KR960002493B1 - 웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송방법 - Google Patents

웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송방법
제1a도는 종래 기술을 설명하기 위한 실제 모형 예시도.
제1b도는 본 발명을 설명하기 위한 실제 모형 예시도.
제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 운송 시스템의 블럭 구성도.
제3도는 본 발명에 따른 웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송 방법의 수행 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 전원 공급장치 2 : 운송 제어부
3 : 조작판 모터 4 : 리프터
5 : 챠져(CHARGER) 6 : 푸셔(PUSHER)
7 : 카세트 보트 센서 8 : 모터 구동부
본 발명은 반도체 제조 공정 중 포터 레지스트 스트립(STRIP) 공정에 해당하는 프로그램 로직 콘트롤러(이하, PLC라 함)시스템의 수정 및 추가 디자인에 의한 웨이퍼 운송 시스템의 웨이퍼 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 칩(CHIP) 제조 공정 중 PLC 시스템에서의 웨이퍼 운송부 운영에 있어서는, 오토(AUTO) 동작을 위한 PLC 프로그램 방식을 적용하게 되는데 PLC 방식은 무접점 전자적 릴레이를 이용하여 논리 회로를 구성하고 타이머를 추가하여 어드레스를 지정하면 프로그램은 완료되고 프로그램에 의해 순서대로 제어되어 진행된다.
웨이퍼 칩 제조 공정을 수행하기 위해서는 반응실(REACTOR CHAMBER)로 웨이퍼의 운송이 필요하며, 운송을 담당하는 부분이 웨이퍼 운송 시스템이다.
상기 웨이퍼 운송 시스템에서의 운송순서는 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트로부터 챔버로 웨이퍼를 전달하기 위해 웨이퍼를 밀어 올린 후 웨이퍼를 차져(CHARGER)를 이용하여 보트 스테이션(BOAT STATION)으로 움직인다. 그리고, 보트 스테이션에서 차져로부터 웨이퍼를 보트로 내려 놓는다. 보트에 적재된 웨이퍼(UNHANG 상태)는 리프터(LIFTER)에 의해 반응실로 운송된다.
그러나, 상기와 같은 동작의 수행중에 웨이퍼(c)를 카세트(b) 위치에서 웨이퍼를 챠저(a)로 올리는 작업을 할 때에 카세트와 챠져와의 사이에는 10㎜의 간격이 벌어져 있다(제1a도에 도시되어 있다).
그러므로, 웨이퍼가 카세트를 떠날 때에 챠져의 모서리 부분에 부딪혀 파손되기 쉬우며, 이 경우 또다른 문제점으로서 웨이퍼가 파손되면서 그 입자들에 의해 다른 웨이퍼에 실리콘 오염이 된다.
상기와 같은 문제점들은 PLC로 운영되는 웨이퍼 운송 시스템의 시퀸스 디자인상의 결점이 주 원인이 된다.
상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은, 직렬 및 병렬의 릴레이 조합으로 로직 게이트를 구성함으로써 PLC 프로그램의 시퀸스 디자인의 결점을 보완하여 웨이퍼(c)의 파손을 방지하기 위해 제1b도에 도시한 바와 같이 챠저(a)와 카세트(b) 사이의 간격을 없애는 PLC 프로그램의 수정 및 추가 디자인에 의해 웨이퍼를 안전하게 이송하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전원 공급장치, 운송제어부, 조작판 모터, 리프터, 챠져, 푸셔(PUSHER), 카세트 보트 센서, 모터 구동부를 구비한 웨이퍼 운송 시스템의 운용 방법에 있어서 ; 웨이퍼 운송 시스템이 동작하기 시작하면 웨이퍼 카세트의 유무를 조사하여 웨이퍼 카세트가 존재할 경우 챠져와 웨이퍼 카세트(도시하지 않음)의 위치를 감지하는 제1단계, 상기 제1단계 수행 후, 푸셔 업(UP)과 동시에 챠져가 독립적으로 10초간 다운동작을 실행 후 종료하고 푸셔는 업의 한계 높이까지 실행하는 제2단계, 상기 제2단계 수행 후, 푸셔와 챠져가 맞닿아 웨이퍼가 챠져에 로딩되면 푸셔가 다운되고 종료하는 제3단계에 의해 수행된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 운송 시스템의 블럭 구성도이다.
도면에서, 1은 전원 공급장치, 2는 운송 제어부, 3은 조작판 모터, 4는 리프터, 5는 챠져, 6은 푸셔(PUSHER), 7은 카세트 보트센서, 8은 모터 구동부를 각각 나타낸다.
