RU95106595A - Датчик давления - Google Patents

Датчик давления

Info

Publication number
RU95106595A
RU95106595A RU95106595/28A RU95106595A RU95106595A RU 95106595 A RU95106595 A RU 95106595A RU 95106595/28 A RU95106595/28 A RU 95106595/28A RU 95106595 A RU95106595 A RU 95106595A RU 95106595 A RU95106595 A RU 95106595A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
membrane
backing
pressure
substrate
supporting posts
Prior art date
Application number
RU95106595/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2137099C1 (ru
Inventor
А.Луц Марк
Us]
Б.Крюгер Уильям
Original Assignee
Роузмаунт Инк. (US)
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. (US), Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк. (US)
Publication of RU95106595A publication Critical patent/RU95106595A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2137099C1 publication Critical patent/RU2137099C1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0618—Overload protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Датчик давления для измерения давления с малым разбросом включает подложку из хрупкого материала и мембранную сборку, закрепленную на подложке и герметично соединенную по периферии с подложкой. При подаче давления центральная часть мембраны прогибается в сторону подложки. Прогиб мембраны воспринимается тензодатчиками, которые определяют давление. Мембрана снабжена множеством отдельных опорных столбиков на стороне, обращенной к подложке, так что, когда при высоких избыточных давлениях мембрана (18) прогибается к подложке, опорные столбики удерживают мембрану от перемещения, чтобы избежать отказа или поломки мембраны. Количество опорных столбиков может изменяться. В предпочтительном варианте воплощения изобретения на подложку нанесен очень тонкий слой диоксида кремния, который является хорошим электрическим изолятором, и который также предназначен для компенсирования небольшого перемещения опорных столбиков, когда они касаются поверхности подложки для уменьшения напряжения, возникающего в мембране при возрастании избыточного давления.

Claims (1)

  1. Датчик давления для измерения давления с малым разбросом включает подложку из хрупкого материала и мембранную сборку, закрепленную на подложке и герметично соединенную по периферии с подложкой. При подаче давления центральная часть мембраны прогибается в сторону подложки. Прогиб мембраны воспринимается тензодатчиками, которые определяют давление. Мембрана снабжена множеством отдельных опорных столбиков на стороне, обращенной к подложке, так что, когда при высоких избыточных давлениях мембрана (18) прогибается к подложке, опорные столбики удерживают мембрану от перемещения, чтобы избежать отказа или поломки мембраны. Количество опорных столбиков может изменяться. В предпочтительном варианте воплощения изобретения на подложку нанесен очень тонкий слой диоксида кремния, который является хорошим электрическим изолятором, и который также предназначен для компенсирования небольшого перемещения опорных столбиков, когда они касаются поверхности подложки для уменьшения напряжения, возникающего в мембране при возрастании избыточного давления.
RU95106595A 1992-09-01 1993-08-30 Датчик давления RU2137099C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/938,954 US5333504A (en) 1992-09-01 1992-09-01 High overpressure low range pressure sensor
US07/938,954 1992-09-01
PCT/US1993/008142 WO1994005986A1 (en) 1992-09-01 1993-08-30 High overpressure low range pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95106595A true RU95106595A (ru) 1996-11-20
RU2137099C1 RU2137099C1 (ru) 1999-09-10

Family

ID=25472280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95106595A RU2137099C1 (ru) 1992-09-01 1993-08-30 Датчик давления

Country Status (18)

