KR950703140A - 고 초과압력 저범위 압력센서(high overpressure low range pressure sensor) - Google Patents

고 초과압력 저범위 압력센서(high overpressure low range pressure sensor) Download PDF

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KR950703140A
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윌리엄 비 크루에거
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로버트 제이. 베이트먼
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Abstract

저범위 압력센서(10)는 메짐성 재료의 베이스판(12)과, 베이스판(12)상에 장착되고 주변부(16)둘레가 베이스판(12)에 밀봉되는 진동판 어셈블리(14)를 포함한다. 중앙 진동판부(18)가 베이스판(12)을 향해 편향하도록 압력을 받게되고, 진동판(18)의 편향은 압력 표시를 제공도록 스트레인 게이지 (32)를 통해 감지된다. 진동판(18)에는 베이스판(12)을 접하는 측면상에 개별적인 복수의 지지포스트(36)가 제공되어서 진동판(18)이 고초과 압력하에서 베이스판(12)을 향해 편향될때, 지지포스트(36)는 진동판(18)의 고장 또는 파손을 방지하기 위해 이동에 대하여 진동판(18)을 지지하게 된다. 지지 포스트(36)의 숫자는 필요한 만큼 변화될 수 있다. 본 발명의 바람직한 형태에 있어서, 베이스판은 초과압력 증가로서 진동판(18)내의 응력 생성을 감소시키시 위해 지지포스트가 베이스판(12)의 표면과 접촉함에 따라 지지포스트(36)의 약간의 이동을 조정가능하고 양호한 전기 절연체인 이산화 실리콘의 매우 얇은층(40)으로 제공된다.

Description

고 초과압력 저범위 압력센서(HIGH OVERPRESSURE LOW RANGE PRESSURE SENSOR)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 제조된 압력을 감지하기 위해 사용되는 전형적안 센서의 단면도이다,
제1A도는 진동판층이 제거된 베이스판 표면을 도시한 도면이다,
제2도는 제1도의 2-2선을 따라 절취된 제1도의 진동판 부분의 지지포스트를 도시한 도면이다,
제3도는 베이스층을 최소 접촉시에서 완전한 초과 압력 상태로의 지지포스트의 이동을 예시하는 도면이다,
제4도는 인접한 포스트가 없이 에칭되는 구성으로 개별 포스트의 에칭면의 세부를 도시한 단일 지지포스트의 세부 확대도이다,
제5도는 제4도의 5-5선을 따라 절취한 단면도이다.

Claims (9)

  1. 베이스판과, 베이스판에 고정되는 림과 베이스판을 향해 힘이 가해짐에 따라 편향가능한 중앙 진동판 웨브부를 포함하는 진동판을 구비하는 압력센서에 있어서, 상기편향 가능한 웨브부와 일체식으로 상기판들중 하나에 형성되고, 상기 편향가능한 웨브부가 사전 선택된 정도로 상기 베이스판을 향해 편향될때 정지부를 형성하는 복수의 포스트를 구비하는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 포스트는 상기 진동판의 편향 가능한 웨브부와 일체식으로 형성되고, 베이스판과 결합하는 단부를 갖는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기포스트는 상기 진동판의 편향가능한 웨브부와 일체식으로 형성되고, 진동판이 상기 배이스판을 향해 사전 선택된 정도로 편항될때 베이스판의 접합면을 포함하는 외측 단부면을 갖는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  4. 제3항에 있어서, 상기 베이스판 상에 형성되는 산호물층은 포스트가 베이스판에 접촉하므로써 포스트의 단부의 이동이 가능하도록 포스트와 상이한 재료로 이루어진 얕은충을 형성하는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  5. 제4항에 있어서, 상기 베이스판은 실리콘으로 형성되고, 얕은층은 이산화 실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  6. 제5항에 있어서, 상기 이산화 실리콘은 3미크론 두께인 것을 특징으로 하는 압력센서.
  7. 제6항에 있어서, 상기 베이스판은 림부재의 하부에 놓인 베이스판의 에지 에서보다 편향 가능한 웨브부의 중앙부와 일체식으로 이루어진 영역에 보다 큰 깊이로 리세스 되는 포스트오 접하는 면을 갖는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  8. 제1항에 있어서, 진동판 웨브상에 복수의 최소한 4개의 포스트가 존재하는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  9. 제1항에 있어서, 진동판 웨브부상에 16개의 포스트가 고르게 공간 이격되어 있는 것을 특지으로 하는 압력센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950700731A 1992-09-01 1993-08-30 고 초과압력 저범위 압력센서(high overpressure low range pressure sensor) KR950703140A (ko)

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