도면에 도시한 바와 같이, 시스템에 전원을 공급하기 위한 전원 공급장치(1)로부터 전원을 공급받는 각각의 기능부는 사용자에 의한 외부의 조작 판낼부의 조작에 따라 온/오프하는 운송 제어부(2)의 제어 신호에 따라 동작하게 된다.
모터 구동부(8)는 상기 운송 제어부(2)에 연결되어 상기 운송 제어부(2)의 제어에 의해 모터를 구동하는 기능을 한다.
푸셔(6)는 상기 모터 구동부(8)에 연결되어 상기 모터 구동부(8)의 모터 동작에 따라 카세트를 후술할 챠져(5)를 향해 밀어올린다.
상기 챠져(5)는 상기 운송 제어부(2)와 상기 모터 구동부(8)에 연결되어, 상기 운송 제어부(2)의 제어 신호와 상기 모터 구동부(8)의 모터 구동여부에 따라 웨이퍼를 운송하기 위해 동작하는데 상기 푸셔(6)가 카세트를 밀어올릴 때 10초간 아래로 위치 이동을 하여 카세트와의 간격을 없애 밀착시킨다.
리프터(4)는 상기 운송 제어부(2)와 상기 모터 구동부(8)와 상기 푸셔(6)에 연결되어 웨이퍼가 상기 챠져(5)에 로딩되면 반응실(도시하지 않음)로 운송한다.
그리고, 카세트 보트 센서(7)는 상기 모터 구동부(8)에 연결되어 있으며 조작판 모터(3)는 상기 모터 구동부(8)와 상기 리프터(4), 상기 챠져(5)와 상기 푸셔(6)에 연결된다.
제3도는 본 발명에 따른 웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송 방법의 수행 흐름도이다.
웨이퍼의 운송 시스템이 동작을 개시한다(9). 웨이퍼의 운송 시스템이 동작하면 웨이퍼 카세트가 존재하는가를 조사한다(10).
상기 조사(10) 결과 웨이퍼 카세트가 없으면 리턴하고, 웨이퍼 카세트가 있으면 챠져(5)와 웨이퍼 카세트의 위치를 감지한다(11). 챠져(5)와 웨이퍼 카세트의 위치에 따라 푸셔(6)가 업(UP)되고 푸셔(6)의 업과 동시에 챠져(5)가 10초간 푸셔(6)를 향해 다운된다(12). 푸셔(6)가 업의 한계치인가를 조사한다(12)
상기 조사(12) 결과 푸셔(6)의 업의 한계치가 아니면 푸셔(6)의 상승이 계속되고 차져(5)의 동작은 독립적으로 수행되어지므로 10초간 다운후 자체 종료하며, 푸셔(6) 업의 한계이면 웨이퍼를 로딩한다(14). 웨이퍼가 로딩되면 푸셔(6)의 원위치로 하강하고 웨이퍼 운송 시스템의 동작을 종료된다(15).
상기와 같은 PLC 프로그램에 따른 효과로는 웨이퍼 로딩시 발생되었던 웨이퍼의 파손률을 제로화하고, 웨이퍼 파손에 의한 다른 웨이퍼의 실리콘 오염을 방지하며, 그에 따른 장비의 다운(DOWN) 시간을 감소시킴으로써 가동률을 높여 생산성 향상에 기여하게 된다. 또한, 완벽한 시스템을 운영하게 되어 오퍼레이터들의 장비 운영에 대한 불안감을 해소하는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 전원 공급장치(1), 운송 제어부(2), 조작판 모터(3), 리프터(4), 차져(5), 푸셔(PUSHER)(6), 카세트 보트 센서(7), 모터 구동부(8)를 구비한 웨이퍼 운송 시스템의 웨이퍼 이송 방법에 있어서 ; 웨이퍼 운송 시스템이 동작하기 시작하면 웨이퍼 카세트의 유무를 조사하여 웨이퍼 카세트가 존재할 경우 차져(5)와 웨이퍼 카세트(도시하지 않음)의 위치를 감지하는 제1단계(9 내지 11), 상기 제1단계(9 내지 11) 수행 후, 푸셔(6) 업(UP)과 동시에 차져(6)가 독립적으로 10초간 다운동작을 실행 후 종료하고 푸셔(6)는 업의 한계 높이까지 실행하는 제2단계(12,13), 상기 제2단계(12,13) 수행 후, 푸셔(6)와 차져(5)가 맞닿아 웨이퍼가 챠져(5)에 로딩되면 푸셔(6)가 다운되고 종료하는 제3단계(14,15)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 시스템에 의한 웨이퍼 이송 방법.
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