Country Link
US (1) US5333504A (ru)
EP (1) EP0670995B1 (ru)
JP (1) JP3327553B2 (ru)
KR (1) KR950703140A (ru)
CN (1) CN1051155C (ru)
AU (1) AU680430B2 (ru)
BR (1) BR9306946A (ru)
CA (1) CA2141688A1 (ru)
DE (1) DE69318847T2 (ru)
FI (1) FI950912A (ru)
HU (1) HUT70345A (ru)
IL (1) IL106838A (ru)
MX (1) MX9305342A (ru)
NO (1) NO950777D0 (ru)
PL (1) PL173699B1 (ru)
RU (1) RU2137099C1 (ru)
SG (1) SG43764A1 (ru)
WO (1) WO1994005986A1 (ru)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19521275A1 (de) * 1995-06-10 1996-12-12 Leybold Ag Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche
DE19521832A1 (de) * 1995-06-16 1996-12-19 Bosch Gmbh Robert Druckmeßvorrichtung
US5824910A (en) * 1997-04-16 1998-10-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Miniature hydrostat fabricated using multiple microelectromechanical processes
US20020003274A1 (en) * 1998-08-27 2002-01-10 Janusz Bryzek Piezoresistive sensor with epi-pocket isolation
US6006607A (en) * 1998-08-31 1999-12-28 Maxim Integrated Products, Inc. Piezoresistive pressure sensor with sculpted diaphragm
US6351996B1 (en) 1998-11-12 2002-03-05 Maxim Integrated Products, Inc. Hermetic packaging for semiconductor pressure sensors
US6346742B1 (en) 1998-11-12 2002-02-12 Maxim Integrated Products, Inc. Chip-scale packaged pressure sensor
US6229190B1 (en) 1998-12-18 2001-05-08 Maxim Integrated Products, Inc. Compensated semiconductor pressure sensor
EP1254356A1 (en) 2000-02-11 2002-11-06 Rosemount, Inc. Oil-less differential pressure sensor
US6642594B2 (en) * 2001-12-06 2003-11-04 Kulite Semiconductor Products, Inc. Single chip multiple range pressure transducer device
US6955073B2 (en) * 2002-10-16 2005-10-18 Alcon, Inc. Pressure sensing in surgical console
US6868720B2 (en) * 2002-10-16 2005-03-22 Alcon, Inc. Testing of pressure sensor in surgical cassette
US6941813B2 (en) * 2003-06-30 2005-09-13 Alcon, Inc. Noninvasive pressure sensing assembly
JP5217163B2 (ja) * 2004-05-12 2013-06-19 セイコーエプソン株式会社 圧力センサ
US7997143B2 (en) 2009-04-09 2011-08-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Internally switched multiple range transducer
WO2012030595A2 (en) 2010-08-30 2012-03-08 Alcon Research, Ltd. Optical sensing system including electronically switched optical magnification
FR2982023B1 (fr) * 2011-10-26 2015-03-06 Auxitrol Sa Structure micromecanique a membrane deformable et a protection contre de fortes deformations
US9003899B2 (en) 2012-03-23 2015-04-14 Honeywell International Inc. Force sensor
US8806964B2 (en) 2012-03-23 2014-08-19 Honeywell International Inc. Force sensor
US9003897B2 (en) 2012-05-10 2015-04-14 Honeywell International Inc. Temperature compensated force sensor
DE102012109587A1 (de) * 2012-10-09 2014-04-10 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
US9410861B2 (en) * 2014-03-25 2016-08-09 Honeywell International Inc. Pressure sensor with overpressure protection
CN103994854A (zh) * 2014-04-22 2014-08-20 江苏森博传感技术有限公司 一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器
US10060813B2 (en) 2015-09-29 2018-08-28 Rosemount Inc. High over-pressure capable silicon die pressure sensor
US9719872B2 (en) * 2015-09-29 2017-08-01 Rosemount Inc. High over-pressure capable silicon die pressure sensor with extended pressure signal output
US9963340B2 (en) * 2015-12-03 2018-05-08 Honeywell International Inc. Pressure sensor die over pressure protection for high over pressure to operating span ratios
US10197462B2 (en) 2016-05-25 2019-02-05 Honeywell International Inc. Differential pressure sensor full overpressure protection device
US10203258B2 (en) 2016-09-26 2019-02-12 Rosemount Inc. Pressure sensor diaphragm with overpressure protection
US11371899B2 (en) 2018-05-17 2022-06-28 Rosemount Inc. Measuring element with an extended permeation resistant layer
WO2020102778A1 (en) * 2018-11-15 2020-05-22 Intuitive Surgical Operations, Inc. Strain sensor with contoured deflection surface
EP4261513A1 (en) * 2022-04-14 2023-10-18 Infineon Technologies Dresden GmbH & Co . KG Pressure sensing device

