KR950701427A - 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시험 예보방법 및 장치(Method and Apparatus for Predicting End-of-Life of a Consumable in a Fluid Purification System) - Google Patents

Abstract

유체정화시스템에서 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법은 (a) 상기 시스템 소모품와 비교되는 특징을 지니나 상기 시스템 소모품이 구비한 용량보다 극히 적은 용량을 구비한 모델 소모품을 상기 유체정화시스템에 결합하는 단계와; (b) 전환시키지 않으면 상기 시스템 소모품로 흐르게 되는 정화가 안된 유체의 일부의 상기 모델 소모품로 흐를 수 있도록 전환하는 단계와; (c)상기 시스템 소모품의 수명을 예보하기 위하여 상기 모델 소모품을 분석하는 단계를 포함함을 특징으로 한다. 상기 모델 소모품의 불순물 제거용량을 상기 시스템 소모품 불순물 제거용량의 약 25%-50%에 해당하는 극히 작은 량이다.

본 발명은 따른 유체정화시스템은 입구(70)와, 출구(72)와, 상기 입구와 출구사이에 접속된 시스템 소모품(52)와, 상기 시스템 소모품와 비교되는 특징을 지니나 상기 시스템 소모품의 용량보다 극히 적은 용량을 구비한 모델 소모품(62)와, 그리고 상기 입구와 모델 소모품 사이에 접속되고 상기 모델 소모품로 정화가 안된 유체의 일부가 흐를 수 있도록 전환시키는 전환장치(108)로 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 상기 전환장치는 상기 시스템 소모품와 일직선상에 접속한 MFM(60)와 상기 MFM와 제어 결합되고 상기 모델 소모품과 일직선 상에 MFC(64)를 포함한다. 상기 모델 소모품은 상기 시스템 소모품의 수명을 예보하기 위하여 분석된다.

Description

유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시험 예보방법 및 장치(Method and Apparatus for Predicting End-of-life of a Consumable in a Fluid Purification System)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 따른 기체정화시스템의 개략도;

제3도는 본 발명의 따른 저항성의 EOL 검출시스템을 갖는 모델 소품의 상세도.

Claims (20)

1. 유체정화시스템내의 시스템 소모품과 비교가능한 특성을 갖는 반면에 상기 시스템 소모품 보다 실질적으로 작은 용량을 갖는 모델소모품을 상기 유체정화시스템에 결합하는 과정과, 상기 시스템 소모품쪽으로 흐르는 정화되지 않은 유체의 일부를 상기 모델 소모품쪽으로 전환시키는 과정과, 상기 모델 소모품을 분석하여 상기 시스템 소모품의 수명의 종료 시점을 예보하는 과정으로 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
2. 제1항에 있어서; 상기 유체정하시스템은 기체정화시스템으로 구성하고, 상기 시스템 소모품 및 상기 모델 소모품은 게터 물질을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
3. 제1항에 있어서; 상기 정화되지 않은 유체의 일부를 전환시키기 과정은, 상기 시스템 소모품내에서 흐르는 정화되지 않은 유체에 양적으로 관계되는 정화되지 않은 유체가 상기 모델 소모품쪽으로 전환시키는 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
4. 제1항에 있어서; 상기 모델 소모품을 분석하는 단계는, 상기 유체정화시스템으로부터 상기 모델 소모품을 분리하는 단계 및 상기 모델 소무품을 분석하는 단계로 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
5. 제4항에 있어서; 상기 분리된 모델 소모품을 대용 모델 소모품으로 교체하는 단계를 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
6. 제4항에 있어서; 상기 분리된 모델 소모품은 분해에의한 화학적 분석으로 분석됨을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
7. 제1항에 있어서; 상기 모델 소모품을 분석하는 과정은, 상기 모델 소모품 내의 소모품(게터) 물질의 저항을 검사하는 단계로 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
8. 제1항에 있어서; 상기 모델 소모품을 분석하는 과정은, 상기 모델 소모품의 외부로 흐르는 유체를 검사하는 단계로 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
9. 정화되지 않은 유체원에 접속되기에 적합한 입구(70)와; 출구(72)와; 상기 입구와 출구 사이에 접속되어 상기 입구로부터의 상기 접속되지 않은 유체를 정화하여 상기 출구로 축력하는 시스템 소모품(52)과; 상기 시스템 소모품과 대비가능한 특성을 갖으나 상기 시스템 소모품에 비하여 실질적으로 작은 용량을 갖는 모델 소모품과, 상기 입구와 상기 모델 소모품의 상이레 접속되어 전환시키지 않으면 상기 시스템 소모품으로 흐르게 되는 정화되지 않은 유체의 일부를 상기 모델 소모품으로 흐를 수 있도록 전환시키는 전환수단(108)으로 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
10. 제9항에 있어서; 상기 시스템 소모품 및 상기 모델 소모품이 게터 물질을 내장하고, 상기 정화되지 않은 유체가 혼합기체로 구성됨을 특징으로 하는 유체정화시스템내의 시스템 소모품의 수명종료시점 예보방법.
11. 제9항에 있어서; 상기 모델 소모품은 상기 시스템 소모품의 불순물 제거 용량의 약 50%보다 작거나 같은 불순물 제거 용량을 갖는 것을 특징으로 하는 유체정화시스템.
12. 제11항에 있어서; 상기 모델 소모품은 상기 시스템 소모품의 불순물 제거 용량의 약 25%보다 작거나 같은 불순물 제거 용량을 갖는 것을 특징으로 하는 유체정화시스템.
13. 제9항에 있어서; 상기 전환수단은, 상기 입구를 상기 모델 소모품에 연결하는 유통관(90)을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.
14. 제13항에 있어서; 상기 전환수단은 상기 입구 및 상기 모델 소모품의 사이에 결합된 매스플로우 컨트롤러(MFC;64)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.
15. 제14항에 있어서; 상기 전환수단은, 상기 입구 및 상기 시스템 소모품의 사이에 접속된 매스플로우 메터(MFM;60)를 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.
16. 제15항에 있어서, 상기 MFM은 상기 MFC에 접속되어, 상기 모델 소모품내의 정화되지 않은 유체의 유속이 상기 시스템 소모품내의 정화되지 않은 유체의 유속에 의하여 제어되도록 하는 것을 특징으로 하는 유체정화시스템.
17. 제16항에 있어서, 상기 MFM은 디지털 로직을 사용하는 장치(66)에 의하여 상기MFC와 접속되는 것을 특징으로 하는 유체정화시스템.
18. 제9항에 있어서, 상기 전환수단에 상기 모델 소모품을 분리 가능하게 접속하기 위한 접속수단(92-98)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.
19. 제9항에 있어서, 상기 모델 소모품에 존재하는 유체의 불순물 레벨을 검출하기 위하여 상기 모델 소모품의 출구의 접속된 유체분석수단(68)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.
20. 제10항에 있어서, 상기 모델 소모품 내의 물질의 저항값을 측정하기에 적합한 수명종료시점 검출수단(120-130)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유체정화시스템.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.