KR950021341A - 정전척크 부착 세라믹 히터 - Google Patents

정전척크 부착 세라믹 히터 Download PDF

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KR950021341A
KR950021341A KR1019940037553A KR19940037553A KR950021341A KR 950021341 A KR950021341 A KR 950021341A KR 1019940037553 A KR1019940037553 A KR 1019940037553A KR 19940037553 A KR19940037553 A KR 19940037553A KR 950021341 A KR950021341 A KR 950021341A
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South Korea
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electrostatic chuck
ceramic
ceramic heater
electrode
coating layer
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KR1019940037553A
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English (en)
Inventor
노부오 가와다
도시히꼬 신도오
다따아끼 나가오
다께시 가께가와
주니찌 아라미
겐지 이시까와
Original Assignee
가나까와 지히로
신에쓰가가꾸고오교 가부시끼가이샤
이노우에 아끼라
도오꾜엘렉트론 가부시끼가이샤
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
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Abstract

본 발명은 반도체 프로세서에 있어서의 승강은 프로세스에 사용해도 접합부에 박리가 생기지 않는 정천척크부착 세라믹 히터의 제공을 목적으로 하는 것이다.
본 발명의 정전척크 부착 세라믹 히터는, 전기 절연성 세라믹으로 이루어지는 지지기개의 표면에 도전성 세라믹으로 이루어지는 정전척크용 전극을 접합하는 동시에, 이면에 도전성 세라믹으로 이루어지는 발열층을 접합하고, 이들위에 전기절연성 세라믹으로 이루어지는 피복층을 설치하여 이루어지는 정전척크 부착 세라믹 히터에 있어서, 지지기재와 정전척크용 전극과의 선팽창 계수의 차, 지지기개와 발열충과의 선팽창 계수의 차, 정전척크용 전극과 피복층과의 선팽창 계수의 차 및 발열층과 피복층과의 선팽창 계수의 차를 함께 1×10-6/℃ 이하로 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

정전척크 부착 세라믹 히터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 정전척크 부착 세라믹 히터의 한 예의 종단면도를 표시한 것이다.

Claims (5)

  1. 전기 절연성 세라믹으로 이루어지는 지지기개의 표면에 도전성 세라믹으로 이루어지는 정전척크용 전극을 접합하는 동시에, 이면에 도전성 세라믹으로 이루어지는 발열층을 접합하고, 이들위에 전기절연성 세라믹으로 이루어지는 피복층을 설치하여 이루어지는 정전척크 부착 세라믹 히터에 있어서, 지지기개와 정전척크용 전극과의 선팽창 계수의 차, 지지기재와 발열층과의 선팽창 계수의 차, 정전척크용 전극과 피복층과의 선팽창 계수의 차 및 발열층과 피복층과의 선팽창 계수의 차를 함께 1×10-6/℃이하로 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척크 부착 세라믹히터.
  2. 제1항에 있어서, 지지기재와 피복층이 질화붕소, 질화붕소와 질화 알루미늄의 혼합물 또는 질화규소이고, 정전척크용 전극 및 발열층이 그라파이트 또는 탄화규소인 정전척크 부착 세라믹 히터.
  3. 제2항에 있어서, 정전척크용 전극, 발열층 및 피복층이 화학기상 증착법으로 제조되는 정전척크 부착 세라믹 히터.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 피복층 상에 확산 방지층이 접합되어 이루어지는 정전척크 부착 세라믹히터.
  5. 제4항에 있어서, 확산방지층이 산화규소 또는 질화규소인 정전 척크 부착 세라믹 히터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940037553A 1993-12-27 1994-12-27 정전척크 부착 세라믹 히터 KR950021341A (ko)

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