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1226806B (de) * 1960-11-29 1966-10-13 Siemens Ag Kraftmessdose
US3341794A (en) * 1965-07-26 1967-09-12 Statham Instrument Inc Transducers with substantially linear response characteristics
US4093933A (en) * 1976-05-14 1978-06-06 Becton, Dickinson Electronics Company Sculptured pressure diaphragm
US4236137A (en) * 1979-03-19 1980-11-25 Kulite Semiconductor Products, Inc. Semiconductor transducers employing flexure frames
JPS58151536A (ja) * 1982-03-05 1983-09-08 Hitachi Ltd 差圧検出器
US5062302A (en) * 1988-04-29 1991-11-05 Schlumberger Industries, Inc. Laminated semiconductor sensor with overpressure protection
US4905575A (en) * 1988-10-20 1990-03-06 Rosemount Inc. Solid state differential pressure sensor with overpressure stop and free edge construction
US4879627A (en) * 1988-12-30 1989-11-07 United Technologies Corporation Differential capacitive pressure sensor with over-pressure protection
US4930042A (en) * 1989-02-28 1990-05-29 United Technologies Capacitive accelerometer with separable damping and sensitivity
US4930043A (en) * 1989-02-28 1990-05-29 United Technologies Closed-loop capacitive accelerometer with spring constraint
EP0400165B1 (de) * 1989-05-30 1993-09-01 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
US4949581A (en) * 1989-06-15 1990-08-21 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
DE4111119A1 (de) * 1991-04-03 1992-10-08 Univ Chemnitz Tech Stapelbare mikromechanische kapazitive druckmesszelle

Also Published As

Publication number Publication date
IL106838A (en) 1997-08-14
DE69318847T2 (de) 1999-01-21
EP0670995B1 (en) 1998-05-27
FI950912A0 (fi) 1995-02-28
JP3327553B2 (ja) 2002-09-24
WO1994005986A1 (en) 1994-03-17
CN1051155C (zh) 2000-04-05
DE69318847D1 (de) 1998-07-02
AU4841293A (en) 1994-03-29
HU9500617D0 (en) 1995-04-28
CN1092164A (zh) 1994-09-14
NO950777L (no) 1995-02-28
KR950703140A (ko) 1995-08-23
PL307591A1 (en) 1995-05-29
PL173699B1 (pl) 1998-04-30
MX9305342A (es) 1994-06-30
RU2137099C1 (ru) 1999-09-10
IL106838A0 (en) 1994-08-26
FI950912A (fi) 1995-02-28
US5333504A (en) 1994-08-02
JPH08500903A (ja) 1996-01-30
EP0670995A4 (en) 1996-05-01
HUT70345A (en) 1995-09-28
EP0670995A1 (en) 1995-09-13
BR9306946A (pt) 1999-01-12
CA2141688A1 (en) 1994-03-17
AU680430B2 (en) 1997-07-31
NO950777D0 (no) 1995-02-28
SG43764A1 (en) 1997-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU95106595A (ru) Датчик давления
US6931938B2 (en) Measuring pressure exerted by a rigid surface
CA1300925C (en) Media isolated differential pressure sensors
US4141253A (en) Force transducing cantilever beam and pressure transducer incorporating it
US4481497A (en) Transducer structures employing ceramic substrates and diaphragms
JP2880798B2 (ja) 多係数圧力センサ
CN1181324C (zh) 电容式压力传感器及其制造方法
US4628403A (en) Capacitive detector for absolute pressure
US6079282A (en) Capacitive force sensor
US4287553A (en) Capacitive pressure transducer
CA1311365C (en) Pressure transducer with stress isolation for hard mounting
US5038142A (en) Touch sensing display screen apparatus
CN100353153C (zh) 电容压力传感器
EP0336437A3 (en) Pressure sensing transducer employing piezoresistive elements on sapphire
EP0831315A3 (en) Pressure sensor
EP0198018A1 (en) Capacitive sensing cell made of brittle material
US4862317A (en) Capacitive pressure transducer
US5264820A (en) Diaphragm mounting system for a pressure transducer
CA2130505A1 (en) Thin-Film Absolute Pressure Sensors and Methods of Manufacturing the Same
US4980873A (en) Ultrasonic transducer with tensioned diaphragm and method
US4432237A (en) Ultrasonic transducer
US5199519A (en) Strain gauge element
JP2611330B2 (ja) 半導体圧力センサ
FR2646309B1 (fr) Procede de fabrication d'un capteur acoustique et capteur acoustique ainsi obtenu, a couche de protection indecollable
SE9704840D0 (sv) Tryckgivare för detektering av små tryckdifferenser och låga tryck