RU2002115672A - Тензопреобразователь давления - Google Patents

Тензопреобразователь давления

Info

Publication number
RU2002115672A
RU2002115672A RU2002115672/28A RU2002115672A RU2002115672A RU 2002115672 A RU2002115672 A RU 2002115672A RU 2002115672/28 A RU2002115672/28 A RU 2002115672/28A RU 2002115672 A RU2002115672 A RU 2002115672A RU 2002115672 A RU2002115672 A RU 2002115672A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure transducer
dielectric
strain gauges
rectangular
created
Prior art date
Application number
RU2002115672/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2243517C2 (ru
Inventor
Виктор Алексеевич Гридчин
Владимир Викторович Грищенко
Владимир Михайлович Любимский
Алексей Владимирович Шапорин
Original Assignee
Новосибирский государственный технический университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский государственный технический университет filed Critical Новосибирский государственный технический университет
Priority to RU2002115672/28A priority Critical patent/RU2243517C2/ru
Publication of RU2002115672A publication Critical patent/RU2002115672A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2243517C2 publication Critical patent/RU2243517C2/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Claims (1)

  1. Тензопреобразователь давления, содержащий выполненную из монокристаллического кремния прямоугольную мембрану с диэлектриком и тензорезисторами на наружной поверхности и опорным основанием, отличающийся тем, что на поверхности диэлектрика сформированы прямоугольные островки из нелегированного полупроводникового материала, в которых созданы тензорезисторы.
RU2002115672/28A 2002-06-11 2002-06-11 Тензопреобразователь давления RU2243517C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002115672/28A RU2243517C2 (ru) 2002-06-11 2002-06-11 Тензопреобразователь давления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002115672/28A RU2243517C2 (ru) 2002-06-11 2002-06-11 Тензопреобразователь давления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002115672A true RU2002115672A (ru) 2004-03-10
RU2243517C2 RU2243517C2 (ru) 2004-12-27

Family

ID=34387079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002115672/28A RU2243517C2 (ru) 2002-06-11 2002-06-11 Тензопреобразователь давления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2243517C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102636298A (zh) * 2012-03-16 2012-08-15 西安交通大学 一种梁膜四岛结构微压高过载传感器芯片

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102636298A (zh) * 2012-03-16 2012-08-15 西安交通大学 一种梁膜四岛结构微压高过载传感器芯片

Also Published As

Publication number Publication date
RU2243517C2 (ru) 2004-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
USD480650S1 (en) Bottle
USD490632S1 (en) Table base panel
WO2005084284A3 (en) Multiple element electrode cmut devices and fabrication methods
HUP0102332A2 (hu) Hajtogatással előállított csomagolóeszköz
USD509725S1 (en) Balloon tie
CA2599136A1 (en) Gas sensor
USD474612S1 (en) Surface pattern for a sheet material
USD459119S1 (en) Siderail support arm
EP1737054A3 (en) Piezoelectric transducer
JP2006506311A5 (ru)
DE69512544T2 (de) Halbleiter-Druckwandler mit Einkristall-Silizium-Membran und Einkristall-Dehnungsmessstreifen und Herstellungsverfahren dazu
EP1783902A3 (en) Wafer level package for surface acoustic wave device and fabrication method thereof
DE69509815T2 (de) Halbleiter-Druckwandler mit Polysilizium-Membran und Einkristall-Dehnungsmesstreifen und Herstellungsverfahren dazu
USD473469S1 (en) Bottle
USD515675S1 (en) Element for a superpressure static fluid seal
JP2003172745A5 (ru)
USD468201S1 (en) Thin transparent cylindrical package
USD465207S1 (en) Leadframe matrix for a surface mount package
USD480983S1 (en) Precious stone design
RU2002115672A (ru) Тензопреобразователь давления
ATE264500T1 (de) Membrane für druckmessgeräte
USD490914S1 (en) Glass tile array
USD473482S1 (en) Buoyancy device
USD504487S1 (en) Inflatable floating island
USD484859S1 (en) Portion of a matrix for surface mount package leadframe

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20070612