거되면 원상복귀 할 수 있도록 스프링(29)이 스토퍼(30)의 중간에 삽입 설치되며, 좌우 진동을 주는 상기 실린더(20)는 측면 받침대(21)에 볼트(22)로 체결되고, 실린더(20)로드 끝단은 연결 브라켓(25)에 고정되어 있는 푸셔 볼트(24)를 밀어주도록 너트(23)로 고정된다.
상기한 구성으로 실린더(20) 구동시 브러쉬(19)가 좌우로 움직여서 진동이 발생하게 되는데, 이때 브러쉬의 진동에 의해 몰드 표면에서 이탈된 분진과 이탈이 되지 않는 분진을 보다 효과적으로 진공 발생장치에서 빨아들일 수 있도록 에어 브로어(AIR BLOWER)(31)가 동작이 되고 분진은 흡입구(34)를 거쳐 별도의 진공 발생장치에서 관로(32)를 통해 빨아 들인다.
상기와 같이 본 고안의 적용으로 생산시간이 단축되며, 그 구조도 간단하여 오작동방지로 인한 생산성이 증가되고, 청소장치로 청소된 몰드상에서 생산되는 팩케이지의 보이드 현상 없는 신뢰성 있는 제품을 생산할 수 있는 것이다.

Claims (1)

  1. 리이드 프레임 성형금형의 청소장치에 있어서, 리이드 프레임 공급부(45) 상에 청소부(50)와 운반부(60)가 설치되어지되, 상기 청소부(50)는 지지판(53)상에 설치된 로드에 너트(23)를 갖춘 실린더(20)와, 스토퍼(30)로 지지되는 샤프트(33)와, 이 샤프트(33)에 너트(28)로 체결되는 고정 브라켓(27)과, 상기 샤프트(33)를 따라 이동되도록 직선 운동 베어링(18)으로 지지되며 푸셔 볼트(24) 및 브러쉬(19)가 장착되는 연결 브라켓(25)과, 상기 스토퍼(30)와 직선 운동 베어링(18)사이의 샤프트(33)상에 설치되는 스프링(29)과, 상기 브러쉬(33)와 인접하여 에어 블로우(31) 및 흡입구(34)를 갖춘 관로(32)로 구성되고, 상기 운반부(60)는 청소부(50)를 브라켓(51)을 지지하면서 안내판(17)을 따라 캡프로어 베어링(16)이 구름 운동하도록 하되, 구동원인 서보 모타(1)와, 이 서보 모타(1)와 타이밍 벨트(9)를 통해 회전되는 볼 스크류(10)와, 이 볼스크류(10)를 따라 수평이동 되는 너트 하우징(7) 및 너트(11)와, 상기 너트 하우징(7) 지지용 정면 받침대(12) 및 브라켓(51)으로 구성되어서, 서보 모타(1)의 구동으로 볼 스크류(10)가 회전되고, 이 회전력은 너트 하우징(7)을 수평 이동시키며, 이 너트 하우징(7)의 정면 받침대(12)와 브라켓(51)에 연결되는 청소부(50)가 안내판(17)을 따라 수평 이동한후 청소부(50)의 브러쉬(33)가 좌우 진동으로 이물질을 박리시키면 관로(32)를 통해 이물질이 흡인되도록 구성시킨 것을 특징으로 하는 리이드 프레임 성형금형의 청소장치.
KR2019930014039U 1993-07-26 1993-07-26 리이드 프레임 성형금형의 청소장치 KR960005384Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019930014039U KR960005384Y1 (ko) 1993-07-26 1993-07-26 리이드 프레임 성형금형의 청소장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019930014039U KR960005384Y1 (ko) 1993-07-26 1993-07-26 리이드 프레임 성형금형의 청소장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950004798U KR950004798U (ko) 1995-02-18
KR960005384Y1 true KR960005384Y1 (ko) 1996-06-28

Family

ID=19359915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019930014039U KR960005384Y1 (ko) 1993-07-26 1993-07-26 리이드 프레임 성형금형의 청소장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR960005384Y1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR950004798U (ko) 1995-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1022308A (ja) 超音波振動接合チップ実装装置
KR100385876B1 (ko) 반도체 패키지장치 절단용 핸들러 시스템
US20020166504A1 (en) Cleaner for molding apparatus of semiconductor chip packages
KR100574584B1 (ko) 반도체 패키지 제조공정용 절단 및 핸들러시스템
KR960005384Y1 (ko) 리이드 프레임 성형금형의 청소장치
CN111785661A (zh) 用于半导体封装设备的吹气吹尘装置
CN115010083B (zh) 一种mems传感器的三维封装装置及三维封装方法
JP3070221B2 (ja) 電子部品実装方法
JP3027911B2 (ja) ダイボンディング装置
KR910009778B1 (ko) 모울드 방법 및 장치
KR100291105B1 (ko) 타블렛 자동공급장치
KR100555795B1 (ko) 반도체 패키지의 세정장치
CN117124062B (zh) 一种柔性锁螺丝装置
JP4555488B2 (ja) クリーナ装置及び樹脂封止装置
CN215496639U (zh) 一种新型机台吹气装置
CN116682745B (zh) 一种半导体塑封装置
KR100244088B1 (ko) 반도체패키지제조용 자동몰딩프레스의 펠렛먼지제거장치
JP3033258B2 (ja) 電子部品のモールドプレス装置
JPH04158007A (ja) 金型クリーニング装置
KR100806378B1 (ko) 트레이 세정 장치 및 이를 이용하는 트레이 세정 방법
CN221560437U (zh) 一种微动搭支架装配系统
TWI813073B (zh) 抽屜更換式清潔設備
JPH10125699A (ja) ダイボンディング装置
CN218200641U (zh) 一种可除尘的引线框架搬运装置
CN218891147U (zh) 自动化螺栓搓丝机

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
NORF Unpaid initial registration fee