KR950012885A - 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법 - Google Patents
반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 동일한 칩내 고출력 다중 횡모드와 중저출력 단일 횡모드가 모두 발진 가능하도록 설계된 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드의 단면도이고,
제2도는 본 발명에 따른 반도체 레이저 다이오드의 제조공정도이다.
Claims (2)
- N-기판(1)상에 N-클래드층(2), 광도파층(5), P-클래드층(6)을 LPE 성장법으로 연속 성장시킨후, 절연막 마스크(7)를 형성시킨 다음, 메사-에칭하고, 상기 절연막 마스크(7)를 제거한 다음, 계속적으로 LPE 성장법으로 p-블로킹층(3), 광도파층(5´) 및 N-블로킹층(4)을 성장시킨 후, 드라이-에칭법으로 일부를 제거시키고, P-측 전극(8,8´) 및 N-측 전극(9,9´)을 리프트-오프법으로 각각 형성시켜 제조됨을 특징으로 하는 반도체 레이저 다이오드.
- N-기판(1)상에 N-클래드층(2), 광도파층(5), P-클래드층(6)을 LPE 성장법으로 연속 성장시킨후, 절연막 마스크(7)를 형성시킨 다음, 메사-에칭하고, 상기 절연막 마스크(7)를 제거한 다음, 계속적으로 LPE 성장법으로 p-블로킹층(3), 광도파층(5´) 및 N-블로킹층(4)을 성장시킨 후, 드라이-에칭법으로 일부를 제거시키고, P-측 전극(8,8´) 및 N-측 전극(9,9´)을 리프트-오프법으로 각각 형성시키는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 다이오드의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930021712A KR950012885A (ko) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930021712A KR950012885A (ko) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950012885A true KR950012885A (ko) | 1995-05-17 |
Family
ID=66825123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930021712A KR950012885A (ko) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 반도체 레이저 다이오드 및 이의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950012885A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100513420B1 (ko) * | 1997-10-16 | 2006-01-12 | 아지노모토 가부시키가이샤 | 반추동물의 비육방법 |
| KR20220070806A (ko) | 2020-11-23 | 2022-05-31 | 씨제이제일제당 (주) | pH 감응성 고분자를 포함하는 코팅 조성물 |
-
1993
- 1993-10-19 KR KR1019930021712A patent/KR950012885A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100513420B1 (ko) * | 1997-10-16 | 2006-01-12 | 아지노모토 가부시키가이샤 | 반추동물의 비육방법 |
| KR20220070806A (ko) | 2020-11-23 | 2022-05-31 | 씨제이제일제당 (주) | pH 감응성 고분자를 포함하는 코팅 조성물 |
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